11月17日消息,，韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局（KIPO）公布的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,，2011－2020年,韓國(guó)EUV光刻專(zhuān)利2014年有88項(xiàng)，2018年有55項(xiàng),，2019年則為50項(xiàng),。
據(jù)報(bào)道,，以三星為代表的韓國(guó)企業(yè)通過(guò)不斷的在研究開(kāi)發(fā)方面投入，在EUV光刻技術(shù)上不斷縮小與行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)之間的差距,。近期,，三星正式推出的Exynos1080芯片，背后就有對(duì)EUV光刻機(jī)技術(shù)突破的因素,。
Exynos1080芯片是三星首款基于5nm工藝制造的手機(jī)SoC芯片,。
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