自動跟蹤工頻陷波器的研究與設(shè)計(jì)
所屬分類:技術(shù)論文
上傳者:serena
標(biāo)簽: 工頻陷波器 電子束曝光機(jī)
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文檔介紹: 介紹了一種新型線性自動跟蹤工頻陷波器的電路結(jié)構(gòu),。該陷波器應(yīng)用于電子束曝光機(jī)束流測量電路中,用來抑制工頻干擾對測量精度的影響,?;趯ψ詣痈櫹莶ㄆ鞯幕竟ぷ髟矸治觯莶ㄆ鞑捎昧祟l率/電壓轉(zhuǎn)換器與壓控帶阻濾波器相結(jié)合的設(shè)計(jì)方案,,成功地解決了工頻頻偏對常規(guī)工頻陷波器濾波性能的嚴(yán)重影響問題,。提出了提高抑制工頻干擾能力的設(shè)計(jì)要點(diǎn)和電路調(diào)試方法。通過性能指標(biāo)的測試和長期實(shí)際運(yùn)行應(yīng)用,,證明陷波器滿足了電子束測量中對工頻干擾進(jìn)行強(qiáng)抑制的要求,,提高了電子束曝光機(jī)的制版質(zhì)量。
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