2007年,日本DISCO公司開發(fā)出一種可以用激光進(jìn)行晶圓切割的設(shè)備,開辟了一條與機(jī)械切割截然不同的新賽道,。在DISCO的新技術(shù)引領(lǐng)下,利用激光的能量切割晶圓或進(jìn)行內(nèi)部改質(zhì)的激光切割機(jī)正逐步變成該領(lǐng)域新的業(yè)務(wù)支柱,。
“我本人偏向選擇細(xì)分領(lǐng)域?!?a class="innerlink" href="http://wldgj.com/tags/鐳明激光" target="_blank">鐳明激光總經(jīng)理施心星坐在位于蘇州市工業(yè)園區(qū)納米城的辦公室里,,向《中國電子報》記者講述了,,鐳明激光從2015年切入晶圓激光切割領(lǐng)域后,拓展市場的創(chuàng)業(yè)故事,。
本土激光切割設(shè)備加速落地
作為半導(dǎo)體上游的關(guān)鍵環(huán)節(jié),,半導(dǎo)體設(shè)備一直以來都由國外的設(shè)備廠商主導(dǎo)。鐳明激光成立之初并沒有進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域,,而是主打觸控,、背光等消費(fèi)類產(chǎn)品。
2015年,,《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》發(fā)布一年后,,鐳明看到了半導(dǎo)體市場更加廣闊的市場空間,于是決定進(jìn)軍半導(dǎo)體市場,,并選擇了激光晶圓切割的細(xì)分領(lǐng)域,。經(jīng)過6年時間開疆拓土,如今鐳明已經(jīng)是國內(nèi)為數(shù)不多同時擁有激光開槽以及激光隱切兩項核心技術(shù)的公司之一,,可以為中國封測領(lǐng)域晶圓切割提供完全本土化的整套解決方案,。
長期以來,全球晶圓激光切割市場主要以日本DISCO為主導(dǎo),。2003年到2009年間,,為了滿足日益增長的工業(yè)生產(chǎn)需求,國內(nèi)企業(yè)開始積極引進(jìn)激光切割設(shè)備,。
隨著市場需求不斷走高,,自2009年起,不斷有國有企業(yè)進(jìn)入激光切割設(shè)備領(lǐng)域,。華東地區(qū)封裝廠多,,客戶基礎(chǔ)扎實(shí),而且晶圓切割毛利高,,這些都是鐳明選擇晶圓激光切割賽道的主要原因,。
雖然技術(shù)層面上沒有太多障礙,但是在市場推廣初期,,鐳明走得并沒有那么容易,?!拔覀?015年開始投入研發(fā),,2017年推出第一臺產(chǎn)品,2018年我沒有參與任何研發(fā)工作,,全部精力都在做推廣,,推了一整年沒推出去?!笔┬男歉嬖V記者,。
直到2019年,鐳明終于迎來了第一家客戶——蘇州AMD。施心星告訴記者,,選擇AMD主要有兩點(diǎn)原因,。首先蘇州AMD可以生產(chǎn)美國AMD的7納米CPU、GPU芯片,,這在行業(yè)內(nèi)是非常具有標(biāo)桿效應(yīng)的,。此外,當(dāng)時蘇州AMD已經(jīng)被通富收購,,鐳明認(rèn)為旗下產(chǎn)品在AMD的驗證,,理論上也可以得到通富的認(rèn)可,不需要二次驗證,?!巴ǜ皇菄鴥?nèi)第二大封裝廠,所以花了接近8個月的時間通過這個驗證,,非常嚴(yán)格,,那時鐳明的晶圓激光切割設(shè)備才開始小批量生產(chǎn)推廣?!笔┬男钦f道,。
開創(chuàng)半導(dǎo)體激光切割新時代
激光切割在效率、質(zhì)量水平上的優(yōu)勢讓這項技術(shù)得到了更加廣泛的應(yīng)用,。
據(jù)了解,,切割工藝主要分為兩大類。第一類比較傳統(tǒng),,靠激光產(chǎn)生的熱將材料進(jìn)行氣化,,形成熱熔切割,這也是被使用最多的一種,。第二種是利用激光的冷加工即改制切割,,比如加工材料對象是單晶硅,單晶硅吸收了激光能量以后,,一部分能量就改制成多晶硅,。從單晶到多晶會釋放應(yīng)力,應(yīng)力會把晶體分開,,把芯片分開,,形成切割。這種切割跟傳統(tǒng)的熱熔切割比起來,,不存在熱影響擴(kuò)散的問題,,而且切割得非常干凈,幾乎沒有什么殘渣,。目前這種冷加工技術(shù),,主要有兩個使用場景,,一是存儲,二是傳感器,。產(chǎn)品存儲是最大的市場,,鐳明已經(jīng)把產(chǎn)品推入長江存儲的供應(yīng)鏈體系。
“我們的優(yōu)勢在于一些新產(chǎn)品的前期應(yīng)用場景,,比如第三代材料,,碳化硅、氮化鎵,、砷化鎵等一系列材料,,幾乎全部使用激光進(jìn)行切割?!笔┬男侵赋?。鐳明將晶圓切割作為切入口,希望今后業(yè)務(wù)可以覆蓋封裝產(chǎn)品激光類的全部應(yīng)用,,向激光晶圓制造環(huán)節(jié)上探,,比如參與激光退火環(huán)節(jié),這在整個晶圓加工里是非常重要的一個環(huán)節(jié),。
作為一家正從初創(chuàng)向創(chuàng)業(yè)中期發(fā)展的企業(yè),,鐳明在技術(shù)上仔細(xì)研磨的同時,也將眼光投向了資本市場,。今年6月,,鐳明宣布完成B輪融資,新資金將用于新技術(shù)和新產(chǎn)品研發(fā),、市場開拓及生產(chǎn)能力提升等,。施心星告訴記者,鐳明在資金上的運(yùn)用更多地是補(bǔ)足自身的短板,,比如激光器這個領(lǐng)域國內(nèi)尚待突破,,需要投入大量資金搞研發(fā)生產(chǎn)。
編輯丨連曉東