諧振微懸臂梁傳感器的工作原理及其在生化檢測中的研究進展
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：zhoubin333
文檔大?。?span>7038 K
標簽： 諧振式傳感器 微懸臂梁 微機電系統(tǒng)
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文檔介紹：諧振微懸臂梁是一種可以將質(zhì)量變化轉(zhuǎn)換為頻率信號的微質(zhì)量型傳感器,，因其分辨率高,、靈敏度高,、成本低,、易于集成和小型化等優(yōu)點而備受關(guān)注,。諧振微懸臂梁現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于流量控制,、生物醫(yī)學痕量檢測,、氣態(tài)和液態(tài)分子分析等領(lǐng)域,。近年來，隨著微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System,，MEMS）技術(shù)的快速發(fā)展,，針對諧振式微懸臂梁傳感器的研究與應(yīng)用越來越多，對近年來諧振式微懸臂梁傳感器在環(huán)境檢測,、生物醫(yī)學等領(lǐng)域的具體應(yīng)用進行了綜述,，并對未來的發(fā)展方向做出了展望。
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