自1960年首臺激光器問世以來,，經(jīng)過近70年的發(fā)展，激光技術(shù)已經(jīng)形成了龐大的產(chǎn)業(yè)規(guī)模,，廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工,、醫(yī)療美容,、商業(yè)、科研,、信息和軍事等多個領(lǐng)域,。不同的應(yīng)用場景對激光的功率、波長,、光斑形狀等有著不同的要求,，而要實現(xiàn)光斑形狀的改變，則離不開光束整形器,。而衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements) 簡稱DOE,， 又稱二元光學(xué)器件，主要用于激光束整形,，比如均勻化,、準(zhǔn)直,、聚焦、形成特定圖案等,。

    衍射光學(xué)元件(Difractive Optical Element，DOE)是相位元件,，它使用嵌入在元件中的薄微結(jié)構(gòu)將輸入激光束控制為各種輸出輪廓和形狀,。衍射光學(xué)器件可實現(xiàn)許多功能和光操作，而這在標(biāo)準(zhǔn)折射光學(xué)器件中是不可行的,。

    在許多應(yīng)用中,，這些功能非常有益，可以顯著提高系統(tǒng)性能,。采用衍射光學(xué)元件進行光束整形是近年發(fā)展起來的非常方便,、靈活、功能強大的光束整形方式,。DOE可適用于多種類型的輸入激光(如單模高斯激光,、多模激光等)，在激光焦面上形成指定的光斑形狀和光強分布,，還可以實現(xiàn)在激光傳播方向特定的光強分布,。

    典型的功能包括：產(chǎn)生平頂分布圓光斑或矩形光斑;產(chǎn)生線形分布光斑;將非均勻多模激光進行勻化;產(chǎn)生環(huán)形以及多環(huán)等光斑分布;產(chǎn)生一維、二維多束激光分布;在傳輸方向上形成多焦點以及長焦深分布等,。

    1,、衍射的概念

    光沿著直線傳播，當(dāng)光穿過一個小孔或經(jīng)過一個輪廓分明的邊緣時,，沿小孔邊緣產(chǎn)生了干涉圖形,，結(jié)果得到了一個模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣,。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了,。這種現(xiàn)象被稱作衍射。

    2,、衍射效率

    衍射效率是評價衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的重要指標(biāo)之一,。光線通過衍射光學(xué)元件后，會產(chǎn)生多個衍射級次,，一般只是關(guān)注主衍射級次的光線,，其他衍射級次的光線在主衍射級像面上形成雜散光，降低像面的對比度,。因此,，衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量，對衍射光學(xué)元件衍射效率的精確測量是十分必要的,。

    3,、掩膜版的衍射

    光的衍射和光刻密切相關(guān),，因為投影掩膜版上有小的清晰圖形并且間距很窄。曝光時,，光必須通過這些圖形,。衍射圖樣奪走了曝光能量，并使光發(fā)散,，導(dǎo)致光刻膠上不要曝光的區(qū)域被曝光,。這個問題在孔小時更嚴(yán)重，例如小到200nm的接觸孔,。由衍射引起的干涉圖樣能使小接觸孔和小線條很難被光刻,。

    隨著國內(nèi)外市場對激光光束變換的迫切需求，基于衍射光學(xué)的各類解決方案越來越受到市場的重視,，尤其在平頂整形領(lǐng)域,，多焦點切割等方面應(yīng)用擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)。不僅如此,，諸如分束,、勻光、長焦深,、渦旋光束,、點陣、特征圖形等元件及模塊在各領(lǐng)域也有重要應(yīng)用,。