電子強(qiáng)軍,，科技報(bào)國(guó),。中國(guó)電科深入學(xué)習(xí)貫徹習(xí)近平總書記重要講話精神和重要指示批示精神，秉承軍工電子主力軍,、網(wǎng)信事業(yè)國(guó)家隊(duì),、國(guó)家戰(zhàn)略科技力量的使命責(zé)任,，堅(jiān)決履行強(qiáng)軍首責(zé)，聚力推動(dòng)改革創(chuàng)新,，用一型型“大國(guó)重器”服務(wù)武器裝備現(xiàn)代化和高水平科技自立自強(qiáng),。為展現(xiàn)電科人為強(qiáng)國(guó)強(qiáng)軍事業(yè)的不懈追求，特開(kāi)設(shè)“中國(guó)電科與大國(guó)重器”專欄報(bào)道,，今日推出報(bào)道“奮起直追 推動(dòng)高能離子注入機(jī)自立自強(qiáng)”,。

“成功了!成功了!”

仲夏深夜，在北京東南方的中國(guó)電科所屬北京爍科中科信設(shè)備研發(fā)中心,，傳來(lái)一聲聲激動(dòng)的吶喊聲,，困擾研發(fā)團(tuán)隊(duì)已久的高能離子注入機(jī)核心技術(shù)難關(guān)得到突破!幾日后，好消息傳來(lái),，由該團(tuán)隊(duì)自主研制的國(guó)內(nèi)首臺(tái)高能離子注入機(jī)順利進(jìn)駐國(guó)內(nèi)先進(jìn)集成電路大生產(chǎn)線,。

高能離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技術(shù)難度最大的機(jī)型，是我國(guó)集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán),。

習(xí)近平總書記指出,，突破“卡脖子”關(guān)鍵核心技術(shù)必須堅(jiān)持問(wèn)題導(dǎo)向，發(fā)揮新型舉國(guó)體制優(yōu)勢(shì),，踔厲奮發(fā),、奮起直追，加快實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng),。

中國(guó)電科貫徹落實(shí)習(xí)近平總書記重要指示批示精神,，發(fā)揮集團(tuán)公司國(guó)家戰(zhàn)略科技力量重要作用，下定決心、保持恒心,、找準(zhǔn)重心,，加快補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈短板弱項(xiàng)，提升關(guān)鍵核心技術(shù)掌控力,。

作為集成電路芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備,，離子注入機(jī)設(shè)備的研制難度極大、研制基礎(chǔ)薄弱,?！皼Q不能讓芯片制造斷鏈短鏈!”懷揣裝備報(bào)國(guó)的理想，研發(fā)團(tuán)隊(duì)正式向關(guān)鍵裝備研制發(fā)起了挑戰(zhàn),，經(jīng)過(guò)艱苦努力,，在成千上萬(wàn)遍實(shí)驗(yàn)

模擬后，實(shí)現(xiàn)了中束流,、大束流,、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展,，大幅縮小了與國(guó)際一流水平差距,。

聚焦全產(chǎn)業(yè)鏈,，高端裝備產(chǎn)業(yè)化也已然邁出新步伐,。中國(guó)電科董事長(zhǎng)、黨組書記陳肇雄強(qiáng)調(diào),，要充分發(fā)揮電子信息領(lǐng)域完整產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì),，統(tǒng)籌戰(zhàn)略需求，保持恒心定力,，補(bǔ)齊短板弱項(xiàng),，強(qiáng)化“非對(duì)稱”趕超戰(zhàn)略思維，以長(zhǎng)補(bǔ)短,、換道超車,，堅(jiān)決打贏關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn)。

堅(jiān)持推進(jìn)高水平科技自立自強(qiáng)澎湃向前,。近年來(lái),，中國(guó)電科積極布局集成電路制造裝備、三代半導(dǎo)體等一批重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,，成效顯著：圍繞支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的電子制造裝備領(lǐng)域,、電子功能材料領(lǐng)域，中國(guó)電科已形成離子注入機(jī),、化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備(CMP)等拳頭產(chǎn)品,，集成電路關(guān)鍵制造裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、產(chǎn)品系列化步伐明顯加快,，關(guān)鍵領(lǐng)域保障能力不斷增強(qiáng),，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平;聚焦半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體應(yīng)用,，中國(guó)電科連續(xù)攻克數(shù)百項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù),，填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈空白;著力打造國(guó)產(chǎn)集成電路和三代半導(dǎo)體裝備驗(yàn)證平臺(tái)，封裝組裝,、新能源,、新型顯示裝備及其智能制造集成服務(wù)核心競(jìng)爭(zhēng)力優(yōu)勢(shì)不斷提升。

未來(lái),，中國(guó)電科將繼續(xù)瞄準(zhǔn)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求,，在關(guān)鍵核心技術(shù)上全力攻堅(jiān)，為高水平科技自立自強(qiáng)作出更大貢獻(xiàn),。

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