2015年1月,，盛美半導體再次獲得海力士（SK Hynix）三臺8腔體單片清洗機訂單，使得該公司目前銷售到海力士大生產線上的設備數(shù)量累計已達7臺,。
盛美半導體的首席執(zhí)行官王暉談到：“得到海力士的批量重復訂單，標志著盛美半導體的300mm單片清洗機在產品良率提升上有突出表現(xiàn),，機臺性能及穩(wěn)定性等各方面已經能夠全面滿足國際主流大生產線22nm技術節(jié)點的嚴格要求 ,。”
海力 士在生產集成電路過程中,，薄膜沉積（Si3N4,Oxide,Carbon..）后,、CMP后、Barrier Metal 沉積前,、深孔蝕刻后等多個工藝流程都需要進行清洗,。上述3臺配備了盛美半導體獨家專利技術“空間交變相位移兆聲波技術”的設備，通過配合適當?shù)幕瘜W藥液（如SC-1,， H2-功能水等），可在微小顆粒（小于65nm）去除,，化學氧化層控制以及深孔清洗等工藝表現(xiàn)上優(yōu)于國際市場上美國, 日本主流設備商的單片清洗機,。
海力士在2011年被韓國的SK集團收購，是世界第二大DRAM（最常見的一種系統(tǒng)內存）制造商,，公司規(guī)模在整個半導體行業(yè)名列第四位,。
本站內容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外，轉載內容只為傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點,。轉載的所有的文章、圖片,、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有,。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內容無法一一聯(lián)系確認版權者。如涉及作品內容,、版權和其它問題,，請及時通過電子郵件或電話通知我們，以便迅速采取適當措施,，避免給雙方造成不必要的經濟損失,。聯(lián)系電話：010-82306118；郵箱：[email protected],。