5 月 28 日消息，臺(tái)積電負(fù)責(zé)業(yè)務(wù)開發(fā)及全球業(yè)務(wù)的資深副總經(jīng)理兼副聯(lián)席 COO 張曉強(qiáng)在荷蘭阿姆斯特丹當(dāng)?shù)貢r(shí)間昨日舉行的公司 2025 年技術(shù)論壇歐洲場上表示，臺(tái)積電暫無為先進(jìn)制程導(dǎo)入 High NA EUV 的必要。

張曉強(qiáng)表示，臺(tái)積電新近公布的 1.4nm 級邏輯制程 A14 即使沒有導(dǎo)入 High NA EUV 圖案化設(shè)備，提升幅度也相當(dāng)可觀。

他提到，臺(tái)積電的技術(shù)團(tuán)隊(duì)正繼續(xù)努力通過獲取工藝收放效益充分拓展 Low NA EUV 可深入的制程水平，只要這一路線仍能取得進(jìn)展，那就不必在量產(chǎn)中使用昂貴的 ASML High NA EUV 系統(tǒng)。

在三大先進(jìn)制程企業(yè)中對 High NA EUV 技術(shù)最為激進(jìn)的英特爾對實(shí)際生產(chǎn)中應(yīng)用 High NA 也持審慎態(tài)度，與臺(tái)積電 A14 同等名義制程的 Intel 14A 就有使用或不使用 High NA 的兩種選項(xiàng)。