半導體設備供應商的排名在2016-2017年間沒有發(fā)生太大的變化,但是這種格局正在發(fā)生變化,。不僅Lam Research,、ASML和東京電子的位次發(fā)生調轉,排名第一的應用材料公司的寶座位置也岌岌可危,。
自1990年以來,,應用材料公司一直是半導體設備領域的市場領導者。在此之前的1989年,,坐在鐵王座位置上的還是日本的東京電子,,該公司2016年排名第四,今年前三季度的新排名則是第二,。除了位次的變化,,也許更重要的是,領頭羊和第二名的差距正在迅速收窄,。
2016年,,應用材料公司的市場份額比Lam Research高出足足9.3個百分點,2017年,,應用材料公司的領先優(yōu)勢降至6.4個百分點,,現(xiàn)在,截至2018年前三季度,,應用材料公司的市場份額僅僅領先排名第二的東京電子2個百分點,。
值得注意的是,根據近三年的數(shù)據,,應用材料公司是前幾席中唯一一家市場份額持續(xù)降低的公司,,相比之下,ASML和東京電子則是這個時期市場份額持續(xù)增加的兩家公司,。
更多逆風來襲
2016年,,半導體設備市場規(guī)模為412億美金,,2017年增長至566美金,增長幅度高達37.2%,。2018年風云突變,,截至2018年前三季度,半導體設備市場營收同比去年增長了19.4%,。假設2018年全年半導體設備市場營收同比2017年增長10%,,那么,2018年第四季度的市場營收應為127億美元,,比2017年第四季度同比下降15.2%,。圖1給出了半導體設備市場在2015-2018年間各個季度的營收變化。
圖1
半導體設備市場營收的大部分增長來自于韓國半導體制造商,,特別是內存公司三星電子和SK海力士,。2017年半導體設備市場錄得高達566億美元的營收,韓國的貢獻率高達31.7%,。2018年前三季度,,韓國風頭不減,,貢獻率依然高達全球市場的29.4%,。
相比今年早期,,服務器,、個人電腦和智能手機的市場需求明顯走低,內存的價格也開始逐步下滑,。由于DRAM和NAND的平均銷售價格下滑,,內存公司有意放緩資本支出,。三星電子明確表示,,為了保持盈利能力,,將實行戰(zhàn)略性的庫存控制,原本計劃在平澤工廠增加每月2萬-3萬片晶圓的DRAM產能將推遲到2020年,。
三星電子原本計劃在2019年擴大Pyeongtaek一號工廠的NAND產能,,2020年擴大西安二號工廠的NAND產能,,如果NAND產品的利潤率下降,,三星有意推遲這些計劃。
所有半導體設備供應商都對內存公司青睞有加,,尤其是應用材料公司和Lam Research公司,。在截至2018年10月份的最新一個財季中,應用材料公司財報顯示,,其收入的60%都來自于內存公司,。
由于iPhone銷售遜于預期,以及加密貨幣的崩潰,,臺積電也減少了今年的資本支出,。
除了EUV光刻機之外,,應用材料公司與表1列出的所有半導體設備公司都有競爭關系。ASML是EUV(極紫外)光刻設備的獨家供應商,。隨著半導體行業(yè)逐漸轉向7nm工藝節(jié)點,,EUV應該會慢慢取代DUV沉浸式光刻技術。
EUV替代DUV沉浸式光刻設備將大大減少沉積,、蝕刻和計量步驟,。目前的DUV沉浸在30nm特征下處理器件還是可行的,在30nm之下,,工程師為了擴展DUV光刻工具的使用,,加入了多重圖案化步驟。多重圖案化可以使用AMAT和LRCX(以及其它公司)的設備,,它的特點是存在密集的沉積和蝕刻步驟,,換句話說,半導體制造商目前為了避免購買極其昂貴的EUV光刻設備,,正在使用需要使用大量沉積和蝕刻設備的多重圖案化工藝,。
看一下圖2,在20nm節(jié)點時使用沉浸式DUV(ArF-1) ,,需要13個掩膜層,,每層的蝕刻都包含多個沉積、蝕刻步驟,,如果繼續(xù)下探到10nm,,掩膜層數(shù)量將增加到18層,沉積-蝕刻步驟也將增加50%,。
圖2
7nm工藝節(jié)點上的多重圖案化更加驚人,,如圖表左下角所示,需要的掩膜層多達27個,。不過,,如果在7nm時切換到EUV光刻技術上(圖右下角),僅僅需要14個掩膜層,,和使用DUV沉浸式光刻在20nm節(jié)點時差不多,。
從DUV切換到EUV,雙光刻,、雙蝕刻(LELE)這些工藝步驟也將取消,,而ArF-1(沉浸式DUV)將繼續(xù)用于自對準圖案化(SADP)和自我對齊的四重模式(SAQP)工藝。最重要的是,,EUV將消除掉一半處理步驟,。
這些轉變都將對2019年半導體設備市場的持續(xù)增長不利,甚至有重大損害,。根據Information Network的《全球半導體設備:市場,、市場份額和市場預測》報告,,2019年全球半導體設備市場營收可能下降8%。