眾所周知,,當(dāng)芯片工藝進(jìn)入7nm后,,就需要用到一種光刻機,,叫做EUV光刻機(極紫外線光刻機),采用的是13.5nm的紫外線光源,。
而DUV光刻機,,主要采用的是193nm的光源,理論上可以經(jīng)多重曝光后用到7nm,,但實際沒有廠商這么干,,因為多重曝光良率大幅度降低,成本非常高,,且不可控,。
而EUV光刻機,只有ASML一家廠商能生產(chǎn),,所以任何芯片廠商,,想要生產(chǎn)7nm及以下的芯片,就得找ASML買光刻機,。
而ASML在2015年推出第一代EUV光刻機WINSCAN NXE:3400B之后,,就一直是各大想生產(chǎn)7nm及以下芯片廠商爭搶的對象。特別是臺積電,、三星,、intel這三大廠商,誰能最先,、最快、最多買到EUV光刻機,,誰就有了優(yōu)勢和底氣,。
之前中芯國際在2018年也找ASML訂購了一臺EUV光刻機,不過4年過去了,,依然沒拿到貨,,因為美國不允許ASML賣EUV光刻機給我們。
而在這4年之中,,ASML的EUV光刻機也升級了2代,,2019年從NXE:3400B升級到NXE:3400C,再2021年升級為NXE:3600D,,這三代光刻機的數(shù)值孔徑為0.33,,提升的更多是處理速度上面。
而現(xiàn)在ASML再次推出新一代EUV光刻機,,這次將數(shù)值孔徑提升到了0.55,,而型號有兩種,,分別是EXE:5000和EXE:5200,相比于上一代EUV光刻機,,可以將芯片縮小1.7倍,、同時密度增加2.9倍,全面支持2nm及以下芯片,,乃至埃米級工藝節(jié)點,。
按照ASML的說法,目前intel已經(jīng)簽訂了一筆EXE:5200的訂單,,而EXE:5200系統(tǒng)的成本將顯著超過3.4億美元(約22億人民幣),。
intel為何搶先下訂單,當(dāng)然是想在2nm芯片的爭霸賽中占到先機,,更希望能夠比臺積電,、三星更領(lǐng)先,畢竟英特爾一直表示要重新提振美國的芯片制造業(yè),。
這22億元的價格,,估計也就只有intel、三星,、臺積電買得起了吧,,其它的代工廠,估計都難得買得起了,,真的是太貴了,。