4月14日,南大光電在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示,,公司研發(fā)的ArF光刻膠主要定位于90nm-28nm集成電路的制程應(yīng)用,,公司ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過(guò)一家存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的驗(yàn)證,目前多款產(chǎn)品正在多家客戶同時(shí)進(jìn)行認(rèn)證,。
南大光電表示,,目前公司有多款A(yù)rF光刻產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)大型芯片制造企業(yè)進(jìn)行測(cè)試。光刻膠是客制化產(chǎn)品,,技術(shù)含量高,,驗(yàn)證周期長(zhǎng),且體量不大,。因?yàn)槭翘娲M(jìn)口,,所以我們研發(fā)的產(chǎn)品需要適應(yīng)客戶端的工藝參數(shù),留給我們的調(diào)整空間很小,,所以驗(yàn)證難度大,。目前驗(yàn)證進(jìn)展順利,預(yù)計(jì)今年年底會(huì)有幾款產(chǎn)品通過(guò)驗(yàn)證,。公司也將抓緊推進(jìn)市場(chǎng)拓展工作,,爭(zhēng)取盡快實(shí)現(xiàn)批量銷售。
據(jù)了解,,早在2016年,,南大光電參股了北京科華微電子材料有限公司,便開始了研發(fā)“193nm光刻膠項(xiàng)目”,,并且該公司是唯一一家通過(guò)了EUV光刻膠“02專項(xiàng)”研發(fā)的企業(yè),。彼時(shí),南大光電便宣稱,,計(jì)劃用3年的時(shí)間實(shí)現(xiàn)ArF光刻膠產(chǎn)品的建設(shè),、投產(chǎn)和銷售,最終達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm ArF光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模,。
此外,,有投資者問(wèn)到,公司三大主線產(chǎn)品MO源,,特氣和ARF光刻膠,,在國(guó)內(nèi)的市場(chǎng)容量分別有多大?公司這三大產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的占比分別是多少,?公司未來(lái)能拓展的三大產(chǎn)品市場(chǎng)容量分別有多大空間,?
南大光電表示,,公司各類產(chǎn)品市場(chǎng)占有率如下:MO源:國(guó)內(nèi)約40%;前驅(qū)體:國(guó)內(nèi)約8%,;氫類電子特氣:國(guó)內(nèi)約60%,;氟類電子特氣:三氟化氮國(guó)內(nèi)市占率約為35%,國(guó)外市占率約為10%,;六氟化硫主要在國(guó)內(nèi)銷售,,市占率約為20%。
同時(shí),,南大光電還在努力實(shí)施MO源2.0計(jì)劃,通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新不斷優(yōu)化產(chǎn)品和客戶結(jié)構(gòu),,先進(jìn)前驅(qū)體材料如28nm和14nm制程前驅(qū)體,、硅前驅(qū)體等產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得重要突破;氫類電子特氣在技術(shù),、品質(zhì),、產(chǎn)能和銷售各方面已躍居世界前列;氟類電子特氣方面公司加快烏蘭察布“試驗(yàn)田”建設(shè),,為建設(shè)“世界單項(xiàng)冠軍”產(chǎn)品奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),。