基于阻抗匹配器的二極管幅-相檢測電路設(shè)計
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：zhoubin333
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標簽： 阻抗匹配 Urms 幅值-相位信號
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文檔介紹：半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的競爭很大程度上取決于半導(dǎo)體裝備以及核心零部件的競爭,，如射頻電源,、阻抗匹配器等。設(shè)備的抗干擾能力以及穩(wěn)定性等特性是衡量設(shè)備優(yōu)劣的重要標準,。對于阻抗匹配器而言,，控制回路的精準、穩(wěn)定以及快速響應(yīng)是決定阻抗匹配器這款產(chǎn)品性能好壞的重要指標,。因此,，基于電容分壓采樣、電流互感器采樣以及運放電路等相關(guān)原理，設(shè)計了一款純硬件電路的阻抗幅值,、相位檢測回路,，并用仿真軟件ADS2021進行模擬仿真實驗，得到表征射頻電源和負載之間阻抗匹配程度的模擬量Urms,。通過實驗測試表明，Urms越大表征射頻源與負載之間失配越嚴重,，功率傳輸效率越低,；Urms越小表征射頻源和負載之間的匹配程度越好，功率傳輸效率越高,。同時,，通過改變母線信號的輸入功率，得到Urms與輸入功率具有較高的線性相關(guān)性,，因此該檢測回路具有很好的穩(wěn)定性,，能夠適用于寬范圍匹配器阻抗的幅值、相位檢測,。
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