光學(xué)元件表面面形誤差和表面粗糙度的檢測(cè)是光學(xué)檢測(cè)技術(shù)研究領(lǐng)域的重點(diǎn),，由于光學(xué)元件表面質(zhì)量的好壞直接影響整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的性能,，所以想要使光學(xué)儀器設(shè)備能更高效地工作,，不僅在加工時(shí)需要注意光學(xué)元件的表面質(zhì)量,，而且對(duì)成品元件的檢測(cè)工作也不能忽視,。因此,，光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)將成為一項(xiàng)重要而持久的研究課題,。

　　表面缺陷類(lèi)型

　　所謂的光學(xué)元件表面缺陷,，主要是指表面疵病和表面污染物,。表面疵病是指拋光加工后的光學(xué)元件表面依然存在的麻點(diǎn),、劃痕、開(kāi)口氣泡,、破邊,、破點(diǎn)等各種加工缺陷，產(chǎn)生的原因主要是加工過(guò)程或后續(xù)的不當(dāng)操作,。下圖所示為四種疵病的大致形狀,。

　　劃痕指光學(xué)元件表面長(zhǎng)條形的劃傷痕跡。由劃痕長(zhǎng)度的不同,，可以分為長(zhǎng)劃痕和短劃痕,，以 2 m m 為界限,，若劃痕長(zhǎng)度大于2 m m 屬于長(zhǎng)劃痕，小于 2 m m則是短劃痕,。對(duì)于短劃痕,，評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)是其檢測(cè)時(shí)的 累積長(zhǎng)度。相對(duì)而言,，劃痕較麻點(diǎn)等缺陷更容易檢測(cè)出,。

　　麻點(diǎn)指光學(xué)元件表面上的陷坑、蝕坑,、疵點(diǎn),，其坑內(nèi)的表面粗糙度較大，寬度與深度大致相同,，邊緣也不規(guī)則。一般情況下,，規(guī)定長(zhǎng)寬比大于4 :1 的缺陷為劃痕,，反之小于 4 :1 的缺陷為麻點(diǎn)。

　　氣泡是由光學(xué)元件的生產(chǎn)或加工過(guò)程中未及時(shí)排除的氣體所形成的,，由于各方向氣體的壓力均勻分布 ,，所以氣泡的形狀一般呈圓球形。

　　破邊是指出現(xiàn)在光學(xué)元件邊緣的疵病,，雖然處于光源有效區(qū)域之外,，但是也屬于光的散射源，對(duì)光學(xué)性能也會(huì)產(chǎn)生一定的影響,，所以也屬于疵病范疇,。

　　表面疵病的危害

　　表面疵病作為一種加工過(guò)程中人為造成的微觀局部缺陷，對(duì)光學(xué)元件的表面性能有著一定的影響,， 從而有可能造成光學(xué)儀器運(yùn)行錯(cuò)誤等嚴(yán)重的后果,。

　　總之，光學(xué)元件的表面疵病會(huì)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)性能產(chǎn)生危害,，其根本原因在于光的散射特性,。光學(xué)元件表面缺陷對(duì)于自身以及整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的危害表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

　　1，光束的質(zhì)量下降,。

　　元件表面缺陷處會(huì)產(chǎn)生光的散射效應(yīng),，使得光束在通過(guò)缺陷后能量被大量消耗 ，從而降低了光束的質(zhì)量,。

　　2,，缺陷的熱效應(yīng)現(xiàn)象。

　　由于表面缺陷所處區(qū)域比其他區(qū)域容易吸收更多的能量,，產(chǎn)生的熱效應(yīng)現(xiàn)象可能會(huì)使元件疵病發(fā)生局部變形,、破壞膜層等,，進(jìn)而危害整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)。

　　3,， 損壞所處系統(tǒng)中其他光學(xué)元件,。

　　激光系統(tǒng)中，在高能激光束的照射下,，元件表面疵病產(chǎn)生的散射光會(huì)被系統(tǒng)內(nèi)的其他光學(xué)元件吸收,，從而造成元件的受光不均勻，當(dāng)達(dá)到光學(xué)元件材料的損傷閥值時(shí),，會(huì)使傳播光線的質(zhì)量受到影響,，光學(xué)元件損壞，更有可能造成光學(xué)系統(tǒng)被嚴(yán)重的破壞,。

　　4,，疵病會(huì)影響視場(chǎng)清潔。

　　當(dāng)光學(xué)元件上有過(guò)多的疵病時(shí),，會(huì)影響微觀的美觀度,，另外，疵病還會(huì)殘留微小的灰塵,、微生物,、拋光粉等雜質(zhì)，這將造成元件被腐蝕,、生霉,、生霧，會(huì)明顯影響元件的基本性能,。

　　愛(ài)丁堡（南京）光電設(shè)備有限公司的光學(xué)表面缺陷檢測(cè)機(jī)系列能夠幫助廣大用戶解決光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)的問(wèn)題,。