《電子技術(shù)應(yīng)用》
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IMEC與Cadence完成首款5納米測試芯片的成功流片

2015-10-15

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  比利時(shí)微電子研究中心imec與全球電子設(shè)計(jì)創(chuàng)新領(lǐng)先企業(yè)Cadence設(shè)計(jì)系統(tǒng)公司(NASDAQ: CDNS) 今天共同宣布,,使用極紫外光(EUV)及193浸式(193i)光刻技術(shù),,兩家公司攜手完成對5納米測試芯片的第一次成功流片。為生產(chǎn)該測試芯片,,imec與Cadence對設(shè)計(jì)規(guī)則、單元庫及布局布線進(jìn)行了全面優(yōu)化,并使用Cadence? Innovus? 設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)達(dá)成對功耗、性能和面積(PPA)的最優(yōu)化方案。利用處理器設(shè)計(jì),、EUV光刻及用于193i光刻的自對準(zhǔn)四重圖案成型技術(shù)(Self-Aligned Quadruple Patterning, SAQP),imec和Cadence成功完成一組流片的設(shè)計(jì)和測試,。流片加工過程中,,金屬間距由公稱32nm減至24nm,將間距排列推向新的極致,。

  Innovus設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)是下一代物理設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)解決方案,,系統(tǒng)芯片(SoC)開發(fā)人員可以在保證最佳功耗、性能和面積(PPA)的前提下縮短上市時(shí)間,。得益于大規(guī)模并行架構(gòu)帶來的突破性優(yōu)化技術(shù),,Innovus設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)可以在功耗、性能和面積(PPA)指標(biāo)上提升10% 到20%,,并實(shí)現(xiàn)最高達(dá)10倍的全流程提速和容量增益,。有關(guān)Innovus設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的詳細(xì)信息,請參閱www.cadence.com/news/innovus,。

  “開發(fā)5nm及以下高階幾何排列的過程中,,與Cadence的合作發(fā)揮了關(guān)鍵作用?!眎mec制程技術(shù)資深副總裁An Steegen表示:“我們共同開發(fā)了核心技術(shù),,使該測試芯片使用高階技術(shù)節(jié)點(diǎn)成功流片成為現(xiàn)實(shí)。Cadence的下一代平臺使用便捷,,為工程團(tuán)隊(duì)高效完成高級節(jié)點(diǎn)工藝規(guī)則的設(shè)計(jì)奠定了基礎(chǔ),。”

  “鑒于雙方合作所取得的里程碑式勝利,,Cadence與imec將繼續(xù)致力于推動將金屬間距排列技術(shù)應(yīng)用在越來越小的節(jié)點(diǎn)上”。Cadence數(shù)字與 Signoff事業(yè)部資深副總裁Anirudh Devgan博士表示:“imec技術(shù)及Cadence的Innovus設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)開創(chuàng)出我們獨(dú)有的設(shè)計(jì)流程,,為新一代創(chuàng)新型移動與計(jì)算機(jī)高級節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì)的開發(fā)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),。”


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