2月24日消息,，有投資者在投資者互動平臺提問：徐州博康的Arf產(chǎn)品進展情況如何,？可以介紹一下旗下的相關產(chǎn)品不,？

華懋科技2月24日在投資者互動平臺表示,，徐州博康具備干法ArF光刻膠及濕法ArF光刻膠的技術能力,，產(chǎn)品種類涵蓋了L／S及C／H兩類光刻膠,。干法ArF產(chǎn)品HTA13X及HTA12X系列可應用至90nm／65nm／55nm工藝節(jié)點,，濕法ArF產(chǎn)品HTA11X系列可應用至40nm／28nm工藝節(jié)點,。

此外，徐州博康已經(jīng)具備半導體光刻膠樹脂研發(fā),、生產(chǎn)體系,，已經(jīng)成功開發(fā)出50多款半導體光刻膠樹脂，目前旗下光刻膠產(chǎn)品用樹脂全部屬于自供,。

據(jù)公開資料顯示,，徐州博康位于江蘇省邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，是集研發(fā),、生產(chǎn)、經(jīng)營中高端光刻膠,、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術企業(yè),，也是目前本土企業(yè)中，唯一可以規(guī)?；a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的制造商,。公司自成立以來一直專注于高端精細化工領域醫(yī)藥中間體和高端電子化學品的研發(fā)、生產(chǎn),，目前現(xiàn)有職工100多人,，其中專業(yè)技術人員50人，建有3000m2研發(fā)中心,，已獲得十多項發(fā)明專利,，先進的分析檢測設備，完備的中試設備,，標準化的生產(chǎn)車間,。企業(yè)擁有自己的核心技術研發(fā)團隊、中試放大團隊及生產(chǎn)團隊,，并通過專業(yè)化的流程管理來控制產(chǎn)品質量,。

徐州博康專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實現(xiàn)了從單體,、光刻膠專用樹脂,、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應鏈；擁有5000平方研發(fā)中心,，位于松江漕河涇科技綠洲,，研發(fā)團隊200余人，博士和碩士占比50％以上,。配置有KrFNikonS204,、I9、I12、ACT8track,、日立CDSEM等先進光刻檢測設備,，以及其它理化檢測設備如ICP－MS、HPLC,、GC,、IR等。

徐州博康產(chǎn)品線涵蓋193nm／248nm光刻膠單體,、193nm／248nm光刻膠,、G線／I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品,。目前已成功開發(fā)出40＋個中高端光刻膠產(chǎn)品系列,，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠,，KrF正負型光刻膠,，I線正負型光刻膠及GHI超厚負膠，應用于IC集成電路制造多個環(huán)節(jié),，服務客戶超100家,。

今年6月，徐州博康被列入建議支持的國家級專精特新“小巨人”企業(yè),。在產(chǎn)業(yè)資本和政府的支持下,，徐州博康新建年產(chǎn)1100噸光刻材料及1萬噸電子溶劑新工廠已于2021年6月份正式投產(chǎn)，項目全部達產(chǎn)后,，可實現(xiàn)年產(chǎn)值20億元,，這也是中國目前第一個可以規(guī)模化生產(chǎn)中高端光刻膠的生產(chǎn)基地,。