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先進制程采用再生水惹質(zhì)疑 臺積電的解釋能讓人滿意嗎

2018-04-26
關(guān)鍵詞: 臺積電 制程 晶圓 半導(dǎo)體

  臺積電南科先進制程新廠,,首度將再生水運用工業(yè)生產(chǎn)引發(fā)疑慮,,國發(fā)會主委陳美伶表示,已借由督導(dǎo)平臺關(guān)注,,為配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求,,再生水標(biāo)準(zhǔn)符合南科相關(guān)先進制程所需。

  陳美伶同時強調(diào),,一旦有異常情況會啟動緊急供水措施,,對于制程及良率將有更高保障。

  臺積電晶圓18廠落腳南科,,政府承諾會穩(wěn)定供應(yīng)水電,,提出運用再生水方案,由于目前半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)都是用純水,臺積電晶圓18廠使用再生水,,市場關(guān)注是否會影響晶圓廠的生產(chǎn)品質(zhì)與良率,。

  國家發(fā)展委員會主委陳美伶接受中央社記者訪問時表示,各項產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)用水需配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求,,對于南科先進制程用水需求及標(biāo)準(zhǔn),,討論使用再生水時即與用水端商議過供水品質(zhì)及標(biāo)準(zhǔn),以兩段式RO(逆滲透)作為供水規(guī)劃,,相關(guān)水質(zhì)應(yīng)可符合南科相關(guān)先進制程所需,。

  陳美伶解釋,去年就已成立的“南科先進制程環(huán)境建置案進度督導(dǎo)平臺”,,是針對整個臺南科學(xué)園區(qū)的先進制程成立,,跨中央相關(guān)部會及臺南市政府,主要是解決影響產(chǎn)業(yè)經(jīng)營的關(guān)鍵問題,。

  陳美伶說,,為協(xié)助業(yè)者排除投資障礙,行政院長賴清德主持多次加速投資臺灣專案會議,,就是為解決目前產(chǎn)業(yè)遇到的問題,,除了南科先進制程,目前也針對中科園區(qū)議題解決處理中,。

  此外,,南科管理局副局長蘇振綱受訪時指出,南科先進制程不只臺積電部分,,也有許多廠商需要使用到再生水,,在會議中也針對這項議題協(xié)調(diào)處理,確保廠商使用需求,。

  蘇振綱說,,針對廠商遇到的產(chǎn)業(yè)需求,從去年下半年就陸續(xù)召開會議并追蹤進度,,因為先進制程廠商都是臺灣重大投資,,除搜集廠商需求細(xì)節(jié),也需要掌握進度,,與中央部會與地方政府間進行協(xié)調(diào),。

  臺積電5納米新廠晶圓18廠,是全球第一家進入5納米制程的晶圓廠,,資本投資新臺幣5000億元,,計劃在2020年投入生產(chǎn)。

  臺積電3納米,、5納米廠先后確定落腳南部科學(xué)工業(yè)園區(qū),,面對水、電需求,臺南市政府先在去年4月啟用曾文凈水場,,每天增加2萬噸供水,,也將永康污水處理廠升級再生水廠,預(yù)計2020年,,每天可供應(yīng)1.5萬噸工業(yè)用水,。


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