截至今年11月,，中芯國(guó)際北京廠使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備加工的12英寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破1000萬片次。這標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)設(shè)備技術(shù)和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力邁上了一個(gè)新臺(tái)階,，也意味著在以精密、嚴(yán)苛著稱的集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域,，國(guó)產(chǎn)設(shè)備正通過進(jìn)口替代，穩(wěn)步走向“前臺(tái)”。

　　12英寸集成電路國(guó)產(chǎn)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路芯片自主制造的基礎(chǔ),，設(shè)備要求高，系統(tǒng)復(fù)雜,，相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間內(nèi),，主要由美日德等設(shè)備供應(yīng)商供應(yīng)。2008年,，國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開發(fā),，把目標(biāo)直接定在世界上最先進(jìn)的40納米和28納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)，并由行業(yè)的龍頭企業(yè)牽頭,。

    隨著專項(xiàng)的順利實(shí)施,，集成電路生產(chǎn)制造關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化并為國(guó)產(chǎn)設(shè)備在中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的大面積應(yīng)用打開了局面。2015年,，中芯國(guó)際北京廠新增包括干法刻蝕機(jī),、物理氣相沉積設(shè)備、單片退火爐設(shè)備等在內(nèi)的國(guó)產(chǎn)設(shè)備主機(jī)臺(tái)及附屬機(jī)臺(tái)數(shù)百臺(tái),。這些國(guó)產(chǎn)設(shè)備出色地通過了28納米至90納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)的大生產(chǎn)線驗(yàn)證,，與進(jìn)口設(shè)備同臺(tái)競(jìng)技。

　　國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入集成電路生產(chǎn)線難在哪,？“以往的探索式研究只需要單點(diǎn)突破,，100次嘗試有一次成功就可以宣告成功了。現(xiàn)在要提供大生產(chǎn)技術(shù),，必須100次都成功,，而且成功的結(jié)果還必須完全一樣，發(fā)散一點(diǎn)兒都不行,?！敝行颈狈礁笨偨?jīng)理張昕告訴記者，在高風(fēng)險(xiǎn),、高投入的集成電路產(chǎn)業(yè),，裝備的設(shè)計(jì)也要改變?cè)趯?shí)驗(yàn)室里閉門造車的習(xí)慣，要預(yù)先知道生產(chǎn)的具體要求,，隨時(shí)改進(jìn),，共同開發(fā)。

　　值得注意的是,，目前中芯國(guó)際北京廠使用的國(guó)產(chǎn)設(shè)備中,，有相當(dāng)一部分產(chǎn)自其所在的北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。與中芯國(guó)際北京廠“比鄰”的北方華創(chuàng)，已成功開發(fā)了以刻蝕設(shè)備,、化學(xué)氣相沉積設(shè)備,、物理氣相沉積設(shè)備三大類半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品為基礎(chǔ)的20余類產(chǎn)品，成功替代國(guó)外廠商同類產(chǎn)品,。

　“區(qū)域的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局為實(shí)現(xiàn)芯片制造設(shè)備國(guó)產(chǎn)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),，開發(fā)區(qū)已形成集制造、封測(cè),、裝備,、零部件及材料、設(shè)計(jì)企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈,?！北本┙?jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資促進(jìn)局局長(zhǎng)王延衛(wèi)告訴記者，目前亦莊集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占北京市的二分之一,。

　　一批代表企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)關(guān)鍵裝備及材料,、先進(jìn)工藝的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國(guó)家最高水平的成果，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),，也確立了北京在全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)布局中的領(lǐng)先地位,。

　　未來，亦莊開發(fā)區(qū)將致力于成為全球領(lǐng)先的,，先進(jìn)新型存儲(chǔ)器,、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件,、集成電路代工及裝備四大高精尖領(lǐng)域的研發(fā)制造中心,。同時(shí)，以建立上下游價(jià)值鏈,、整合產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈,、打造具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的大企業(yè)為依托，積極推進(jìn)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新,、模式創(chuàng)新,、制度創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈在京津冀地區(qū)布局集群發(fā)展,，成為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的核心區(qū)與承載地,。