據(jù)日本經(jīng)濟(jì)新聞報(bào)道,中國新興半導(dǎo)體記憶體企業(yè)合肥長鑫計(jì)劃從半導(dǎo)體制造設(shè)備廠商荷蘭阿斯麥(ASML)引進(jìn)最尖端設(shè)備,。中國由于與美國的貿(mào)易戰(zhàn)和高科技摩擦日趨激烈,,越來越難以從美國引進(jìn)技術(shù)。為了發(fā)展屬于產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新關(guān)鍵的半導(dǎo)體,,將轉(zhuǎn)向采購歐洲設(shè)備以尋找出路,。
合肥長鑫首席執(zhí)行官(CEO)朱一明將在近期訪歐,與荷蘭阿斯麥啟動尖端設(shè)備的采購談判,。多位相關(guān)人士透露了這一消息,。合肥長鑫由中國安徽省的合肥市政府出資。有觀點(diǎn)認(rèn)為這一行動體現(xiàn)了中國政府的意向,。
中國國務(wù)院總理李克強(qiáng)10月19日出席了在布魯塞爾舉行的亞歐首腦會議,。在主席聲明中顯示出歐洲和亞洲展開合作、對抗美國的貿(mào)易保護(hù)主義的姿態(tài),。
合肥長鑫力爭采購的是被稱為「極紫外線(EUV)光刻機(jī)」的最尖端生產(chǎn)設(shè)備,。據(jù)稱這是推動屬于半導(dǎo)體性能提高關(guān)鍵的「微細(xì)化」的新一代技術(shù),每臺設(shè)備價(jià)格高達(dá)約1億歐元,。據(jù)稱最大DRAM(隨機(jī)記憶體)制造商韓國三星電子已經(jīng)試驗(yàn)性引進(jìn),。
歐洲對試圖獲取尖端技術(shù)的中國的警惕也在加強(qiáng),這有可能成為采購的障礙,。不過,,阿斯麥對日本經(jīng)濟(jì)新聞(中文版:日經(jīng)中文網(wǎng))表示,「將平等對待客戶」,,提出了向中國企業(yè)銷售沒有問題這一看法,。在行業(yè)內(nèi)有猜測認(rèn)為,中國半導(dǎo)體代工企業(yè)中芯國際集成電路制造(SMIC)也已經(jīng)向阿斯麥訂購了極紫外線光刻機(jī),。
延伸閱讀:DRAM什么時(shí)候需要EUV光刻機(jī),?
因?yàn)楹戏书L鑫做的是DRAM,所以他定制EUV光刻機(jī)的消息,,讓筆者對DRAM什么時(shí)候需要光刻機(jī)倍感興趣,。因?yàn)槊拦庠诮衲炅碌臅r(shí)候曾表示,EUV 光刻技術(shù)并不是DRAM 制程中所必須的,,而且未來幾年內(nèi)都都還不一定用得上,。目前,美光在新一代制程技術(shù)上,,正在由客戶驗(yàn)證1Y 納米制程的記憶體,,而且未來還有1Z、1α 及1β 制程。
光指出,,記憶體跟處理器等羅技IC 雖然都是半導(dǎo)體產(chǎn)品,,生產(chǎn)制造過程有相似之處,不過制程技術(shù)并不相同,。處理器的制程技術(shù)2018 年已經(jīng)進(jìn)入到了7 納米的節(jié)點(diǎn),,但記憶體主流的還是20 納米、18 納米等技術(shù),。其中,,18 納米就屬于16 到19 納米之間的1X 納米節(jié)點(diǎn),后面的1Y 納米則是14 到16 納米之間,,1Z 則大概是12 到14 納米制程之間。再往下走,,美光就提出的是1α 及1β 制程技術(shù),,而具體對應(yīng)的制程技術(shù)是多少納米就不明了。
就目前市場上來看,,三星是第一家量產(chǎn)18 納米技術(shù)記憶體的廠商,,也就是第一個進(jìn)入1X 納米節(jié)點(diǎn)的記憶體公司,遙遙領(lǐng)先其他競爭對手,。而美光方面,,現(xiàn)在也開始向1X 納米技術(shù)轉(zhuǎn)進(jìn),下一代的1Y 納米技術(shù)則已經(jīng)進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段了,,預(yù)計(jì)2018 年下半年問世,。再下去的1Z 納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)目前正處于制程優(yōu)化階段,而1α 及1β 制程則是在不同研發(fā)階段中,。
對此,,美光執(zhí)行長Sanjay Mehrotra 日前在參加公開會議上表示,在EUV 光刻技術(shù)上,,他認(rèn)為EUV 光刻機(jī)在DRAM 芯片制造上不是必須的,,未來可能到1α 及1β 制程技術(shù)時(shí)都還不見得會用到。不過,,這樣的看法似乎與半導(dǎo)體設(shè)備大廠艾司摩爾(ASML) 的看法有些不同,。因?yàn)椋灸栔霸?jīng)表示,,在記憶體生產(chǎn)技術(shù)上,,進(jìn)入1Y 納米技術(shù)的節(jié)點(diǎn)時(shí)就需要考慮EUV 技術(shù)了。只是,,這樣的預(yù)測到目前實(shí)際上并沒有發(fā)生,,因?yàn)榘ㄈ窃趦?nèi)的三大DRAM 廠在內(nèi),目前都沒有很快進(jìn)入EUV 技術(shù)的打算。因此,,即使未來記憶體的需求依舊強(qiáng)勁,,但要以EUV 技術(shù)來加大能量,短期內(nèi)仍然還不容易見到,。