3月25日消息，據(jù)俄羅斯衛(wèi)星通訊社報(bào)道，莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧近日在其 “電報(bào)” 頻道的賬號(hào)上發(fā)文稱,，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺(tái)350nm光刻機(jī)的研發(fā)工作,，這是生產(chǎn)微芯片的關(guān)鍵設(shè)備。

在俄烏沖突爆發(fā)后，美西方對(duì)俄羅斯實(shí)施了更為嚴(yán)厲的出口管制措施，其中半導(dǎo)體芯片及光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備成為了限制的重點(diǎn)，這也迫使俄羅斯開始研發(fā)自主設(shè)計(jì)的國產(chǎn)光刻機(jī),。

2023年，俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）在接受媒體采訪時(shí)就曾表示,，2024年俄羅斯將開始生產(chǎn)350nm光刻機(jī),，2026年完成用于生產(chǎn)130nm制程芯片的光刻機(jī)。光刻機(jī)的生產(chǎn)將在莫斯科,、澤列諾格勒,、圣彼得堡和新西伯利亞的現(xiàn)有工廠進(jìn)行。

隨后在2024年5月,，俄羅斯塔斯社報(bào)道稱,，在CIPR 2024會(huì)議期間，Vasily Shpak宣布,，俄羅斯首臺(tái)國產(chǎn)光刻機(jī)已經(jīng)組裝完成,，并正在澤列諾格勒進(jìn)行測(cè)試，該設(shè)備可確保生產(chǎn)350nm的芯片,。但是當(dāng)時(shí)Vasily Shpak并未透露更多關(guān)于該光刻機(jī)的細(xì)節(jié),。

莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧近日的最新爆料顯示，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺(tái)350nm光刻機(jī)的研發(fā)工作,，并曝光了部分相關(guān)照片,。

“全球有能力制造這一微芯片關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的不到10個(gè)，如今,，俄羅斯也躋身其中,。我們已向過渡到自主生產(chǎn)微電子產(chǎn)品和國家技術(shù)完全獨(dú)立上邁出了最重要的一步。”索比亞寧還指出,，俄羅斯的這一設(shè)備與外國類似設(shè)備有著非常大的不同,，俄羅斯的這一設(shè)備首次使用固體激光器來作為輻射裝置，而不是汞燈,，固體激光器功率大,、能效高、耐用性強(qiáng),、光譜更窄。

眾所周知,，光刻機(jī)對(duì)于半導(dǎo)體的生產(chǎn)極為重要,，當(dāng)前全球只有荷蘭ASML、日本尼康和佳能,、中國的上海微電子這四家公司能夠生產(chǎn)光刻機(jī),，但是能夠生產(chǎn)先進(jìn)制程的光刻機(jī)只有ASML、尼康和佳能能夠供應(yīng),。雖然350nm是一種非常成熟的制程,，但是依然可以滿足部分汽車、能源和通信行業(yè)的芯片需求,。

莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司總經(jīng)理阿納托利·科瓦列夫表示：“我們公司已按照國家合同完成了俄羅斯首臺(tái)350nm拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的投影式光刻機(jī)的研發(fā)工作,。這一項(xiàng)目是與白俄羅斯“Planar”工廠合作實(shí)施完成的。在2024 年 12 月測(cè)試成功后,，這一光刻機(jī)就獲得了國家委員會(huì)的認(rèn)可,，并記錄了所有申報(bào)的技術(shù)特征。目前已有客戶購買了這一設(shè)備,，現(xiàn)在這一設(shè)備的工藝流程正根據(jù)最終用戶對(duì)生產(chǎn)的特殊要求進(jìn)行調(diào)整,。”

報(bào)道稱,，該350nm光刻機(jī)的工作區(qū)域面積顯著增加,，達(dá)到了 22mm × 22mm，可加工最大直徑為200mm的晶圓,。

據(jù)莫斯科市投資和工業(yè)政策局指出,，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已做好了批量生產(chǎn)這款350nm光刻機(jī)的準(zhǔn)備。此外,，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”目前還正在按第二份國家合同繼續(xù)開展 130 納米光刻機(jī)的研發(fā)工作,，預(yù)計(jì)于 2026 年完成。

根據(jù)此前曝光的計(jì)劃,，2024年俄羅斯將撥款2,114億盧布（約合人民幣166.16億元）用于國內(nèi)電子產(chǎn)品的開發(fā),，其將包括可以生產(chǎn)350nm制程芯片的光刻機(jī)，2026年將啟動(dòng)用于生產(chǎn)130nm制程芯片的光刻機(jī)。

而俄羅斯決定開發(fā)350nm到65nm光刻機(jī)的原因,，在于這一技術(shù)范圍內(nèi)的芯片多用于微控制器,、電力電子、電信電路,、汽車電子等方面上,，這些應(yīng)用大約占據(jù)了整個(gè)市場(chǎng)的60%。所以,，這類光刻機(jī)在全世界市場(chǎng)的需求量很大,，并且將在至少10年內(nèi)有持續(xù)的需求。

Vasily Shpak此前還曾指出,，一個(gè)簡單的邏輯就是,，如果沒有半導(dǎo)體主權(quán)，那就沒有技術(shù)主權(quán),，這將導(dǎo)致國防安全和政治主權(quán)方面就非常脆弱,。而現(xiàn)在俄羅斯已經(jīng)掌握了使用國外國光刻機(jī)制造65nm芯片的技術(shù)，但因?yàn)橥鈬颈唤瓜蚨砹_斯出口先進(jìn)的光刻機(jī),，所以俄羅斯也需要積極開發(fā)自己的光刻機(jī),。

針莫斯科政府部長兼投資和工業(yè)政策局局長阿納托利·加爾布佐夫評(píng)論道：“莫斯科是俄羅斯微電子發(fā)展的中心。如今莫斯科約占俄羅斯微電子企業(yè)總營收的40%,。微電子學(xué)和光子學(xué)的發(fā)展在城市和商業(yè)領(lǐng)域的各個(gè)行業(yè)都有著廣闊的應(yīng)用前景,，包括光通信、傳感技術(shù),、無線電光子學(xué)等諸多方向,。‘莫斯科科技城’經(jīng)濟(jì)特區(qū)的入駐企業(yè)目前正在實(shí)施一系列重大項(xiàng)目,，每個(gè)項(xiàng)目都旨在生產(chǎn)具有戰(zhàn)略意義的產(chǎn)品,。”