2024年已經(jīng)過(guò)去,，在這一年里雖然消費(fèi)類電子市場(chǎng)略顯低迷,，但是在人工智能（AI）熱潮以及電動(dòng)汽車市場(chǎng)的帶動(dòng)下，2024年全球半導(dǎo)體銷售額預(yù)計(jì)將同比增長(zhǎng)16%,，達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的6112億美元,。這也推動(dòng)了對(duì)于半導(dǎo)體制造設(shè)備的需求，2024年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將有望同比增長(zhǎng)6.5%,，達(dá)到1130億美元,。預(yù)計(jì)2025年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將比同比增長(zhǎng)7.1%至約1210億美元,，2026年將進(jìn)一步增長(zhǎng)到1390億美元,。
近期，全球光刻機(jī)大廠ASML在“2024 Investor Day Meeting”（2024投資者日）活動(dòng)上,，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了分享,，剖析了推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)的四大關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)力：AI服務(wù)器市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)（對(duì)于先進(jìn)制程的需求）、成熟制程市場(chǎng)的持續(xù)擴(kuò)張,、前端3D集成的趨勢(shì),、先進(jìn)封裝市場(chǎng)的旺盛需求。
可以說(shuō),，作為全球光刻設(shè)備龍頭大廠,，ASML從其自身視角出發(fā)，充分展示了對(duì)于半導(dǎo)體制造技術(shù)演進(jìn)及市場(chǎng)需求走向的深刻洞察,，以及自身的應(yīng)對(duì)之策,。
全球半導(dǎo)體生態(tài)持續(xù)繁榮，中國(guó)廠商展露頭角
盡管2023年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)經(jīng)歷了“寒冬”（Gartner數(shù)據(jù)顯示：2023年全球半導(dǎo)體收入總額同比下降 11.1%至5330億美元）,，但是ASML公布的數(shù)據(jù)指出,，整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)（包括半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體制造業(yè),、芯片設(shè)計(jì)業(yè),、終端硬件產(chǎn)業(yè),、軟件和服務(wù)產(chǎn)業(yè)）在2023年仍產(chǎn)生了超過(guò)8650億美元的息稅前利潤(rùn)（EBIT）。其中,，僅英特爾晶圓代工業(yè)務(wù),、三星半導(dǎo)體業(yè)務(wù)、SK海力士,、美光,、鎧俠等少數(shù)頭部半導(dǎo)體廠商（且以存儲(chǔ)廠商為主，主要受存儲(chǔ)市場(chǎng)需求下滑和價(jià)格下跌影響）出現(xiàn)了虧損,。
值得一提的是,，ASML每次投資者日（每?jī)赡昱e辦一次）都會(huì)展示由其獨(dú)家整理的半導(dǎo)體生態(tài)內(nèi)相關(guān)企業(yè)營(yíng)收的分布圖，與上次分布圖對(duì)比,，從產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)維度,，越來(lái)越多的中國(guó)企業(yè)出現(xiàn)在上面。比如中國(guó)大陸的華為,、騰訊,、阿里巴巴、中國(guó)移動(dòng),，以及中國(guó)臺(tái)灣的臺(tái)積電和富士康等,。從整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)息稅前利潤(rùn)占比來(lái)看，華為與思科的占比相近,、中國(guó)移動(dòng)與Verizon占比相近,，但其他中國(guó)廠商與國(guó)外同類頭部企業(yè)仍存在差距。
如果以營(yíng)收規(guī)模來(lái)看,，近年來(lái)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)中的中國(guó)企業(yè)增長(zhǎng)也是非常的迅速,。比如國(guó)產(chǎn)晶圓代工大廠中芯國(guó)際，其2024年第三季度的營(yíng)收環(huán)比增長(zhǎng)14%至21.7億美元,，市場(chǎng)份額環(huán)比增長(zhǎng)0.3個(gè)百分點(diǎn)至6%,，已連續(xù)數(shù)個(gè)季度穩(wěn)居全球第三大晶圓代工企業(yè)，僅次于臺(tái)積電和三星,。晶合集成2024年第三季度也以3.32億美元（環(huán)比增長(zhǎng)約10.7%）營(yíng)收,，0.9%的市場(chǎng)份額，維持排名第十,。此外,，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)2023年?duì)I收同比大漲50.32%至220.79億元，2024年則有望突破250億元,，雖然與頭部的美日半導(dǎo)體設(shè)備大廠仍有不小差距,，但仍可能超越愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試（預(yù)計(jì)截至2025年3月的2024財(cái)年?duì)I收5250日元，約合人民幣242.8億元）,，成為全球第七大半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,。
從R?&D研發(fā)投入的角度來(lái)看,，整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)中的企業(yè)已將其約一半的息稅前利潤(rùn)（EBIT）進(jìn)行再投資，以推動(dòng)長(zhǎng)期創(chuàng)新和增長(zhǎng),。近十年（2015年-2024年）來(lái)整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的研發(fā)投入都在以約12%的年復(fù)合增長(zhǎng)率在增長(zhǎng),，這也直接推動(dòng)了包括人工智能、新能源汽車/自動(dòng)駕駛,、智能手機(jī)等領(lǐng)域的發(fā)展創(chuàng)新,，以及這些產(chǎn)業(yè)對(duì)于半導(dǎo)體需求的增長(zhǎng)。
全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng),，AI服務(wù)器市場(chǎng)成最強(qiáng)驅(qū)動(dòng)力
根據(jù)世界半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計(jì)組織（WSTS）的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)顯示,，2024年全球半導(dǎo)體銷售額預(yù)計(jì)將同比增長(zhǎng)19%，達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的6269億美元,。預(yù)計(jì)2025年半導(dǎo)體銷售額將達(dá)6972億美元,，同比增長(zhǎng)11.2%。
根據(jù)ASML給出的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù),，到2030年全球半導(dǎo)體銷售額將超過(guò)1萬(wàn)億美元,，2025年至2030年間的年復(fù)合增長(zhǎng)率約為9%。
在半導(dǎo)體銷售額持續(xù)增長(zhǎng)的同時(shí),，特別是在中美歐日韓等全球主要國(guó)家和地區(qū)大力持續(xù)發(fā)展本土半導(dǎo)體制造業(yè)的背景下,，也推動(dòng)了全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的增長(zhǎng)。根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)（SEMI）2024年11月發(fā)布的預(yù)測(cè)報(bào)告稱,，2024年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將同比增長(zhǎng)6.5%,，達(dá)到1130億美元。預(yù)計(jì)2025年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將比同比增長(zhǎng)7.1%至約1210億美元,，2026年將進(jìn)一步增長(zhǎng)到1390億美元,。
SEMI認(rèn)為，未來(lái)全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的增長(zhǎng),，主要得益于對(duì)領(lǐng)先技術(shù)的需求不斷增長(zhǎng)、新的芯片架構(gòu)的引入,，包括尖端制程向全環(huán)繞柵極（GAA）的過(guò)渡,，以及晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)張對(duì)于設(shè)備購(gòu)買需求的增加等。
在近期的投資者日活動(dòng)上,，ASML也表示,，鑒于半導(dǎo)體在多種社會(huì)宏觀趨勢(shì)中的關(guān)鍵推動(dòng)作用，該行業(yè)的長(zhǎng)期發(fā)展前景依然樂(lè)觀,，除了多個(gè)重要終端市場(chǎng)的增長(zhǎng)潛力外,，得益于人工智能可能成為推動(dòng)社會(huì)生產(chǎn)力和創(chuàng)新的下一個(gè)重大驅(qū)動(dòng)力，ASML認(rèn)為,，人工智能的崛起為半導(dǎo)體行業(yè)帶來(lái)了顯著機(jī)遇,。ASML對(duì)2030年的營(yíng)收預(yù)測(cè)設(shè)在了440億至600億歐元之間,，同時(shí)預(yù)估毛利率在56%到60%區(qū)間，這一目標(biāo)與2022年投資者日發(fā)布的計(jì)劃保持一致,，顯示出公司在全球半導(dǎo)體領(lǐng)域的戰(zhàn)略穩(wěn)定性及其持續(xù)發(fā)展的潛力,。
從未來(lái)終端市場(chǎng)的需求變化來(lái)看，ASML預(yù)測(cè),，2025-2030年全球智能手機(jī)復(fù)合年增長(zhǎng)率為5%,，消費(fèi)電子產(chǎn)品為3%，汽車為9%,，雖然均低于此前預(yù)測(cè)的6%,、9%和14%。但是AI數(shù)據(jù)中心市場(chǎng)預(yù)測(cè)已從13%的復(fù)合年增長(zhǎng)率上調(diào)至18%,，預(yù)計(jì)AI服務(wù)器市場(chǎng)將在2030年增長(zhǎng)至3500億美元,。這將推動(dòng)對(duì)高性能AI芯片、先進(jìn)DRAM（包括HBM）及NAND芯片需求的增長(zhǎng),。
ASML預(yù)計(jì),，由于數(shù)據(jù)中心市場(chǎng)對(duì)于尖端制程的AI芯片和先進(jìn)DRAM芯片的需求增長(zhǎng)，以及AI智能手機(jī),、AI PC,、自動(dòng)駕駛等市場(chǎng)對(duì)于尖端制程芯片需求的增長(zhǎng)，將持續(xù)驅(qū)動(dòng)對(duì)于極紫外光（EUV）光刻技術(shù)的需求,。預(yù)計(jì)2025-2030年,，先進(jìn)邏輯應(yīng)用的EUV光刻技術(shù)支出復(fù)合年增長(zhǎng)率為10%-20%，先進(jìn)DRAM應(yīng)用EUV光刻技術(shù)支出的復(fù)合年增長(zhǎng)率為15%-25%,。這得益于先進(jìn)邏輯和DRAM芯片對(duì)EUV設(shè)備的需求增加,、新晶圓廠的建設(shè)以及更高的價(jià)格。
成熟制程市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng),，DUV光刻機(jī)仍是主力
雖然目前AI芯片,、智能手機(jī)處理器、PC處理器,、汽車自動(dòng)駕駛芯片這類高性能計(jì)算芯片都依賴于先進(jìn)制程制造工藝,，但是AI服務(wù)器、智能手機(jī),、PC當(dāng)中成熟制程芯片仍占據(jù)著絕對(duì)數(shù)量,，更為廣泛的家電、網(wǎng)絡(luò)等IT產(chǎn)品當(dāng)中也都遍布著成熟制程芯片,。TrendForce的數(shù)據(jù)顯示,，2023~2027年全球晶圓代工產(chǎn)能當(dāng)中，成熟制程（28nm以上）產(chǎn)能比將維持在約70%。這也意味著未來(lái)成熟制程產(chǎn)能的增長(zhǎng)仍將遠(yuǎn)超先進(jìn)制程,。
ASML在投資者日活動(dòng)上公布的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)也顯示,，雖然2024-2030年全球基于EUV曝光的晶圓在全球晶圓出貨中的占比增長(zhǎng)很快，但是從整個(gè)市場(chǎng)來(lái)看,，基于DUV（包括i-Line,、KrF、ArF,、ArFi）曝光的晶圓仍將是絕對(duì)的主導(dǎo),，占比約四分之三。其中,，i-Line,、KrF、ArF光刻機(jī)都主要被用于成熟制程制造,，同時(shí)大部分的ArFi光刻機(jī)也多被應(yīng)用于成熟制程芯片的制造（比如NXT:1980Di等DUV光刻機(jī)的分辨率均為≤38nm）,，雖然部分ArFi光刻機(jī)通過(guò)多重曝光可以做到7nm制程，但是會(huì)缺乏成本效益,。
從ASML 2024年第三季度的財(cái)報(bào)來(lái)看,，雖然其EUV光刻機(jī)的銷售額占據(jù)了35%的凈系統(tǒng)銷售額占比，但是其DUV系統(tǒng)占比仍高達(dá)65%,。如果從出貨量占比來(lái)看,，DUV光刻機(jī)占比更是高達(dá)約95%。值得一提的是,，已經(jīng)銷售出去的大量的面向成熟制程的DUV光刻機(jī)的售后維護(hù)也是ASML的一項(xiàng)重要的收入來(lái)源,。
△ASML 2024年第三季度凈系統(tǒng)銷售情況（圖片來(lái)源：ASML）
ASML表示，“DUV光刻機(jī)現(xiàn)在是,、未來(lái)也將繼續(xù)是該半導(dǎo)體制造行業(yè)的主力,。我們繼續(xù)為先進(jìn)和主流半導(dǎo)體客戶提供浸潤(rùn)式DUV系統(tǒng)（ArFi光刻機(jī)）組合，以滿足產(chǎn)能增長(zhǎng)和更高生產(chǎn)率的需求,。我們的XT和NXT系列干式DUV系統(tǒng)（ArF光刻機(jī)）產(chǎn)品組合繼續(xù)為客戶提供性能上的靈活性,，并通過(guò)建立通用性和運(yùn)營(yíng)效率來(lái)提供最佳的技術(shù)成本。我們還通過(guò)將產(chǎn)品壽命延長(zhǎng)至20年以上,，并通過(guò)多樣化的服務(wù)和升級(jí)組合提高生產(chǎn)率,，不斷優(yōu)化已安裝的6000多套DUV系統(tǒng)?！?/p>
ASML還依據(jù)其總結(jié)的全景光刻價(jià)值公式指出，通過(guò)提升圖形化良率,、分辨率,、精度和生產(chǎn)效率這四個(gè)關(guān)鍵的光刻要素，并持續(xù)優(yōu)化系統(tǒng)成本,、設(shè)備使用壽命,、運(yùn)營(yíng)成本和環(huán)境成本,，其DUV戰(zhàn)略和產(chǎn)品組合解決了整體光刻過(guò)程中一系列全面的價(jià)值和成本考量，可為其客戶提供降本增效的解決方案,。
△ASML全景光刻價(jià)值公式（圖片來(lái)源：ASML）
需要指出的是,，近兩年來(lái)，在美日荷限制先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)華出口的背景之下,，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模仍然保持了快速的增長(zhǎng),，并且增速高于全球平均水平，持續(xù)成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng),。
根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),，2022年、2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模分別達(dá)到282.7億美元,、356.97億美元,，增速明顯高于全球。2024年中國(guó)大陸的半導(dǎo)體制造設(shè)備采購(gòu)支出,，將有望首次達(dá)到400億美元的歷史新高,，相比之前預(yù)計(jì)的350億美元上調(diào)了約14.3%。
而中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)采購(gòu)支出的持續(xù)增長(zhǎng),，主要受益于中國(guó)大陸電子產(chǎn)業(yè)鏈的需求增長(zhǎng),，如手機(jī),、消費(fèi)電子,、電動(dòng)汽車等。另一方面也是由于中美競(jìng)爭(zhēng)加劇,，先進(jìn)制程發(fā)展受限,，迫使中國(guó)大陸轉(zhuǎn)向提高成熟制程半導(dǎo)體芯片自給自足率,。而全球主要的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商也受益于中國(guó)大陸市場(chǎng)對(duì)于成熟制程設(shè)備的旺盛需求，推動(dòng)了他們?cè)谥袊?guó)大陸市場(chǎng)營(yíng)收的增長(zhǎng),。
根據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Counterpoint Research 2024年11月發(fā)布的研究報(bào)告顯示,，2024年前三季度，前五大晶圓制造設(shè)備廠商來(lái)自中國(guó)市場(chǎng)的總收入同比大漲了48%,，占凈系統(tǒng)銷售額的42%,，而去年同期的占比為29%。這一成長(zhǎng)主要得益于來(lái)自成熟制程和存儲(chǔ)相關(guān)設(shè)備的強(qiáng)勁需求,。
以ASML為例,，近兩年來(lái)其來(lái)自中國(guó)區(qū)的凈系統(tǒng)銷售額占比令人矚目，取得了不錯(cuò)的增長(zhǎng),。盡管ASML預(yù)計(jì)未來(lái)來(lái)自中國(guó)大陸的營(yíng)收占比將恢復(fù)至20%,，趨向歷史正常水平，ASML仍非常看好未來(lái)中國(guó)大陸市場(chǎng)對(duì)于成熟制程設(shè)備的需求增長(zhǎng)所帶來(lái)的機(jī)會(huì),。
在2024年上海召開(kāi)的進(jìn)博會(huì)上,，ASML還面向國(guó)內(nèi)客戶展示了其受歡迎的幾款DUV機(jī)型——NXT: 1470、NXT: 870,。ASML官方資料顯示,，這兩款從XT氣浮平臺(tái)升級(jí)至NXT磁浮平臺(tái)的干式DUV產(chǎn)品，能顯著提升產(chǎn)能并降低單位成本,，其中NXT:1470 是ASML 第一款應(yīng)用NXT平臺(tái)并可實(shí)現(xiàn)每小時(shí)晶圓產(chǎn)量達(dá)300片以上的機(jī)型,。
前端3D集成帶來(lái)新機(jī)會(huì)
ASML還進(jìn)一步指出，預(yù)計(jì)前端3D集成將為NAND,、DRAM以及邏輯制程帶來(lái)新的光刻機(jī)會(huì),。
首先，在NAND方面,，目前頭部的3D NAND大廠都已經(jīng)量產(chǎn)了200層以上的3D NAND,，接下來(lái)都將開(kāi)始往300層，甚至400層以上邁進(jìn),。2024年11月,，SK海力士宣布即將開(kāi)始量產(chǎn)全球最高的321層3D NAND；三星隨后也宣布將在國(guó)際固態(tài)電路會(huì)議（ISSCC）上展示新的超過(guò)400層3D NAND,，接口速度為5.6 GT/s,。3D NAND堆疊的層數(shù)越多，對(duì)于光刻的需求量自然也就越大,，并且前端的集成還將會(huì)由原來(lái)的NAND陣列（Array）+CMOS電路層堆疊,，轉(zhuǎn)向NAND陣列+NAND陣列+CMOS電路層堆疊，會(huì)帶來(lái)更多的NAND晶圓光刻需求和混合鍵合（Hybrid Bonding）需求,。
其次,，在DRAM方面，雖然利用EUV技術(shù)能夠進(jìn)一步提升DRAM的集成度和性能,，但是成本也是越來(lái)越高,，因此三星、SK海力士等DRAM大廠都在探索3D DRAM技術(shù)：一種是,，通過(guò)改進(jìn)晶體管架構(gòu),，即VCT（垂直溝道晶體管）DRAM來(lái)實(shí)現(xiàn)3D DRAM；另一種就是以類似3D NAND的方式來(lái)做3D DRAM,。
△3D DRAM的兩大技術(shù)方向（資料來(lái)源：SK海力士）
基于類似3D NAND的方式,，將現(xiàn)有2D DRAM堆疊來(lái)做3D DRAM，目前除了三星和SK海力士有嘗試外,，美國(guó)廠商N(yùn)EO半導(dǎo)體在2023年就宣布將在2025年推出第一代3D X-DRAM,，可以做到230層堆棧,，核心容量128Gb,，相比當(dāng)前2D DRAM實(shí)現(xiàn)8倍容量提升,。這種技術(shù)路線同樣會(huì)帶來(lái)更多的DRAM晶圓光刻需求和大量的混合鍵合需求。
第三,，在尖端邏輯制程方面,，未來(lái)隨著B(niǎo)SPDN（背面供電網(wǎng)絡(luò)）和更先進(jìn)的面向埃米級(jí)制程工藝的CFET（互補(bǔ)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管），也將帶來(lái)對(duì)于更先進(jìn)的EUV光刻和鍵合技術(shù)的需求,。
BSPDN技術(shù)是將原本放在芯片內(nèi)部需要穿過(guò)10~20層堆疊為下方晶體管供電的網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)移到芯片背面,，這樣不僅可以減少正面晶圓面積的損耗，可以增加更多晶體管,，提高整體性能,，布線長(zhǎng)度也可以減少，有助降低電阻使更多電流通過(guò),，降低功耗,，改善功率傳輸狀況。目前,，英特爾在Intel 20A/18A上率先采用BSPN（背面供電網(wǎng)絡(luò)）,，臺(tái)積電也將會(huì)在其第二代2nm技術(shù)當(dāng)中引入BSPN技術(shù)。
△背面供電網(wǎng)絡(luò)技術(shù)（圖片來(lái)源：英特爾）
CFET技術(shù)則被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)埃米級(jí)制程的關(guān)鍵,。根據(jù)imec(比利時(shí)微電子研究中心)公布的技術(shù)路線圖顯示,，憑借CFET晶體管技術(shù)，2032年將有望進(jìn)化到5埃米（0.5nm）,，2036年將有望實(shí)現(xiàn)2埃米（0.2nm）,。而CFET的制造有兩種不同的方法。在單片流程中,，CFET 以連續(xù)工藝流程在晶圓上制造,。在順序流程中，在一個(gè)晶圓上制造底部器件,，然后將第二個(gè)晶圓鍵合到第一個(gè)晶圓上,，并在第二個(gè)晶圓上制造頂部器件。
△圖片來(lái)源：semiwiki.com
不論是對(duì)于BSPDN還是CFET,，除了需要用到先進(jìn)光刻技術(shù)之外,，都需要用到混合鍵合技術(shù)。目前混合鍵合主要有兩類,，晶圓到晶圓（Wafer-to-Wafer, W-W）和裸片到晶圓（Die-to-Wafer, D-W）,。該技術(shù)不再使用凸塊（bump）或?qū)Ь€來(lái)連接基板和芯片，允許不同的芯片層直接互連,，可以顯著提高信號(hào)傳輸速度并降低功耗,，同時(shí)減少芯片內(nèi)部的機(jī)械應(yīng)力,，提高產(chǎn)品的整體可靠性。
雖然早期的晶圓鍵合對(duì)于套刻精度的控制要求并不高,，鍵合后在10微米以內(nèi)即可,。但是隨著3D NAND和高端BSI-CMOS的應(yīng)用，更是達(dá)到了300nm以下甚至150nm的要求,。隨著鍵合技術(shù)的發(fā)展和持續(xù)向前道工藝的滲透,，未來(lái)可能會(huì)達(dá)到50nm的套刻精度的要求。
在ASML看來(lái),，隨著3D NAND技術(shù)的發(fā)展,，將會(huì)帶來(lái)對(duì)于KrF光刻需求的增長(zhǎng)；而不論哪種路線的3D DRAM技術(shù)的視線,，未來(lái)都需要更多的采用先進(jìn)的ArFi光刻工藝幫助實(shí)現(xiàn)3D集成,；至于邏輯制程方面，隨著未來(lái)BSPDN和CFET技術(shù)的應(yīng)用,，則將推動(dòng)對(duì)于EUV/High-NA EUV光刻的需求,。并且，在混合鍵合技術(shù)的發(fā)展下,，未來(lái)整體光刻也應(yīng)支持前端3D集成,，鍵合前后的計(jì)量和掃描儀控制也是要覆蓋所需的關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)。
先進(jìn)封裝市場(chǎng)的新機(jī)遇
雖然晶圓制造前端設(shè)備的價(jià)值量更高,，但是隨著晶圓制造產(chǎn)能的持續(xù)快速增長(zhǎng),，也帶來(lái)了后端封裝測(cè)試需求的增長(zhǎng)，進(jìn)而推動(dòng)了對(duì)于封測(cè)設(shè)備需求持續(xù)增長(zhǎng),。根據(jù)此前美國(guó)商務(wù)部披露的數(shù)據(jù)顯示,，目前美國(guó)的芯片封裝產(chǎn)能只占全球的3%，而中國(guó)大陸的封裝產(chǎn)能占比則高達(dá)38%,。
從國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體封測(cè)設(shè)備廠商的2024年業(yè)績(jī)來(lái)看,，也都保持了不錯(cuò)的增長(zhǎng)。比如,，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠商華封科技前三季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)收7.49億元,，同比增長(zhǎng)21.01%；國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備廠商中科飛測(cè)前三季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入8.12億元,，同比增長(zhǎng)38.21%,。12月18日，中科飛測(cè)第1,000臺(tái)集成電路質(zhì)量控制設(shè)備出機(jī),。截至此時(shí),，中科飛測(cè)在2024年的出貨的集成電路質(zhì)量控制設(shè)備，相比2023年全年出貨量增長(zhǎng)了約82.3%,。
特別是在目前摩爾定律持續(xù)放緩,，高性能計(jì)算芯片轉(zhuǎn)向“Chiplet設(shè)計(jì)”的背景之下,，市場(chǎng)對(duì)于先進(jìn)封測(cè)產(chǎn)能的需求正快速增長(zhǎng)。2023年11月美國(guó)拜登政府還公布了包含約30億美元補(bǔ)貼資金的“國(guó)家先進(jìn)封裝制造計(jì)劃”,，旨在提高美國(guó)半導(dǎo)體的先進(jìn)封裝能力,。
根據(jù)Yole披露的數(shù)據(jù)顯示，2023年全球先進(jìn)封裝市場(chǎng)份額為439億美元,，同比增速高達(dá)19.62%,。半導(dǎo)體市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)TechInsights的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，2024年用于先進(jìn)封裝的晶圓廠設(shè)備預(yù)計(jì)將同比增長(zhǎng)6%,，達(dá)到31億美元。
尤其是對(duì)于國(guó)內(nèi)的芯片制造商來(lái)說(shuō),，為了在現(xiàn)有國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程工藝發(fā)展放緩的背景下持續(xù)提升芯片性能,，也在大力發(fā)展2.5/3D先進(jìn)封裝、Chiplet技術(shù),，這也推動(dòng)了對(duì)于各類先進(jìn)封測(cè)設(shè)備的需求,。
比如ASML針對(duì)先進(jìn)封裝市場(chǎng)就即將推出新的XT:260機(jī)型，該機(jī)臺(tái)是基于ASML獨(dú)有的雙工作臺(tái)技術(shù),，采用業(yè)界公認(rèn)的XT4 平臺(tái),，具有雙倍視場(chǎng)曝光的i-line光刻系統(tǒng)。該產(chǎn)品能夠有效提升性能并降低單片晶圓成本,，可支持從先進(jìn)封裝到主流市場(chǎng)的的廣泛應(yīng)用和發(fā)展趨勢(shì),。
