光學(xué)鍍膜是指在真空條件下,,用物理的方法在元件表面鍍上一層或多層膜的過程。光學(xué)鍍膜可以改變?cè)墓鈱W(xué)性能,,以滿足不同場景的需求,。
隨著工業(yè)技術(shù)的發(fā)展,,用戶對(duì)鍍膜質(zhì)量以及生產(chǎn)成本提出了更高的要求,不斷提高的用戶需求使得必須不斷改進(jìn)生產(chǎn)工藝,。
光學(xué)鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)
光學(xué)鍍膜機(jī)由真空系統(tǒng),、蒸鍍系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)組成,,其中真空系統(tǒng)由真空罐和排氣系統(tǒng)組成,。
真空罐是鍍膜機(jī)的主體,鍍膜過程就是在真空罐中完成的,,通過連接閥將真空罐和排氣系統(tǒng)相連,。
為了防止空氣分子對(duì)濺射離子的影響、提高膜層的質(zhì)量,,在工作時(shí),,必須將光學(xué)元件和離子源置于真空環(huán)境中。
排氣系統(tǒng)主要由機(jī)械泵,、羅茨泵和真空泵組成,,負(fù)責(zé)排出真空罐內(nèi)的氣體、使罐內(nèi)形成真空環(huán)境,。
蒸鍍系統(tǒng)主要指成膜裝置部分,,鍍膜機(jī)器的成膜裝置有很多種,如電阻加熱,、電子槍蒸發(fā),、磁控濺射、射頻濺射,、離子鍍等,。
光學(xué)鍍膜機(jī)工作原理
光學(xué)鍍膜機(jī)通過真空濺射的方式在光學(xué)元件上涂鍍薄膜,, 以此改變?cè)?duì)入射光線的反射率和透過率。
同時(shí),,為了盡可能地減少元件表面的反射損失,、提高成像質(zhì)量,往往涂鍍多層薄膜,。光學(xué)元件鍍膜后,,光在多層膜層的表面進(jìn)行多次反射和透射,形成多光束干涉,,通過控制膜層的厚度和折射率,,可以得到不同的強(qiáng)度分布。
利用這一原理可以制造偏振反光膜,、彩色分光膜,、冷光膜和干涉濾光片等,以滿足更加復(fù)雜的需求,。
相比于傳統(tǒng)的真空鍍膜機(jī),,光學(xué)鍍膜機(jī)有以下 3 個(gè)特點(diǎn)。
?。?)光學(xué)薄膜表面光滑,,膜層間的折射率在表面上可以躍變但在膜層內(nèi)折射率是穩(wěn)定不變的。
?。?)光學(xué)鍍膜機(jī)鍍膜過程中基件的溫升更低,,所以光學(xué)鍍膜機(jī)可以在對(duì)溫度較敏感元件的表面鍍膜。
?。?)對(duì)于光學(xué)元件的鍍膜,,光學(xué)鍍膜機(jī)具有更高的精度,膜層更加均勻,、光學(xué)性能更加穩(wěn)定,。目前,光學(xué)鍍膜機(jī)已經(jīng)在光通信,、光顯示,、激光加工、航空航天和 AR(Augmented Reality,,增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)),、VR(Virtual Reality,虛擬現(xiàn)實(shí))等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,。