在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入7nm之后,，EUV光刻機(jī)就成為兵家必備大殺器了，全球也只有ASML公司能生產(chǎn),，單價(jià)達(dá)到10億人民幣一臺(tái)。不過在EUV技術(shù)上,，ASML還真不一定就是第一,，專利比三星還少。

　　韓國(guó)媒體報(bào)道,，近年來韓國(guó)企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)在EUV光刻工藝大舉投入,，專利技術(shù)上正在跟國(guó)外公司縮短差距。

　　據(jù)報(bào)道,，在2011到2020年的專利申請(qǐng)中,，向韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局（KIPO）提交的與EUV光刻相關(guān)的專利申請(qǐng)數(shù)量達(dá)到88件的峰值，2018年達(dá)到55件,，2019年達(dá)到50件,。

　　其中2019年中韓國(guó)本土公司提出的EUV專利申請(qǐng)為40件，超過了國(guó)外10件,，這也是韓國(guó)提交的EUV專利首次超過國(guó)外公司,。

　　在2020年中，韓國(guó)公司提交的EUV專利申請(qǐng)達(dá)到了國(guó)外的2倍多,，其中三星公司是最多的,，該公司今年已經(jīng)開始使用5nm EUV工藝生產(chǎn)手機(jī)處理器。

　　從全球來看,，TOP6的廠商申請(qǐng)的EUV專利占了全部的59%,，其中卡爾蔡司占比18%（畢竟光學(xué)物鏡是EUV核心），位列第一,，三星緊隨其后,，專利申請(qǐng)占比18%，ASML公司占比11%,，位列第三,。

　　再往下，韓國(guó)S&S Tech占了85,，臺(tái)積電占了6%,，SK海力士占了1%。

　　從具體技術(shù)項(xiàng)目看,，工藝技術(shù)申請(qǐng)專利占32%,，曝光裝置技術(shù)申請(qǐng)專利占31%，掩膜技術(shù)申請(qǐng)專利占28%,，其他申請(qǐng)專利占9%,。

　　在工藝技術(shù)領(lǐng)域，三星電子占39%，臺(tái)積電占15%,。

　　在光罩領(lǐng)域,，韓國(guó)S&S科技占28%，日本Hoya占15%,，韓國(guó)漢陽大學(xué)占10%,，日本朝日玻璃占10%，三星電子占9%,。