據(jù)廣東省人民政府網(wǎng)站消息,,10月21日,,廣東省人民政府辦公廳印發(fā)《廣東省加快推動(dòng)光芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展行動(dòng)方案(2024—2030年)》。要求加快開展光芯片關(guān)鍵材料研發(fā)攻關(guān),、推進(jìn)光芯片關(guān)鍵裝備研發(fā)制造,、支持光芯片相關(guān)部件和工藝的研發(fā)及優(yōu)化,。
具體來說:
加快開展光芯片關(guān)鍵材料研發(fā)攻關(guān)。大力支持硅光材料,、化合物半導(dǎo)體,、薄膜鈮酸鋰、氧化鎵薄膜,、電光聚合物,、柔性基底材料,、超表面材料、光學(xué)傳感材料,、電光拓?fù)湎嘧儾牧?、光刻膠、石英晶體等光芯片關(guān)鍵材料研發(fā)制造,。
推進(jìn)光芯片關(guān)鍵裝備研發(fā)制造,。大力推動(dòng)刻蝕機(jī)、鍵合機(jī),、外延生長設(shè)備及光矢量參數(shù)網(wǎng)絡(luò)測試儀等光芯片關(guān)鍵裝備研發(fā)和國產(chǎn)化替代,。落實(shí)工業(yè)設(shè)備更新改造政策,加快光芯片關(guān)鍵設(shè)備更新升級(jí),。
支持光芯片相關(guān)部件和工藝的研發(fā)及優(yōu)化,。大力支持收發(fā)模塊、調(diào)制器,、可重構(gòu)光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)推理器,、PLC分路器、AWG光柵等光器件及光模塊核心部件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,。支持硅光集成,、異質(zhì)集成、磊晶生長和外延工藝,、制造工藝等光芯片相關(guān)制造工藝研發(fā)和持續(xù)優(yōu)化,。