近日,有投資者在投資者互動平臺向上海新陽提問,,公司由于研發(fā)euv光刻膠的打算,?krf光刻膠何時批量生產(chǎn)?
上海新陽方面回應(yīng)道:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,,暫無EUV光刻膠研發(fā)計劃,。
早在今年六月底,上海新陽就發(fā)表了一個公告,。公告指出,,上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司(以下簡稱“公司”)自主研發(fā)的KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認(rèn)證,并成功取得第一筆訂單。
按照他們的說法,,KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化是公司第三大核心技術(shù)——光 刻技術(shù)的重要方向之一,,本次產(chǎn)品認(rèn)證的通過及訂單的取得,標(biāo)志著“KrF(248nm) 厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”,?取得了成功,,為公司在光刻技術(shù)領(lǐng)域目標(biāo)的全面完成奠定了堅實基礎(chǔ)。
新陽表示,,光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料,,廣泛應(yīng)用于350nm-14nm甚至?7nm?技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝,。隨著國內(nèi)晶圓廠建設(shè)的不斷增多,,以 及國外光刻膠巨頭產(chǎn)能受限,供需緊張,,國內(nèi)對光刻膠產(chǎn)品的需求也將快速增長,, 公司光刻膠產(chǎn)品的訂單取得意義重大,將對公司該類產(chǎn)品的認(rèn)證及銷售產(chǎn)生積極 的作用,,有利于公司業(yè)務(wù)的長期發(fā)展,。
日本絕對領(lǐng)導(dǎo)的光刻膠市場
據(jù)智研咨詢統(tǒng)計,2019年全球光刻膠市場規(guī)模預(yù)計近90億美元,,自2010年至今CAGR約5.4%,。預(yù)計該市場未來3年仍將以年均5%的速度增長,至2022年全球光刻膠市場規(guī)模將超過100億美元,。
根據(jù)下圖,,我們可以了解到低端的g/i-line的占總的半導(dǎo)體光刻膠市場份額31%,高端的KrF,、ArF-i光刻膠的市場份額最大,,達到45%,基本是被日本的企業(yè)壟斷,,所以讓日本在半導(dǎo)體領(lǐng)域有極大的控制能力,。
以 ArF 光刻膠產(chǎn)品為代表的先進光刻膠以及工藝的主要技術(shù)和專利都掌握在國外的企業(yè)與研究部門,如日本的信越化學(xué)(Shin-Etsu Chemical),、合 成橡膠(JSR),、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)(Sumitomochem),、富士膠片 (Fujifilm)和美國陶氏(Dow Chemical Company),,其中尤其是日本企業(yè),占有率極高,。在KrF光刻膠方面,,日本也是占了主導(dǎo)地位,,在這領(lǐng)域有全球5%市場占有率的韓國企業(yè)和11%的美國企業(yè)。
數(shù)據(jù)來源:網(wǎng)絡(luò)公開資料,,富途證券整理
南大光電表示,本項目已作為我國“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”的核心 部分被列入我國國家科技重大專項,,受到國家科技部的高度支持,。作為對 提升國家綜合國力有重大推動作用的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),ArF(干式和浸沒式)光 刻膠是我國集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵原材料,,與國家經(jīng)濟及社會發(fā)展的需求緊 密結(jié)合,。本項目不僅能夠極大提高我國本土企業(yè)的自主創(chuàng)新能力,更重要 的是通過重大關(guān)鍵技術(shù)的突破,,將帶動和提升我國整個電子工業(yè)體系的技 術(shù)水平和國際競爭力,。項目符合國家的產(chǎn)業(yè)政策,按國家基本建設(shè)程序進行實施,,項目的建設(shè)是可行的,。