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ASML:DUV光刻機無需美國許可,!

最新一代EUV光刻機明年發(fā)布:加工精度提升至1.1nm
2020-10-15
來源:EETOP

  10月14日,,ASML公布第三季度財報,凈銷售額高達39.58億歐元,,同比增長32.6%,,毛利率為47.5%,。

  據(jù)該公司首席執(zhí)行官Peter Wennink 介紹,,ASML在第三季度一共交付了 10 臺 EUV 系統(tǒng),,并在本季度實現(xiàn)了 14 臺系統(tǒng)的銷售收入。而在第三季度的新增訂單達到 29 億歐元,其中 5.95 億歐元來自 4 臺 EUV 設備,。從這個說明我們可以看到,,ASML EUV光刻機的售價約為1.48億歐元,折合人民幣11.74億元,。

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  即將出貨全新EUV光刻機

  ASML還披露他們?nèi)碌臉O紫外光刻機將在明年年中開始出貨的,,型號為TWINSCAN NXE:3600D。

  在財報中,,阿斯麥表示他們已經(jīng)敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格,具體來說,,30mJ/c㎡ 的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓,,提高了18%的生產(chǎn)率,并改進機器匹配套準精度至1.1nm,。

  值得注意的是,,在2019年的年報中,阿斯麥就曾披露他們在研發(fā)新一代的極紫外光刻機,,但當時他們是計劃在2022年年初開始出貨,,2024或者2025年大規(guī)模生產(chǎn)。三季度財報中披露在明年年中開始出貨,,也就意味著出貨時間較原計劃提前了半年,。

  極紫外光刻機是7nm和5nm芯片制程工藝所必不可少的設備,目前全球只有阿斯麥能供應,。臺積電,、三星這兩大芯片代工商的制程工藝都已提升到了7nm和5nm,他們所需要的極紫外光刻機也全部仰仗于阿斯麥,,全新的TWINSCAN NXE:3600D的首臺,,預計也會交由這兩家代工商中的一家。

  3600D定于2021年中旬出貨交付,,客戶還需要一定時間等待,,價格應該不會低于現(xiàn)款老型號的1.2億美元。

  目前,,ASML已經(jīng)投產(chǎn)的最先進光刻機是3400C,,但主力出貨型號是3400B。參數(shù)方面,,3400B的套刻精度為2nm,、曝光速度20mJ/c㎡ ,每小時可曝光125片晶圓,。

  另外,,ASML透露,3400B在三季度也完成了軟件升級。全新的DUV光刻機TWINSCAN NXT:2050i已經(jīng)在三季度結束驗證,,四季度早期開始正式出貨,。

  據(jù)悉,在截止9月30日的單季度,,ASML共獲得60臺光刻機收入,,出貨了10臺EUV光刻機。

  DUV光刻機無需出口許可證

  ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務情況,。

  Roger Dassen指出,,在中國業(yè)務方面,去年中國本土客戶為ASML創(chuàng)造了約8億歐元的銷售額,,今年將會更多,,預計超過10億歐元。

  關于美國有可能對中芯國際采取限制措施,,Roger Dassen表示,,ASML今年客戶以邏輯工藝領域為主,中芯國際則是ASML的主要邏輯工藝領域客戶,?!拔覀儾粫μ囟ǖ目蛻羟闆r進行推測或評論,但總的來說,,我們會在法律和法規(guī)要求的范圍內(nèi)盡最大的能力繼續(xù)為客戶提供服務,,”Roger Dassen如是說。

  Roger Dassen進一步指出,,ASML了解美國當局目前的規(guī)章制度及其解釋,,當然也知道這些與特定的中國客戶密切相關,但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對ASML的總體含義(對于特定的中國客戶),,則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統(tǒng),,且無需出口許可證。不過,,如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統(tǒng),,ASML則需要為此申請出口許可證。

 

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