《電子技術(shù)應(yīng)用》
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12寸晶圓需求大 為SOI工藝制程爆發(fā)打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)

2017-04-19
關(guān)鍵詞: 晶圓 制程 FD-SOI 臺積電

中國至少已浮出三家晶圓廠將采用SOI工藝先進(jìn)制程,。根據(jù)MarketsandMarkets最新預(yù)估,SOI市場在2022年市場價(jià)值將達(dá)18.6億美元,,2017-2022年期間平均復(fù)合成長率將達(dá)29.1%,。其中,,亞太區(qū)晶圓廠將是主力客戶。

SOI之所以能快速增長,,主要來自消費(fèi)類電子市場增長,、成本下降以及芯片對于低工耗功能的需求快速攀升。尤其來自12吋晶圓的需求將于2022成為SOI最大的市場,。

許多亞太區(qū)客戶正在大量采用SOI工藝制程生產(chǎn)芯片,,其芯片還涵蓋消費(fèi)類芯片、智能手機(jī)客戶以及資通訊預(yù)料也是SOI在2017-2022年之間成長最快的市場,。IC客戶博通(Broadcom),、Qorvo、高通(Qualcomm),、Murata也在計(jì)劃啟動(dòng)12吋芯片投產(chǎn)計(jì)劃,。

前不久落戶成都的GLOBALFOUNDRIES晶圓廠使用22nm FD-SOI工藝,可以把電壓做到0.4V,,非常適合移動(dòng),、IoT物聯(lián)網(wǎng)芯片等低功耗,而且成本低廉,,這是GF主攻FD-SOI工藝的原因,。

上海華力微電子去年底宣布投資387億元建設(shè)第二座12吋晶圓廠,工藝路線是28nm,、20nm及14nm FinFET,,月產(chǎn)能4萬片晶圓,預(yù)計(jì)2018年試產(chǎn),,2022年量產(chǎn),。但其二期晶圓廠有可能采用FD-SOI工藝。

同樣是位于上海的新傲2015年就開始生產(chǎn)8吋SOI工藝了,,使用的是法國Soitec的SmartCut技術(shù),。新傲科技正在規(guī)劃量產(chǎn)12吋RFSOI晶圓。

中國的上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司則于2016年收購14.5%的Soitec股權(quán),。其任務(wù)是建立半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng),,聚焦于超越摩爾定律。也被視為是布局SOI的重要舉措,。

FD-SOI與FinFET工藝的孰優(yōu)孰劣很難一言而盡,,先進(jìn)邏輯工藝自28納米節(jié)點(diǎn)分野之后,F(xiàn)inFET與FD-SOI工藝的爭論就開始出現(xiàn),。盡管FinFET目前占據(jù)上風(fēng),,但FD-SOI也有可取之處,特別是在低功耗方面。FinFET的主要支持者是英特爾,、臺積電,、中芯國際、聯(lián)電;FD-SOI主要是IBM,、ST意法半導(dǎo)體,、三星、GLOBALFOUNDRIES等,。

其實(shí)FinFET與FD-SOI,。兩種技術(shù)其實(shí)師出同門,兩種技術(shù)都是由臺積電前技術(shù)長胡正明發(fā)明,。不過,,它們在半導(dǎo)體廠商中的受追捧程度不同。


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