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國產(chǎn)光刻機(jī)第一股來了,?

2021-02-04
來源:半導(dǎo)體圈+

  2月2日,,合肥芯碁微電子裝備股份有限公司科創(chuàng)板IPO注冊獲中國證監(jiān)會批準(zhǔn),安徽自貿(mào)區(qū)合肥片區(qū)高新區(qū)塊迎來今年首家科創(chuàng)板注冊獲批企業(yè)。

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  芯碁微裝成立于2015年,,坐落于合肥高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)基地,,公司專業(yè)從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。截至目前,,公司已獲得了71項(xiàng)技術(shù)專利,,獲批建立了“外國專家工作室”和“第十批省級博士后科研工作站”,并多次榮獲國家,、省,、市大獎。

  首家國產(chǎn)光刻機(jī)制造企業(yè)過會

  三年來業(yè)績表現(xiàn)不俗

  芯碁微裝是一家于2015年6月成立的年輕公司,,主要從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā),、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù),,主要產(chǎn)品及服務(wù)包括PCB直接成像設(shè)備及自動線系統(tǒng)、泛半導(dǎo)體直寫光刻設(shè)備及自動線系統(tǒng),、其他激光直接成像設(shè)備等,。

  據(jù)了解,國內(nèi)A股上市公司中,,尚無與公司產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域完全相同的企業(yè),。招股說明書顯示,與公司產(chǎn)品相近的境內(nèi)外上市公司分別是日本SCREEN,、瑞典Mycronic,、美國KLA-Tencor、美國Rudolph,、臺灣川寶科技,、大族激光。

  芯碁微裝此次擬募集資金4.73億元,,其中,,2.08億元用于高端PCB激光直接成像(LDI)設(shè)備升級迭代項(xiàng)目,9380.00萬元用于晶圓級封裝(WLP)直寫光刻設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,,1.08億元用于平板顯示(FPD)光刻設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目,,6355.00萬元用于微納制造技術(shù)研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目。2017年至2020年1-6月,,芯碁微裝未進(jìn)行股利分配,。

  在合肥“國資委系”的大力支持下,芯碁微裝2017-2019年的業(yè)績表現(xiàn)十分耀眼:短短三年間,,凈利扭虧為盈,,從-685萬元迅速突破至4,763萬元,呈增長趨勢。這三年里芯碁微裝都做了什么,?

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  這三年里芯碁微裝只做了一件事:“直寫光刻技術(shù)”,。

  直寫光刻設(shè)備打破封鎖

  從PCB向OLED跨越 彌補(bǔ)中國產(chǎn)業(yè)空白

  光刻是利用光學(xué)—化學(xué)反應(yīng),將設(shè)計好的微圖形結(jié)構(gòu),,轉(zhuǎn)移到覆有感光材料的晶圓,、玻璃基板、覆銅板等基材表面,,這三種基材面板對應(yīng)的最終電子器件分別是:芯片,、顯示面板和印制電路板(PCB)。其中,,制造PCB的直寫光刻設(shè)備由計算機(jī)控制高精度光束,,無需掩膜就能直接掃描成像。相較傳統(tǒng)掩膜光刻,,其不僅省去了多道工序流程,,還大幅提升了光刻精度、良品率兩大核心指標(biāo),。

  由于受到《瓦納森協(xié)定》限制,,中國企業(yè)無法購買技術(shù)最先進(jìn)的設(shè)備,直寫光刻技術(shù)在中國并不普及,。在此背景下,,芯碁微裝苦研直寫光刻技術(shù),終于做出了一款“ACURA280激光直接成像設(shè)備”,,該設(shè)備能夠用于PCB最高端的基板光刻,,一舉填補(bǔ)該領(lǐng)域空白。芯碁微裝因此順利躋身于行業(yè)第一梯隊(duì),,自給自足,,不再受《瓦納森協(xié)定》限制,甚至在國際舞臺上與以色列的Orbotech,、日本的ORC展開較量,。隨著PCB產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)不斷升級,國產(chǎn)直接成像設(shè)備有望加速實(shí)現(xiàn)對行業(yè)內(nèi)傳統(tǒng)曝光設(shè)備以及進(jìn)口 PCB 直接成像設(shè)備的替代,。

  除PCB制造業(yè)務(wù),,芯碁微裝也將直寫光刻技術(shù)押注在更有前景的OLED領(lǐng)域,OLED與PCB相比對精度的要求更高,。與合肥打造“IC之都”的藍(lán)景不謀而合,。發(fā)行人于 2018 年推出應(yīng)用在FPD 低世代產(chǎn)線的國內(nèi)首條 OLED 顯示面板直寫光刻自動線系統(tǒng)(LDW-D1),光刻精度可達(dá) 0.7μm,,成功獲得面板客戶的產(chǎn)線驗(yàn)證,,給中國的OLED制造帶來了希望,。

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  在 IC 掩膜版制版及 IC 前道制造領(lǐng)域,經(jīng)過多年的深耕與積累,,芯碁微裝累計服務(wù)近 70 家客戶,,芯碁微裝直寫光刻設(shè)備的客戶主要為中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國工程物理研究院激光聚變研究中心,、中國電子科技集團(tuán)公司第十一研究所,、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、華中科技大學(xué),、廣東工業(yè)大學(xué)等高校及科研院所,,通過優(yōu)秀產(chǎn)品幫助客戶在提升產(chǎn)品品質(zhì)和降低生產(chǎn)成本的同時實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、無人化,、智能化發(fā)展,。

  從PCB到OLED再到IC領(lǐng)域,這個年輕的公司在一步步升級直寫光刻技術(shù),。秉承“成為國產(chǎn)光刻機(jī)世界品牌”的奮斗目標(biāo),,在“依托自有核心技術(shù),加大研發(fā)力度,,開拓新型應(yīng)用領(lǐng)域”及“整合行業(yè)資源,,打造高端裝備產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈”的戰(zhàn)略發(fā)展方向下,專注于微納直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備領(lǐng)域,,力爭成為微納直寫光刻領(lǐng)域的國際領(lǐng)先企業(yè)。

  芯碁微裝多次被訴“專利侵權(quán)”

  “老東家”撤訴背后或有秘情

  對于科創(chuàng)板公司而言,,科研水平高低和專利成果多少是決定其未來能否持續(xù)成長的關(guān)鍵,,而欲登陸科創(chuàng)板的芯碁微裝卻在這方面存在一定瑕疵,其與合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司(下稱“合肥芯碩”)之間發(fā)生的專利糾紛案,,暴露了公司在研發(fā)能力上的不足或疑點(diǎn),。

  說起合肥芯碩,它與芯碁微裝的淵源是頗深的,。招股書披露,,芯碁微裝的諸多核心成員原先就任職于合肥芯碩。比如芯碁微裝的董事長程卓,,2015年4月至6月曾參與合肥芯碩重整事宜,,被當(dāng)時的合肥芯碩股東會選為董事長、財務(wù)總監(jiān),;又比如芯碁微裝現(xiàn)總經(jīng)理方林,,原先就是合肥芯碩的技術(shù)骨干,擔(dān)任過合肥芯碩的研發(fā)部總監(jiān),、技術(shù)部副總經(jīng)理,;另外還有芯碁微裝的現(xiàn)任總工程師何少鋒,,原先就是合肥芯碩的研發(fā)部總工程師。既然雙方之間關(guān)系曾經(jīng)很密切,,可為何兩者之間會發(fā)生專利糾紛呢,?

  像許多“老東家”狀告“單飛”后的新成員一樣,合肥芯碩自2017年4月起,,多次以侵害其專利權(quán)為由對芯碁微裝的核心技術(shù)人員(原先也是合肥芯碩核心技術(shù)人員)方林,、何少鋒提起了訴訟,而且這類訴訟還發(fā)生了很多次,,時間分別為2017年4月,、9月,2018年5月,、2019年1月,。但需要注意的是,在往年訴訟中,,合肥芯碩都因各種各樣的理由最終敗訴了,。

  根據(jù)《裁判文書網(wǎng)》披露的文件顯示,最初合肥芯碩是向方林,、何少鋒個人提起訴訟,,但法院認(rèn)為因合肥芯碩未約定競業(yè)限制補(bǔ)償金的金額,且超過三個月未向方,、何二人支付競業(yè)限制補(bǔ)償金,,且合肥芯碩未在法定時效內(nèi)以違反競業(yè)限制義務(wù)為由向方、何二人主張過違約責(zé)任,,因此合肥芯碩的訴訟請求被法院駁回,。

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  此后,合肥芯碩又向芯碁微裝提起訴訟,,主要訴求是合肥芯碩認(rèn)為自己的11項(xiàng)專利被侵權(quán),,但《紅周刊》記者在文書中看到,法院判定合肥芯碩涉案的11項(xiàng)專利不是用于制造芯片加工設(shè)備的方法,,而是芯片加工設(shè)備在工作過程中可能需要使用的方法,,而芯碁微裝的產(chǎn)品并不屬于使用該11項(xiàng)專利方法制造出來的產(chǎn)品,而是可能使用了這些專利方法來加工芯片的芯片制造加工設(shè)備,,故合肥芯碩的訴求被駁回,。

  然而,“不是用于制造芯片加工設(shè)備的方法,,而是芯片加工設(shè)備在工作過程中可能需要使用的方法”的說法,,卻在一定程度上還是反映了芯碁微裝的產(chǎn)品涉及到了合肥芯碩的專利。而對于連續(xù)敗訴的結(jié)果,,合肥芯碩顯然并不滿意,,這一點(diǎn)可從其之后幾年多次提起上訴的行為仍可看出,。

  意外的是,合肥芯碩“鍥而不舍”的上訴行為卻突然在2019年12月戛然而止,。據(jù)“裁判文書網(wǎng)”披露的信息顯示,,2019年1月之后合肥芯碩曾不服安徽省高級人民法院的判決,向最高人民法院申請再審,,但在審查過程中,,合肥芯碩卻在2019年12月12日突然書面提出撤回再審申請。

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  要知道,,在此前的上訴中,,合肥芯碩均以失敗告終,并承擔(dān)了不少的訴訟費(fèi)用,,可即便如此其仍然選擇上訴,,說明審判結(jié)果并不怎么令人信服,可就在其已經(jīng)提交最高人民法院并進(jìn)入審查過程中,,卻在芯碁微裝提交上市申請的關(guān)鍵期撤訴了,,這一突然轉(zhuǎn)向的背后原因令人好奇。

  在《紅周刊》記者調(diào)查過程中,,一位不具名知情人向記者透露,,“合肥芯碩此次提出撤回再審申請,是因?yàn)殡p方已經(jīng)達(dá)成了和解,,該案最終以和解方式結(jié)案,。”可讓人疑惑的是,,這一說法并沒有記錄在裁判文書網(wǎng)的公開文件中,,讓人懷疑雙方很可能是尋求了私下和解方式。

  私下和解背后或有“隱情”

  歷經(jīng)多年的專利糾紛,,雙方爭議最終以私下和解而告終,這一結(jié)果是非?!澳腿藢の丁钡?。從常理來看,如果不是有足夠證據(jù)證明自己的專利被侵權(quán),,合肥芯碩不可能一直申訴下去,,而芯碁微裝如果確實(shí)夠“理直氣壯”的話,也不會接受上述知情人所談到的“私下調(diào)解”方式,,理論上,,其更愿意尋求公開公正結(jié)果,因?yàn)檫@樣可以避免未來繼續(xù)出現(xiàn)專利糾紛的可能性,。

  需要注意的是,,在中國庭審公開網(wǎng)關(guān)于此案的開庭錄像中,,有幾處細(xì)節(jié)印證了芯碁微裝與合肥芯碩的專利“剪不斷理還亂”的關(guān)系。

  首先,,2019年3月21日開庭的庭審錄像顯示,,合肥芯碩代理律師說明天津市漢沽公證處(2017)津漢沽證字第280號公證書(下稱“280號公證書”)記載,在方林給程卓的電子郵件關(guān)于商業(yè)計劃書和請示匯報中,,“明確將合肥芯碩的11項(xiàng)專利列入合肥芯碁商業(yè)計劃書”的事實(shí),。

  此外,280號公證書還證明方林在(電子郵件)匯報請示中,,(電子郵件的內(nèi)容)也明確寫道:“芯碩的技術(shù)和產(chǎn)品相較于國內(nèi)競爭對手是有一定口碑的,,其無形資產(chǎn)的價值恰恰是芯碁微裝所需要的,雖然我們團(tuán)隊(duì)掌握了芯碩的技術(shù),,我們也對外聲稱我們可以繞開芯碩的專利保護(hù),,但是芯碁微裝是無法擺脫芯碩的痕跡的?!?/p>

  而且,,在二審期間,合肥芯碩還提交了(2019)皖合衡公證字第880號公證書及其附件作為新證據(jù),,用以證明QQ電子郵箱214×××@qq,。com的用戶確實(shí)為被上訴人的法定代表人程卓。

  當(dāng)然,,在此前案件審理中,,合肥芯碩以敗訴而告終,但對于這些證據(jù)的真實(shí)性,,法院還都給予了認(rèn)可,,從這點(diǎn)來看,芯碁微裝在生產(chǎn)經(jīng)營中確實(shí)用到了合肥芯碩的技術(shù),。

  合肥芯碩為何在堅持了兩年多之后,,突然接受私下和解?背后又有怎樣的秘密未被披露,?因?yàn)閺某@韥砜?,和解意味著原告被告之間一定達(dá)成了一些相互之間認(rèn)可的協(xié)議。那么,,芯碁微裝究竟開出了怎樣的條件讓合肥芯碩“欣然接受”,?

  從時間點(diǎn)上來看,2020年5月13日,,芯碁微裝首次發(fā)布招股說明書申報稿,,而2019年12月12日,合肥芯碩提出了撤訴,。這一時間點(diǎn)的背后或是合肥芯碩在當(dāng)時可能已經(jīng)知道了芯碁微裝的上市計劃,,因?yàn)橐话銇碚f,,在企業(yè)發(fā)布招股說明書之前需要改制,而改制后則需要經(jīng)歷券商3個月甚至更長的的輔導(dǎo)期,,完成之后就是制作上市申報材料期,,一般也需要兩三個月時間,因此前兩個環(huán)節(jié)最快時間也至少得半年左右,。這意味合肥芯碩在2019年12月底撤訴,,很可能是芯碁微裝與其達(dá)成一些“秘密協(xié)議”,讓合肥芯碩獲得了其認(rèn)可利益,,但疑點(diǎn)在于,,如此影響投資人利益的“秘密協(xié)議”,是否需要在招股書中公開披露或進(jìn)行合理解釋呢,?如果不是徹底解決專利權(quán)歸屬問題,,一旦上市后再出現(xiàn)糾紛,很可能影響的就不是一家公司的問題,,而是所有投資人的權(quán)益都可能會受到一定影響,。

  有意思的是,《紅周刊》記者曾就專利侵權(quán)事件向合肥芯碩了解相關(guān)情況,,但合肥芯碩的表現(xiàn)卻是相當(dāng)警惕的,。記者撥通天眼查披露的合肥芯碩公開電話,接電話的女士稱自己原先只是合肥芯碩的后勤人員,,現(xiàn)在已經(jīng)不在合肥芯碩了,,并不知道合肥芯碩的相關(guān)情況。此后,,《紅周刊》記者又撥通了合肥芯碩官網(wǎng)的聯(lián)系電話,,接聽方同樣是一名女性,當(dāng)記者詢問這是否是合肥芯碩公司,,對方予以了否認(rèn),,在記者表明自己的記者身份后,對方突然掛斷電話,,此后多次撥打再無人接聽,。此外,《紅周刊》記者還電話聯(lián)系到合肥芯碩大股東中夏芯基(上海)科技有限公司,,接聽方同樣以不清楚公司的具體情況為由,匆匆結(jié)束對話,。

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  疑點(diǎn)在于,,天眼查APP顯露的公司公開電話為何竟是企業(yè)的一名已退休后勤人員電話,這種安排是否符合工商信息相關(guān)披露規(guī)定,?介紹商品,、招攬客戶為目的的官網(wǎng)上公開披露的電話,,接聽方竟干脆否認(rèn)是企業(yè)電話。種種異?,F(xiàn)象,,實(shí)在是令人不解的。

  


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