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復旦-諾發(fā)互連研究中心將贊助最佳研究生論文競賽

標志著諾發(fā)公司對中國教育的不斷支持
2007-12-10
作者:諾發(fā)互連研究中心

??? 全球半導體行業(yè)先進制造設備領先廠商諾發(fā)" title="諾發(fā)">諾發(fā)系統(tǒng)有限公司 (Nasdaq 股票代碼:NVLS),,宣布舉辦第一屆復旦" title="復旦">復旦-諾發(fā)國際銅互連技術" title="互連技術">互連技術研討會最佳研究生論文競賽,。?

??? 由復旦-諾發(fā)互連研究中心贊助的最佳研究生論文競賽將在復旦-諾發(fā)國際銅互連技術研討會期間舉行,此項每年春季舉行的競賽將為在校研究生,、研究人員以及全球半導體專業(yè)人士提供一個討論新型的,、令人振奮的半導體制造技術" title="制造技術">制造技術的平臺。同時,,此次競賽也標志著該研討會將進入第五屆,。?

??? 入選文章作者將獲得相應獎勵:獎項共設金獎一名、銀獎兩名,、銅獎三名,。?

復旦-諾發(fā)互連研究中心此次舉辦的2008 年研討會最佳研究生論文競賽的參賽領域包括:?

?? ·?半導體制造和互連工藝中的新技術;?

?? · Cu/Low k 集成技術,;?

?? ·?面向45nm及以下技術節(jié)點的PVD/CVD/ALD擴散阻擋層和銅籽晶層,;?

?? ·?CMP材料和制造技術;?

?? ·?干法工藝(溝槽結(jié)構和雙鑲嵌工藝,,干法刻蝕工藝,,等離子體造成的損傷,等)?

?? ·?先進介質(zhì)材料(低介電常數(shù)" title="介電常數(shù)">介電常數(shù)介質(zhì),,高介電常數(shù)介質(zhì),,抗反射薄膜等)以及薄膜淀積工藝進展;?

?? ·?先進電鍍技術,;?

?? ·?金屬化的可靠性研究,;?

?? ·?先進圖像轉(zhuǎn)移技術。?

??? 諾發(fā)公司同中國大學的合作及其對中國微電子學教育的支持可以回溯至 2003 年,,就在這一年,,諾發(fā)公司向復旦大學捐贈了一套銅半導體制造設備,,并且建立了復旦-諾發(fā)互連研究中心進行互連技術的研究,。除研究和教學以外,從2004年起,,該中心還成功地在復旦大學舉辦每年一次的復旦-諾發(fā)國際銅互連技術研討會,。?

關于復旦大學微電子學院

??? 于2002年成立于復旦大學微電子學院 (SME)是復旦大學歷史悠久的微電子學專業(yè)和固態(tài)電子學專業(yè)的強強聯(lián)合。復旦大學微電子學在過去的二十年中取得了巨大的進步,,并于 1988 年成為國家重點學科,。1992 年,該學科建立起了 ASIC & System 國家重點試驗室。自組建以來,,復旦大學微電子學院已經(jīng)取得了諸多成就,,并發(fā)展成為一所優(yōu)秀的教育和研究機構,在很多領域都擁有豐富的經(jīng)驗,,例如:SoC 設計,、IC CAD、新型半導體制造技術,、結(jié)構和器件以及微電子機械系統(tǒng),。?

關于諾發(fā)公司

??? 諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Nasdaq股票代碼:NVLS)是全球領先的半導體工藝設備供應商。通過創(chuàng)新性新技術的開發(fā)和值得信賴的高生產(chǎn)效率的支持,,該公司的產(chǎn)品能夠為客戶提供最大的應用價值,。諾發(fā)是一家標準普爾500指數(shù)公司,總部位于加州圣何塞,,分支機構跨越全球各個國家和地區(qū),。有關諾發(fā)公司的更多信息,請訪問網(wǎng)站www.novellus.com,。
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