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ASML前員工竊密案細節(jié)曝光

欲助俄羅斯建28nm晶圓廠
2025-04-07
來源:芯智訊
關(guān)鍵詞: ASML 恩智浦 晶圓廠 28nm

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2024年12月,一位ASML前員工(A先生)因涉嫌竊取ASML和恩智浦的商業(yè)機密而被荷蘭政府拘留,,荷蘭移民局還對其實施了20 年的入境禁令,,引發(fā)了外界關(guān)注。近日荷蘭媒體NRC針對該案件披露了更多的細節(jié),,并表示該竊密之舉是為了協(xié)助俄羅斯在本土建造一座 28nm 晶圓廠,。

眾所周知,ASML 是全球最大的光刻機制造商,,同時也是全球唯一的EUV光刻機供應商,,全球所有的5nm及以下的芯片都依賴于ASML的EUV光刻機來制造。而除了ASML之外,,目前僅有日本的尼康和佳能,、中國的上海微電子裝備擁有光刻機的制造能力,但是他們在技術(shù)上與ASML之間存在巨大的代差,。而荷蘭芯片廠商恩智浦則是全球領(lǐng)先的汽車及工業(yè)芯片制造商,。因此,ASML和恩智浦相關(guān)核心技術(shù)也被荷蘭政府看作是關(guān)乎國家利益的重要資產(chǎn),,需要嚴防被外國“竊密”,。

根據(jù)荷蘭媒體NRC的最新報道顯示,當?shù)貢r間周四,針對該A先生的訴訟案件在荷蘭鹿特丹開庭,,檢方指控他涉嫌竊取ASML和恩智浦的商業(yè)機密,,并傳播生產(chǎn)芯片和芯片制造設備的手冊。此舉被認為是有助于被美西方制裁的俄羅斯在當?shù)亟⒁蛔碌男酒S,。A先生則希望從中賺取額外的收入,。

NRC 采訪的相關(guān)專家稱,盡管A先生“竊取”的資料被標記為“機密”,,但實際上很多卻是相當通用和“廣泛”的信息,。

根據(jù)起訴書還顯示,A先生自2024年8月以來就因涉嫌挪用公款和違反制裁法而被審前拘留,。他甚至在 2022 年俄烏沖突爆發(fā)之前就已經(jīng)在收集信息,,后來他通過U盤、應用程序和共享的Google Drive網(wǎng)盤與俄羅斯的一名同伙分享這些信息,。在與俄羅斯情報機構(gòu) SVR 聯(lián)系后,,他在莫斯科交出一個裝有“機密”文件的U盤,并收到了大約40000歐元的資金,。

據(jù)介紹,,A先生交易的機密信息當中,包括了105份來自 ASML 的文件,、88份與臺積電相關(guān)的文件,,此外還有GlobalFoundries(格羅方德)和恩智浦的相關(guān)文件。

通過在Mapper工作進入ASML

這位被指控涉嫌竊取ASML和恩智浦機密的前員工,,是一名 43 歲的工程師,,其曾在俄羅斯大學接受教育,并在俄羅斯科技公司工作,。2008 年和 2009 年間,,他先是去了比利時研究機構(gòu) imec 實習,然后又去了希臘研究機構(gòu) NCSR 工作,,還曾在美國芯片制造商 GlobalFoundries 位于德累斯頓工廠工作,。

2015年,,A先生開始為總部位于荷蘭代爾夫特的Mapper Lithography公司工作,,這是一家開發(fā)電子束光刻工具的公司。但是由于缺乏資金和足夠的訂單支持,,2018 年底 Mapper 公司無奈破產(chǎn),。美國國防部為防止敏感技術(shù)落入俄羅斯或中國企業(yè)手中,對荷蘭政府進行施壓,,隨后荷蘭政府要求ASML 收購了 Mapper 公司及其專利,,100多名Mapper員工也被并入了ASML,這其中就有包括該“間諜”工程師在內(nèi)的十多名俄羅斯員工。此后,,該“間諜”工程師開始為ASML的“應用”部門工作,。ASML則將 Mapper 的電子束技術(shù)用于計量和芯片檢查。

需要指出的是,,Mapper公司早在2012年,,曾獲得了一位主要的俄羅斯投資者 Rusnano的投資。作為這筆注資的交換,,Mapper 在莫斯科建造了一家工廠,,主要生產(chǎn) MEMS(微機電系統(tǒng))——帶有引導電子束的小透鏡的芯片,后來該工廠成為了隸屬于俄羅斯軍用無人機制造商 Astron的資產(chǎn),。

具體可參考《ASML收購Mapper的背后故事:中美俄荷四方暗斗》

擁有四項ASML專利

根據(jù) NRC 與認識A先生的人的對話顯示,,他的前同事形容他是“隱形”的,一個“孤獨的人”,,有著某種奇特的交流方式,。但沒有人懷疑他會竊取信息。

在ASML工作期間,,A先生的職業(yè)生涯曾陷入了停滯,,因為ASML決定將他負責的零部件生產(chǎn)工作外包出去,而ASML也不認為他是管理供應商的合適人選,。雖然他試圖“拓寬”自己,,但缺乏必要的理論知識,最終ASML決定在 2021 年之后不再與其續(xù)約,。

雖然A先生不是一個雄心勃勃的人,,但他的名字出現(xiàn)在 ASML 的四項專利中,其中最后一項于上個月公布,。這怎么可能呢,?由于專利是在多個國家/地區(qū)提交的,因此在首次申請和在其他國家/地區(qū)申請之間有很多時間間隔,。

竊取機密

離開 ASML 后,,A先生開始通過借調(diào)機構(gòu)尋找新工作。他表示他想做更多的研究——希望在芯片技術(shù)領(lǐng)域的階梯上更上一層樓,,但這并沒有成功,。在2022 年 1 月新冠疫情期間,他開始在奈梅亨的 NXP 擔任受雇流程員工,。在介紹性會議期間,,他給人的印象是一個敬業(yè)但內(nèi)向的技術(shù)人員,難以溝通,?!埃ㄋ├饨欠置鳎瑔拢闭J識他的人說,。

在恩智浦雇用該A先生的那一年,,他與同事幾乎沒有聯(lián)系。2022 年 5 月,,他向奈梅亨的一家公司詢問 ASM International 的二手化學氣相沉積設備的報價,。最初,這些設備應該運往德國,,但后來他將目的地改為以色列,。該物品從未交付。現(xiàn)在,,這被視為為俄羅斯新設施收集設備和零件的嘗試,。

根據(jù)A先生前妻的一份聲明顯示,他于 2023 年底與俄羅斯科學家接觸,,以助力俄羅斯在本土建立新的芯片工廠,。目的是在那里制造 28nm 芯片。

2023年,,該A先生與代爾夫特理工大學應用科學學院簽訂了一份為期一年的合同,。他在那里也過著與世隔絕的生活,但研究并未表明他從代爾夫特理工大學竊取了文件,。

然而,,A先生的U盤確實包含來自全球最大的晶圓代工企業(yè)臺積電和美國晶圓代工企業(yè) GlobalFoundries(格羅方德)的相關(guān)文件。以臺積電為例,,A. 的U盤中有 88 個不同的文件與臺積電相關(guān),。具體是哪些,目前尚不清楚,。恩智浦是臺積電的客戶,,ASML 也為臺積電供應光刻機。

沒有光刻機設計圖

2024 年 8 月 28 日,,A先生 在 AIVD 情報局的官方報告后被捕,。2024 年 10 月,ASML 和 恩智浦 的法務部門收到消息,,稱A先生涉嫌間諜罪,。兩家公司都在配合警方的調(diào)查,并對這名前雇員進行了舉報,。

據(jù)恩智浦的專家稱,,大多數(shù)商業(yè)秘密都屬于“技術(shù)援助”類別。在A先生的電腦和手機上還發(fā)現(xiàn)了 105 份來自 ASML 的文件,。其中一些是“機密”信息的演示,但它們并不是構(gòu)建光刻機的藍圖,更不是整個芯片工廠的藍圖,。

A先生的前同事并不認為他是一個精明的“間諜大師”,。因為他為了并不多的現(xiàn)金就放棄了他略有些困難的職業(yè)生涯。據(jù)內(nèi)部人士稱,,A先生通過出售情報,,從一家俄羅斯公司或俄羅斯情報機構(gòu)獲得了大約 40,000 歐元。

ASML 和 恩智浦以前是間諜活動的受害者,。ASML 不斷受到黑客的攻擊,,必須保護自己免受“內(nèi)部”盜竊。近年來,,ASML和恩智浦都加強了其內(nèi)部網(wǎng)絡的安全性,。不同部門之間存在數(shù)字“墻”,因此員工只能查看有限數(shù)量的數(shù)據(jù),,并且內(nèi)部監(jiān)控系統(tǒng)會記錄可疑行為,。

然而該系統(tǒng)的日志文件顯示,在 2020 年 12 月 16 日和 17 日,,A先生下載了他工作根本不需要的文件,。然而,當時系統(tǒng)沒有發(fā)出警報,。

從以往違反制裁法的刑事案件來看,,A先生有可能被判處 18 至 32 個月的監(jiān)禁,。檢察院希望通過此案樹立一個榜樣:荷蘭經(jīng)濟高度依賴高科技公司,,這些知識產(chǎn)線必須得到保護。


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