9月17日,，華卓精科于科創(chuàng)板成功過(guò)會(huì),，向“國(guó)產(chǎn)光刻膠第一股”再進(jìn)一步,。

　　華卓精科主營(yíng)業(yè)務(wù)為超精密測(cè)控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊,、靜電卡盤(pán)、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備,、激光退火設(shè)備等,，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造,、光學(xué),、醫(yī)療等行業(yè)。

　　“清華力量”加持,，共享專利

　　華卓精科具有清華“背景”,，公司控股股東朱煜是清華大學(xué)長(zhǎng)聘教授，許多核心技術(shù)人員也是,、來(lái)自清華,。

　　目前，朱煜,、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù),，作為兼職人員在華卓精科處工作。

　　研發(fā)專利，截至 2021 年 6 月 30 日,，公司擁有 198 項(xiàng)專利以及 1 項(xiàng)專利獨(dú)占使用權(quán),。

　　其中，公司與清華大學(xué)共同所有162項(xiàng)專利技術(shù)以及1項(xiàng)獨(dú)占實(shí)施許可專利,，35項(xiàng)為華卓精科單獨(dú)申請(qǐng),。

　　對(duì)于共同擁有的162項(xiàng)專利，公司與清華大學(xué)通過(guò)協(xié)議約定了公司具有該部分專利技術(shù)的獨(dú)占實(shí)施權(quán),，清華大學(xué)具有收益分配的權(quán)利,。

　　獲超10輪融資

　　據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，華卓精科成立至今已獲得超10輪融資,，經(jīng)歷了種子輪,、股權(quán)融資、A輪,、七次定增,、戰(zhàn)略融資、B輪等融資過(guò)程,。背后的投資陣容囊括了水木創(chuàng)投,、中金公司、大華大陸投資,、渾璞投資,、紅星美凱龍、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（下稱“國(guó)家大基金”）等一線機(jī)構(gòu),。

　　華卓精科曾登陸過(guò)新三板,，在公司掛牌新三板期間，共實(shí)施了5次定向增發(fā),，合計(jì)定增募資總額約為1.42億元,。

　　破冰雙工件臺(tái)技術(shù)！

　　光刻機(jī)有三大核心部件,，EUV光源,、雙工件臺(tái)、光學(xué)鏡頭,。其中技術(shù)壁壘最高,、制成難度最大的是雙工件臺(tái)，成本占到整個(gè)光刻機(jī)成本的10%-20%,。

　　此前,，光刻機(jī)的雙工件臺(tái)技術(shù)被荷蘭的ASML公司一手壟斷，而華卓精科攜手清華團(tuán)隊(duì)成功打破了雙工件臺(tái)技術(shù)壁壘,，成為了全球第二,，全國(guó)第一家掌握掌握EUV光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)的廠商,，實(shí)現(xiàn)了技術(shù)、雙工件臺(tái)零部件的完全自主化生產(chǎn),。

　　募資超7億,，加碼研發(fā)

　　華卓精科成立于2012年，雖被譽(yù)為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)第一股,，但公司不生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī),，而是聚焦EUV光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)。

　　公司主要產(chǎn)品包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊,、靜電卡盤(pán)和隔振器等超精密測(cè)控設(shè)備部件以及晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等超精密測(cè)控設(shè)備整機(jī),，以及上述部分主要產(chǎn)品的技術(shù)開(kāi)發(fā)服務(wù),。

　　華卓精科本次擬發(fā)行股票不超過(guò)3200萬(wàn)股，募集資金約7.35億元,，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項(xiàng)目,、超精密測(cè)控產(chǎn)品長(zhǎng)三角創(chuàng)新與研發(fā)中心建設(shè)、光刻機(jī)超精密位移測(cè)量及平面光柵測(cè)量技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目等,。