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臺積電2nm工藝獲重大突破,!

2020-09-23
來源:拓墣產(chǎn)業(yè)研究
關鍵詞: 臺積電 2nm FinFET

  據(jù)臺灣經(jīng)濟日報報道,臺積電2nm工藝取得重大突破,研發(fā)進度超前,,業(yè)界看好其2023年下半年風險試產(chǎn)良率就可以達到90%。供應鏈透露,,有別于3nm和5nm采用鰭式場效應晶體管(FinFET),,臺積電的2nm工藝改用全新的多橋通道場效電晶體(MBCFET)架構。

  據(jù)悉,,臺積電去年成立了2nm專案研發(fā)團隊,,尋找可行路徑進行開發(fā),。考量成本,、設備相容,、技術成熟及效能表現(xiàn)等多項條件,2nm采以環(huán)繞閘極(GAA)制程為基礎的MBCFET架構,,解決FinFET因制程微縮產(chǎn)生電流控制漏電的物理極限問題,。

  極紫外光(EUV)微顯影技術的提升,使臺積電研發(fā)多年的納米片(Nano Sheet)堆疊關鍵技術更為成熟,,良率提升進度較預期順利,。臺積電此前透露2nm研發(fā)生產(chǎn)將在新竹寶山,規(guī)劃P1到P4四個超大型晶圓廠,,占地90多公頃,。

  以臺積電2nm目前的研發(fā)進度研判,供應鏈預計臺積電2023年下半年可望進入風險性試產(chǎn),,2024年正式量產(chǎn),。今年4月也有報道指出,臺積電已經(jīng)在研究2024年的2nm iPhone處理器,,并且已經(jīng)開始研究2nm以下的節(jié)點,。

  晶體管是突破先進半導體制程的關鍵。比如在45nm的階段,,業(yè)界引入了high-k值絕緣層/金屬柵極(HKMG)工藝,,在32nm處引入了第二代 high-k 絕緣層/金屬柵工藝。但當晶體管尺寸小于25nm時,,傳統(tǒng)的平面場效應管的尺寸已經(jīng)無法縮小,。

  加州大學伯克利分校胡正明教授發(fā)明的鰭式場效晶體管(Fin Field-Effect Transistor)解決了這一問題,其主要思想就是將場效應管立體化,,這種新的互補式金氧半導體晶體管,,可以改善電路控制并減少漏電流,縮短晶體管的閘長,。

  得益于FinFET 的發(fā)明,,2011年英特爾推出了商業(yè)化的22nm FinFET。此后,,基于FinFET業(yè)界將半導體制程從22nm一直向前推進到如今的5nm,。但5nm制程已經(jīng)將晶體管縮至原子級,硅原子的直徑是0.117nm,,3nm差不多是25個硅原子首尾相連的長度,。

  想要繼續(xù)微縮半導體制程,需要引入新的技術,。臺積電2nm采用的GAA(Gate-all-around,,環(huán)繞閘極)或稱為GAAFET,,它和FinFETs有相同的理念,不同之處在于GAA的柵極對溝道的四面包裹,,源極和漏極不再和基底接觸,。

  根據(jù)設計的不同,GAA也有不同的形態(tài),,目前比較主流的四個技術是納米線,、板片狀結構多路橋接鰭片、六角形截面納米線,、納米環(huán),。

  三星對外介紹的GAA技術是Multi-Bridge Channel FET(MBCFET),即板片狀結構多路橋接鰭片,。

  臺積電同樣采用MBCFET架構,。臺積電總裁魏哲家日前于玉山科技協(xié)會晚宴專講時透露,臺積電制程每前進一個世代,,客戶的產(chǎn)品速度效能提升30%- 40%,,功耗可以降低20%-30%。

  在GAA技術的采用上,,三星更顯激進,。據(jù)悉三星3nm就會導入GAA,使其3nm工藝相比7nm性能提升35%,,功耗降低50%,。但臺積電要到2nm才會導入GAA技術。

  GAA可以帶來性能和功耗的降低,,但成本也非常高,。市場研究機構International Business Strategies (IBS)給出的數(shù)據(jù)顯示,28nm之后芯片的成本迅速上升,。28nm工藝的成本為0.629億美元,, 5nm將暴增至 4.76 億美元。三星稱其3nm GAA 的成本可能會超過5億美元,。

  新的晶體管也可能帶來革命性的改變,,雷鋒網(wǎng)今年6月報道,一種叫做Bizen的晶體管架構,,可能從另一方向打破CMOS極限,。

  

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