隨著半導體制程向著更先進,、更精細化方向發(fā)展,,不同節(jié)點范圍和玩家的邊界越來越明顯。其中,,最先進制程玩家只剩下臺積電,、三星和英特爾這3家。而在成熟制程方面,,也是在近些年才被業(yè)界特別提及的,,早些年,特別是在14nm量產(chǎn)之前,,先進制程與成熟制程之間的差別并沒有今天這么大,,特別是在邏輯芯片生產(chǎn)領域,當下,,專注于成熟制程的廠商特點愈加突出,。
按照IC Insights的統(tǒng)計和預測,各種半導體制程的市占率正向著相對更加均衡的方向發(fā)展,,如下圖所示,。
在2019年,,10nm以下先進制程的市占率僅為4.4%,而到2024年,,其比例將增長到30%,。在該時間段內(nèi),10nm -20nm制程的市占率將從38.8%,,下降到26.2%,;20nm-40nm制程的市占率將從13.4%,下降到6.7%,;不過,,從該統(tǒng)計和預測來看,40nm以上成熟制程的比例在這些年當中沒有出現(xiàn)明顯變化,。
總體來看,,到2024年,10nm以下,,10nm -20nm,,以及40nm以上制程各占市場約三分之一。
這里特別關注成熟制程和10nm以下的先進制程,,前者市場率一直都處于穩(wěn)定狀態(tài),,而后者市占率與日俱增,與前者的歷史發(fā)展形成鮮明對比,。
愈加火爆的成熟制程
成熟制程在2020年非?;鸨a(chǎn)能嚴重短缺,,這給各大晶圓代工廠帶來了巨大的商機,。而從2021年的產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢來看,這種短缺狀況在近期內(nèi)還難以緩解,。對此,,Counterpoint Research認為,2021年,,排名靠前的代工廠的成熟制程僅會分配給特定應用,。舉例來說,即便8英寸晶圓需求強勁,,聯(lián)電(UMC)宣布,,2021年8英寸晶圓產(chǎn)能僅擴充1%-3%。占全球成熟制程產(chǎn)能約10%的中芯國際由于受到美國禁令制約,,在產(chǎn)能擴充上也充滿不確定性,。整體而言,這波產(chǎn)能短缺屬于結構性問題,,要等到2022年所有供應鏈都重建好庫存后才能緩解,。
成熟制程主要用來制造中小容量的存儲芯片,、模擬芯片、MCU,、電源管理( PMIC),、模數(shù)混合、傳感器,、射頻芯片等,。在應用層面,云計算,、5G射頻器件需求的快速增長為成熟制程提供了強勁動力,。
晶圓代工業(yè)正在向更加細分方向發(fā)展,不同于臺積電和三星追逐先進制程,,UMC,、格芯、 TowerJazz,、世界先進,、華虹宏力等更多關注于各自擅長的特色工藝,通過在已有成熟工藝方面的投入,,提升產(chǎn)品性價比及競爭力,。
從需求側來看,特色工藝的市場應用前景廣闊,,具備吸納更多企業(yè)在各自特色領域內(nèi)做精做強的基礎,。目前來看,MCU,、模擬電路和分立器件這三大類芯片占整體市場的份額接近 50%,,且其發(fā)展更加穩(wěn)健,為特色工藝應用提供了基礎,。更加值得關注的是,,與先進工藝相比,特色工藝在晶圓代工業(yè)務模式上滲透率相對較低,,傳統(tǒng)邏輯器件方面,,除了英特爾外,主要廠商基本采用“設計-代工-封測”的分工合作模式,,而在模擬器件、MCU,、分立器件領域,,仍然以IDM自家生產(chǎn)為主。這使得成熟制程工藝代工業(yè)務的拓展有了更大的空間,。
另外,,特色工藝的供應商在盈利能力方面的波動性相對較小,,一方面,需求端的穩(wěn)定性使廠商在經(jīng)營管理方面的可預期性更強,,另一方面,,由于制程的成熟度相對較高,在設備支出和研發(fā)投入規(guī)模方面,,特色工藝廠商相對較小,,使其在成本控制方面具備優(yōu)勢。
成熟制程工藝有哪些呢,?具體來看,,主要包括以下幾種。
驅動IC:隨著OLED面板滲透率上升,,OLED廠商市占率提高,,而傳統(tǒng)OLED DDIC以80nm及以上制程為主,其訂單量上升提高了更高制程節(jié)點的產(chǎn)能,。
電源管理芯片:受益于5G推進,,手機搭載的數(shù)量大幅增長,且快充芯片的使用量也逐步提升,。此外,,TWS耳機等新品的推出也拉動了電源管理芯片和NOR Flash需求。傳統(tǒng)PMIC制程節(jié)點為0.18μm /0.11μm,,市場需求上漲為該成熟制程和相應的特色工藝需求提供了動力,。
傳感器:手機攝像頭數(shù)量不斷提升,其中配套的低像素CIS帶動0.18μm等制程節(jié)點需求提升,,普通高像素CIS也只需55nm制程節(jié)點,,進一步拉動了成熟制程代工需求。指紋識別方面,,手機領域的屏下光學,、電容側邊、超聲波等逐步滲透到智能家居,、金融,、汽車等領域,該類產(chǎn)品多采用0.11μm/0.18μm制程,,相應的成熟制程和特色工藝平臺越來越受歡迎,。
目前,市場對成熟制程工藝需求迫切,,各大晶圓代工廠也都很重視這塊業(yè)務,,行業(yè)普遍看好其發(fā)展前景。
勇攀高峰的先進制程
從目前情況來看,10nm曇花一現(xiàn),,7nm已經(jīng)較為成熟,,具有很大的量產(chǎn)規(guī)模,相對而言,,5nm實現(xiàn)量產(chǎn)時間不長,,且在爬坡階段,而3nm和2nm還未實現(xiàn)量產(chǎn),,這三種制程是最前沿的工藝了,,由于都還沒有達到成熟階段,都需要產(chǎn)業(yè)鏈上下游各方的共同努力,,不斷在研發(fā)層面突破,,才能在最終的芯片生產(chǎn)階段保證質量和數(shù)量。正所謂兵馬未動,,糧草先行,,最先進工藝實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)前,裝備,、材料等各項技術的完善和成熟是關鍵,,也是重要保障。
下面以5nm和3nm(前者剛量產(chǎn),,后者將量產(chǎn))為例,,看一下最先進制程對產(chǎn)業(yè)的影響。
目前,,只有臺積電和三星量產(chǎn)了5nm,,其中又以臺積電為主,正處于產(chǎn)能爬坡階段,,對相應的設備和材料等有更多的要求,。
設備方面,不久前,,中國中微公司董事長尹志堯表示,,該公司開發(fā)的12英寸晶圓等離子刻蝕設備,已經(jīng)進入了客戶的5nm制程生產(chǎn)線,。等離子體刻蝕機是芯片制造中的一種關鍵設備,,用來在芯片上進行微觀雕刻,每個線條和深孔的加工精度都是頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬分之一,,精度控制要求非常高,。
在EUV光刻機方面,全球僅有ASML一家公司掌握著EUV光刻機的核心技術,,這也是5nm制程必需的設備,,但EUV光刻機的成本十分高昂,每臺售價高達1.2億美元,幾乎是DUV光刻機價格的2倍,。
根據(jù)ASML公司發(fā)布的財報,2019全年共出貨了26臺EUV光刻機,,2020年交付了30多臺EUV光刻機,,2021年則會達到45-50臺的交付量。這其中很大一部分都供給了臺積電,,用于擴充5nm,,以及7nm產(chǎn)能。
5nm并不能單純依靠核心工藝的創(chuàng)新與EUV設備的加持,。從材料角度來說,,光刻膠等半導體材料的創(chuàng)新也是制程演進的關鍵所在。
2019年,,日韓之間的半導體材料大戰(zhàn)爆發(fā),,韓國用于制造半導體和零部件設備的光刻膠、高純度氟化氫和含氟聚酰亞胺三大半導體材料,,均遭到日本的出口限制,,對韓國部分重要的產(chǎn)業(yè)發(fā)展造成了不小的影響。
光刻膠則是這三類半導體材料中的重中之重,。
在芯片制造過程中,,曝光、顯影和刻蝕等重要工藝步驟都與光刻膠有關,,耗時占總工藝時長的40%至60%,,成本也占整個芯片制造成本的35%。
有機光刻膠主要用于90nm到7nm的芯片制造,,但隨著制程推進到5nm,,將開始需要無機光刻膠。
目前來看,,中高端光刻膠產(chǎn)品主要還是掌控在日本廠商手中,,臺積電與日本合作伙伴保持著緊密的聯(lián)系。
掩模方面,,家登是臺積電掩模傳送盒的獨家供貨商,,隨著臺積電在7nm導入EUV,加上5nm量產(chǎn),,EUV掩模傳送盒出貨可望倍增,,且導入EUV后,掩??善毓獯螖?shù)為原先四分之一,,帶動掩模傳送盒需求進一步提升。
3nm方面,為了如期量產(chǎn),,臺積電一直在加大投資力度,,2021年全年投資預估達到了300億美元,預計超過150億美元會用于3nm制程,。其中,,很大一部分都要用于購買半導體設備,涉及的廠商主要有ASML,、KLA,、應用材料等,他們供應的光刻機,、蝕刻機等都是制造3nm制程芯片的重要設備,。
對于3nm這樣尖端地制程工藝來說,光刻機地重要性愈加突出,,而能提供EUV設備的,,只有ASML一家,因此,,該公司對于臺積電和三星的重要性也愈加突出,,雙方都在盡可能地從ASML那里多獲得一些最先進地EUV設備。
不久前,,ASML CEO Peter Wennink在財報會上指出,,5nm制程采用的EUV光罩層數(shù)將超過10層,3nm制程采用的EUV光罩層數(shù)會超過20層,,隨著制程微縮EUV光罩層數(shù)會明顯增加,,并取代深紫外光(DUV)多重曝光制程。
此外,,臺積電在先進制程可以一直領先對手的關鍵就是封裝,。封裝技術是臺積電拿下蘋果訂單的決勝武器。半導體產(chǎn)業(yè)面對物理極限挑戰(zhàn),,為了能在同一顆芯片里裝進更多晶體管,,于是有了先進封測計劃。三星就是因為沒有這樣的技術,,所以才與蘋果單失之交臂,。
近些年,臺積電一直在布局先進封測廠,。目前,,該公司旗下有4座先進封測廠,分別是先進封測一廠,、先進封測二廠,、先進封測三廠和先進封測五廠,,它們位于竹科、中科,、南科,、龍?zhí)兜鹊兀缋踔衲戏鉁y基地將是其第五座先進封測廠,。該廠預計投資3000億元新臺幣,,位于竹南科學園區(qū)周邊特定區(qū)、大埔范圍,。
目前來看,該公司7nm制程芯片封測工作已經(jīng)能夠自給自足了,,5nm的也在不斷擴充之中,。面向3nm的封測產(chǎn)線也在建設當中。
為了滿足5nm及更先進制程的需求,,臺積電已建立了整合扇出型(InFO)及CoWoS等封測產(chǎn)能支持,,完成了3D IC封裝技術研發(fā),包括晶圓堆疊晶圓(WoW)及系統(tǒng)整合單芯片(SoIC)等技術,,預計竹南廠將以3D IC封裝及測試產(chǎn)能為主,,計劃今年量產(chǎn)。
結語
成熟制程與最先進制程,,它們特點分明,,前者顯得廣闊,后者則越來越高聳,,而當下的產(chǎn)業(yè)環(huán)境,,為二者都提供了良好的發(fā)展空間,可以最大化地發(fā)揮各自的優(yōu)勢,。