眾所周知,，目前所有的芯片制造,，均要經過光刻這么一個工藝，所以光刻機是必不可少的半導體設備,。

而光刻機與芯片的工藝是相對應的,，比如EUV光刻機用于7nm及以下，DUV光刻機用于7－180nm,。還有UV（i－line）光刻機,，主要用于0．35um工藝。

而DUV光刻機又分為ArFi光刻機,，用于45－7nm,；而ArF Dry用于65nm，還有KrF用于180nm等等,。

目前全球的光刻機廠商,，真不多，特別是用于芯片制造的,，也就是前道光刻機,，全球也就四家，分別是ASML,、日本的佳能,、尼康,、上海微電子。

其中ASML是最牛的,， 特別是EUV光刻機,，僅ASML一家廠商能制，可以說ASML卡住了全球先進晶圓廠的脖子,。

但事實上,，除了EUV光刻外，ASML在DUV領域的光刻機,，也是一頂一的,，全球沒有對手。

據機構統(tǒng)計的2021年全球半導體前道光刻機銷售情況表,，上面列出了3大巨頭,，在各種光刻機上面的銷售數(shù)據。

數(shù)據顯示,，全球一共售出478臺前道光刻機,，被ASML、尼康,、佳能瓜分了,。其中ASML拿下了其中的309臺，占比為65％,，接近三分之二的市場,。而尼康為6％，佳能為29％,。

但是在高端EUV光刻機領域,，ASML占據了100％的市場，而在次高端的在ArFi和ArF光刻機領域,，也分別占據96％和88％的市場,。

至于佳能，尼康,，則主要集中在最低端的還有UV（i－line）光刻機領域,，在次高端的DUV領域，都表現(xiàn)一般,。

至于國產光刻機,，雖然可以用于90nm，但其實晶圓廠們用得非常少,，并且主要不是用于前道,，也就是晶圓制造這一塊，更多是用于后道,，比如封測等領域,。

畢竟光刻機要與其它的產品一起協(xié)同工作的,，這一塊國產光刻機并不占優(yōu)，很多晶圓廠在有選擇的情況下,，一般不選擇國產,，而是選擇與其它設備早就兼容聯(lián)調好的國外產品。

當然,，目前全球也在研發(fā)其它技術的光刻機,，比如多電子束直寫光刻機（MEB）、定向自組裝技術（DSA）,、nm壓印技術（NIL）等不同新技術也,，希望這些技術有所突破，那么我們就不必依賴ASML了,，否則真的太難超越它了,。

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