眾所周知,，全球能夠生產(chǎn)芯片光刻機(jī)的廠商只有四家，分別是荷蘭的ASML,，日本的尼康,、佳能，中國(guó)的上海微電子,。

其中ASML的技術(shù)最強(qiáng),，是唯一能夠和生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商，目前精度已經(jīng)支持到3nm,。接著是尼康,，其浸潤(rùn)式光刻機(jī)，分辨率可達(dá)到7nm及以下,。

再是佳能,，其干式光刻機(jī)，可實(shí)現(xiàn)55nm及以上的分辨率,，上海微電子也是干式光刻機(jī),，分辨率標(biāo)注為90nm。

不過(guò)近日,，有網(wǎng)友表示,，全球第五家光刻機(jī)廠商誕生了,，并且還是一家中國(guó)大陸的廠商,，一時(shí)之間讓大家興奮不已，畢竟目前在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,，我們最落后的就是光刻機(jī)了,，有了突破必須興奮啊,。

這家廠商叫大族激光，是國(guó)內(nèi)頂尖的激光設(shè)備龍頭，在全球激光設(shè)備企業(yè)中,，Trumpf營(yíng)收,、利潤(rùn)規(guī)模第一，大族激光營(yíng)收,、利潤(rùn)規(guī)模排名第二,。

大族激光在互動(dòng)平臺(tái)中表示，公司的光刻機(jī)項(xiàng)目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域,，分辨率3－5μm,；其中，接近式光刻機(jī)已投入市場(chǎng),，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動(dòng)用戶優(yōu)化,。

這基本上就證實(shí)了大族激光擁有自己的光刻機(jī)，所以網(wǎng)友們當(dāng)然很興奮了,， 雖然接近式（也稱接觸式）,、步進(jìn)式光刻機(jī)技術(shù)相對(duì)于上海微電子還比較落后，但也是光刻機(jī)啊,。

我們先說(shuō)一個(gè)技術(shù)上的常識(shí),，光刻機(jī)在曝光方式上可以分為三類(lèi)：接觸式光刻機(jī)、接近式光刻機(jī)和投影式光刻機(jī),。

像前面提到ASML,、尼康、佳能,、上海微電子這四大,，均使用的是投影式光刻機(jī)，目前已經(jīng)第4代,。

但其實(shí)目前像能夠生產(chǎn)接觸式,、步進(jìn)式光刻機(jī)的廠商還有很多，這些分別是第一,、二代光刻機(jī),。只是這些光刻機(jī)，生產(chǎn)的芯片工藝很是成熟,，大多都是μm級(jí)別,，達(dá)不到nm工藝，所以大家習(xí)慣性的不說(shuō)這些光刻機(jī),。

故，大族激光也表示,，自己的光刻機(jī)項(xiàng)目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域,，分辨率為3－5μm。所以這種光刻機(jī)，并不是大家想的能夠制造高端芯片的光刻機(jī),，也并不是當(dāng)前的主流芯片制造的光刻機(jī),，大家不必太激動(dòng)。

當(dāng)然,，任何技術(shù)都是從低端開(kāi)始的,，大族激光雖然現(xiàn)在只能夠生產(chǎn)接觸式、接近式光刻機(jī),，說(shuō)不定后續(xù)也能夠生產(chǎn)浸潤(rùn)式,、EUV光刻機(jī)呢，所以我們還是可以報(bào)以極大的期待的,。

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