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要超車臺積電 三星采用 EUV 技術 7 納米制程完成驗證

2018-06-20

  在晶圓代工市場中,,臺積電三星的競爭始終是大家所關心的戲碼,。其中,三星雖然有高通這樣的VIP 客戶,,但在 7 納米制程節(jié)點上,,高通預計會轉投回臺積電的情況下,,三星要想受到更多的客戶的青睞,,只能從工藝技術上著手了,。

  這也是三星為什么跳過非 EUV 技術的 7 納米制程,直接上 7 納米 LPP EUV 制程技術的原因,。如今,三星終于公布了他的 7 納米 LPP 制程已經完成了新斯科技(Synopsys)的物理認證,,意味著 7 納米 EUV 制程將可以進行全球量產了,。

  事實上,目前在全球的前幾大晶圓代工廠商中,,英特爾的10 納米制程還沒搞定,,因此距離 7 納米制程就更遙遠了。而臺積電的 7 納米制程量產比較順利,,會有蘋果,、海思、高通、NVIDIA,、AMD 等客戶陸續(xù)流片,、量產。不過,,臺積電的第一代 7 納米制程,,使用的還是傳統(tǒng)的多重曝光技術,一直必須到 2019 年得第 2 代 7 納米制程才會使用 EUV 光刻技術,。

  格羅方德方面也走臺積電相似的路線,,預計2018 年量產的 7 納米 DUV 制程還是傳統(tǒng)的深紫外光刻技術。對此,,號稱頻率可達 5GHz 的 AMD 7 納米 Zen 2處理器就會使用格羅方德的 7 納米制程技術,,2019 年初問世,2020年 的再下一代才是 7 納米 EUV 制程技術,。

  相對于其他競爭對手,,三星在EUV 技術上是最積極的。也就是三星直接跳過了第一代非 EUV 光刻的 7 納米制程,,直接使用加入 EUV 技術的 7 納米 LPP 制程,,并且預定在 2018 年下半年正式量產。日前,,新斯科技與三星已經聯(lián)合宣布,,三星使用的 7 納米 LPP 制程技術完成了 IC 驗證器的認證工作了。

  在三星完成這次的認證之后,,三星的7 納米 LPP 制程就可以立即提供認證的技術資料,,包括 DRC 設計規(guī)則檢查、LVS 布局與原理圖,、金屬填充技術檔等等給予相關客戶,,而這也意味著三星的 7 納米 LPP 制程正式進入可以量產的階段。

  目前在EUV 光刻技術競爭激烈下,,各家大廠搶 EUV 光刻機也成為重要經營項目之一,。根據(jù)之前的消息,ASML 的 EUV 光刻機中,,臺積電訂購了大約 10 臺,,三星訂購了大約 6 臺,英特爾訂購了 3 臺,,而格羅方德的EUV訂單數(shù)量不詳,,中芯國際也訂購了 1 臺 EUV 光刻機,將用于 7 納米制程技術研究上,,預計 2019 年初交貨,。而就在各家廠商手中都握有 EUV 光刻機的情況下,,似乎未來在7納米節(jié)點上要勝出,就必須對比大家的最后的技術與管理能力了,。


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