在AI,、HPC的催化下,，先進封裝擁有更小I/O間距和更高密度的RDL線間距,。全球大廠無不更新迭代更先進的制造設備以實現(xiàn)更密集的I/O接口和更精密的電氣連接,，設計更高集成,、更高性能和更低功耗的產品,，從而鎖定更多的市場份額。
化學濕制程,、電鍍及自動化設備領導供應商Manz亞智科技,，以RDL不斷精進的工藝布局半導體封裝市場。日前,，Manz擴大RDL 研發(fā)版圖，聚焦于高密度的玻璃通孔及內接導線金屬化工藝,，并將技術應用于下一代半導體封裝的TGV玻璃芯基材,，能夠達到更高的封裝效能及能源傳遞效率外，還可透過板級制程,，滿足高效率和大面積的生產,，從而降低生產成本。
Manz RDL制程以厚實的研發(fā)基礎和前瞻的技術創(chuàng)新,，應用版圖再擴大
憑借近四十年在化學濕制程（洗凈,、蝕刻、通孔工藝設備）,、自動化及電鍍等生產設備解決方案領域的豐富經驗,，Manz持續(xù)為全球十大載板廠及面板廠提供穩(wěn)定量產的有力支持,，在IC載板和顯示器行業(yè)中扮演著重要角色?；谠谟袡C材料上發(fā)展的RDL技術,，以及多年在傳輸玻璃載板領域的經驗，近年來Manz成功地將這些技術應用于半導體封裝領域,。通過RDL工藝制作內接金屬導線,，為芯片與電路板之間的上下信號傳遞搭建了通道，應用于FOPLP及TGV玻璃芯基材,，滿足了高縱深比的直通孔,、高真圓度等制程需求。這兩種封裝技術的開發(fā),，旨在滿足客戶對封裝體積小,、高效能及高散熱的嚴苛要求。
▲ Manz RDL方案應用于板級先進封裝及TGV玻璃芯基材
制程技術再升級封裝再創(chuàng)新局
Manz RDL 制程設備解決方案無縫整合化學濕制程工藝前后制程,，并確保電鍍后的基板表面均勻性最高可達 95%,，銅厚度超過 100 μm。這不僅提高了芯片密度,，還改善了散熱性,。
l 電鍍設備并支持高達10 ASD的高電鍍電流密度，提高整體制造能力,。
l 新型的垂直電鍍銅無需使用治具,，透過專利的整機設計即可完成單面電鍍銅制程，可節(jié)省治具的購置與維護成本,，還能實時監(jiān)控制程中的電鍍藥水成分,，確保制程的穩(wěn)定與高效。
l 多分區(qū)陽極設計,，提升電鍍均勻性達95 %,，線寬線距最小達到5μm / 5 μm。.
針對高深寬比需求,，Manz RDL制程設備可完整完成清洗,、蝕刻、通孔以及電鍍填孔的工藝任務,，搭配自動化設備,，可提供整合度高的玻璃芯基材解決方案，達成大于100um的高真圓度通孔,，優(yōu)化器件電力與訊號傳輸,，提升芯片效能。
▲ Manz 電鍍設備可依據客戶制程需求，實現(xiàn)單,、雙面電鍍,，加速產速
技術組合開拓新應用場景
Manz 擁有廣泛的技術組合、豐富的設備產線以及涵蓋多元領域的生產設備經驗,，在RDL設備及技術的研發(fā)布局方面具備堅實的基礎,。因此，Manz的設備能夠有效協(xié)助芯片制造商生產出涵蓋低,、中,、高階的各類芯片封裝，滿足市場多樣化的需求,。如：AI芯片（GPU\CPU\邏輯存儲）,、汽車電子芯片(Power IC/ADAS/RF/RADAR)、5G應用芯片(低軌道衛(wèi)星通訊,、高射頻收發(fā)器,、SiP)以及電子產品(SOC、RF,、PMIC,、MEMS、Driver IC),。
Manz 與客戶攜手共進,，引領行業(yè)發(fā)展
Manz 致力于為客戶量身打造并落實制程生產的最佳方案，從開發(fā)項目初期,，Manz 便與客戶緊密合作,，深入探討生產制程的每一個環(huán)節(jié)，以確保能為客戶贏得最快速的市場上市時機,。目前,，已與全球來自不同產業(yè)投入板級封裝的客戶緊密合作，提供單一設備甚至是以自動化整合整廠設備的解決方案,，助力他們在風云突變的市場競爭中始終保持卓越的競爭力,。
當前生成式AI引爆了整個市場，對先進封裝,、異構集成,、高效基板的巨量需求前所未有，成為半導體市場的主要增量,。基于TGV的玻璃基板封裝處于起勢階段,，相關AI產品將在3-5年內開花結果,。面對產業(yè)對新材料、新技術的挑戰(zhàn)，Manz亞智科技與國內產業(yè)鏈進行過多次深入合作,，涵蓋產,、學、研,，旨在有效推進國內板級封裝的建設,。Manz集團亞洲區(qū)總經理林峻生先生表示：「我們將繼續(xù)發(fā)揮自身在技術和市場方面的積累，通過整合,，積極推動板級封裝實現(xiàn)產業(yè)化落地,，全方位推進國內在先進封裝的發(fā)展，為整個產業(yè)生態(tài)的建設貢獻出更多的力量,?！?/p>
在政策紅利的傾斜下，國內半導體廠商紛紛擴建先進封裝項目,。其中,，新技術TGV玻璃芯基材以及板級封裝作為提效或降本的新技術手段備受關注，各大廠商紛紛躍躍欲試,，以期不斷增強產業(yè)國際競爭力,、創(chuàng)新力及技術力。林峻生先生指出：「為了給予客戶全方位的技術工藝與服務,，迎接這一波板級封裝的快速成長,，我們與供應鏈在上下游制程工藝及設備的整合、材料使用等方面都保持著密切的合作,。通過凝聚供應鏈的共同目標,，我們致力于為客戶提供更創(chuàng)新的板級封裝制程工藝技術，打造高效生產解決方案,，并不斷優(yōu)化制程良率及降低制造成本,。我們提供以市場為導向的板級封裝RDL一站式整體解決方案，打造共榮共贏的供應鏈生態(tài),?！?/p>
