中國集成電路制造年會近日邀請到了光刻機霸主ASML（阿斯麥）中國區(qū)總裁沈波參加,，他出面解答了一些媒體關心的話題,。

盡管UMC（聯(lián)電）和Globalfoundries（格羅方德,，格芯）先后宣布放棄7nm制程及更先進工藝的研發(fā),，但ASML依然對EUV光刻機的前景表示樂觀,。

此前有消息指出,，中芯國際（SMIC）今年已向ASML訂購了一臺EUV光刻機,，預計明年交付,，用于7nm節(jié)點,。

同時,，傳統(tǒng)的沉浸式光刻機方面，沈波稱,，今年下半年ASML已開始出貨家族最先進的NXT：2000i,，很快會在中國市場上也見到。

另外,，媒體早先有報道稱,，長江存儲、上海華虹半導體分別向ASML訂購了193納米浸沒式光刻機和193納米雙工件臺沉浸式光刻機NXT：1980Di,，分別用于存儲芯片制造,、晶圓代工。

據悉,，ASML今年一二季度的財報顯示,，大陸市場的銷售收入占比達到了20％左右，已與美國持平,，且超過了臺灣地區(qū),。

ASML今年的EUV光刻機產能將達到20臺，明后兩年將逐步提升到40臺,。