隨著疫情反彈導致全球部分地區(qū)的海運緊張,、港口和通關阻滯,,運輸存儲、交期相對敏感的電子材料供應鏈仍然危機重重,。據CSIA(中國半導體行業(yè)協(xié)會)消息,,8月2日,,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會收到中芯國際、華宏虹力等公司的反饋,,浦東國際機場由于疫情突發(fā),,導致冷鏈運輸貨物分撥不暢,大量貨物滯留在海外,。其中便包括光刻膠,。
光刻膠又稱光致抗蝕劑,它是指由感光樹脂,、增感劑和溶劑三種主要成分構成的對光敏感的混合液體,。在紫外光、電子束,、離子束,、X 射線等輻射的作用下,其感光樹脂的溶解度及親和性由于光固化反應而發(fā)生變化,,經適當溶劑處理,,溶去可溶部分可獲得所需圖像。
光刻工藝是指在光照作用下,,借助光刻膠將掩膜版上的圖形轉移到基片上的技術,,在半導體制造領域,隨著集成電路線寬縮小,、集成度大為提升,,光刻工藝技術難度大幅提升,成為延續(xù)摩爾定律的關鍵技術之一,。同時,,器件和走線的復雜度和密集度大幅度提升,高端制程關鍵層次需要兩次甚至多次曝光來實現(xiàn),。其中,,光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能,、成品率及可靠性的關鍵因素。目前,,高端光刻膠市場主要由日本和美國光刻膠巨頭主導,。
此外,由于光刻膠保質期短(平均6個月左右),,長期滯留不僅貨物本身會造成損失,,中芯國際、華虹集團等企業(yè)也會因光刻膠短缺存在停工停產的風險,。
經上海市集成電路行業(yè)協(xié)會與上海市經委運行處商議,,采用“包機”的形式將自8月初開始滯留的貨物一次性運輸至上海。8月31日,,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會召集國際知名光刻膠供應商杜邦,、默克、住商,、信越等企業(yè)討論“包機”紓困方案,。
截至目前,在供應鏈與東航物流,、上海海關,、浦東機場海關等多部門的支持下,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會分別于9月10日和10月17日完成2次包機任務,,共運輸光刻膠53.78噸,。