《電子技術(shù)應(yīng)用》
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淺談壓力傳感器之工作原理
摘要: 壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器,,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電,、鐵路交通,、智能建筑,、生產(chǎn)自控、航空航天,、軍工,、石化、油井,、電力,、船舶、機(jī)床,、管道等眾多行業(yè),,下面就簡(jiǎn)單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用,。
Abstract:
Key words :
1 ,、應(yīng)變片壓力傳感器原理與應(yīng)用

  壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器,,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,,涉及水利水電、鐵路交通,、智能建筑,、生產(chǎn)自控、航空航天,、軍工,、石化、油井,、電力,、船舶、機(jī)床,、管道等眾多行業(yè),下面就簡(jiǎn)單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用,。

  力學(xué)傳感器的種類(lèi)繁多,,如電阻應(yīng)變片壓傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器,、壓阻式壓力傳感器,、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器,、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等,。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性,。下面我們主要介紹這類(lèi)傳感器,。

  在了解壓阻式力傳感器時(shí),我們首先認(rèn)識(shí)一下電阻應(yīng)變片這種元件,。電阻應(yīng)變片是一種將被測(cè)件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號(hào)的敏感器件,。

  金屬電阻應(yīng)變片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)

  如圖1 所示,是電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)示意圖,,它由基體材料,、金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔、絕緣 保護(hù)片和引出線等部分組成,。根據(jù)不同的用途,,電阻應(yīng)變片的阻值可以由設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì),但電 阻的取值范圍應(yīng)注意:阻值太小,,所需的驅(qū)動(dòng)電流太大,,同時(shí)應(yīng)變片的發(fā)熱致使本身過(guò)高,不同的環(huán)境中使用,使應(yīng)變片的阻值變化太大,,輸出零點(diǎn)漂移明顯,,調(diào)零電路過(guò)于復(fù) 雜。而電阻太大,,阻抗太高,,抗外界的電磁干擾能力較差。一般均為幾十歐至幾十千歐左右,。

  電阻應(yīng)變片的工作原理

  我們知道,,晶體是各向異性的,非晶體是各向同性的,。某些晶體介質(zhì),,當(dāng)沿著一定方向受到機(jī)械力作用發(fā)生變形時(shí),就產(chǎn)生了極化效應(yīng),;當(dāng)機(jī)械力撤掉之后,,又會(huì)重新回到不帶電的狀態(tài),也就是受到壓力的時(shí)候,,某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng),,這就是所謂的極化效應(yīng)??茖W(xué)家就是根據(jù)這個(gè)效應(yīng)研制出了壓力傳感器,。   壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英,、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺,。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,,在一定的溫度范圍之內(nèi),,壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過(guò)這個(gè)范圍之后,,壓電性質(zhì)完全消失(這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”),。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微小(也就說(shuō)壓電系數(shù)比較低),,所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代,。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用,。磷酸二氫胺屬于人造晶體,,能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,。

  金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,,俗稱(chēng)為電阻應(yīng)變效應(yīng),。金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示:

  式中:ρ--金屬導(dǎo)體的電阻率(Ω。cm2/m?。?/p>

 ?。印。瓕?dǎo)體的截面積(cm2?。?/p>

 ?。獭。瓕?dǎo)體的長(zhǎng)度(m?。?/p>

  我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,,當(dāng)金屬絲受外力作用時(shí),其長(zhǎng)度和截面積都會(huì)發(fā)生變化,, 從上式中可很容易看出,,其電阻值即會(huì)發(fā)生改變,假如金屬絲受外力作用而伸長(zhǎng)時(shí),,其長(zhǎng)度增加,,而截面積減少,電阻值便會(huì)增大,。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時(shí),,長(zhǎng)度減小而截面增 加,電阻值則會(huì)減小,。只要測(cè)出加在電阻的變化(通常是測(cè)量電阻兩端的電壓),即可獲得 應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情

 ?。病?、陶瓷壓力傳感器原理及應(yīng)用

  抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒(méi)有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,,使膜片產(chǎn)生微小的形變,,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋(閉橋),,由于 壓敏電阻的壓阻效應(yīng),,使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電 壓信號(hào),,標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0?。。常啊,。,。常场。恚郑值?,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容,。

  陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損,、抗沖擊和振動(dòng)的材料,。

  3 、擴(kuò)散硅壓力傳感器原理及應(yīng)用

  工作原理被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測(cè)這一變化,,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào),。

  原理圖

  4 ,、藍(lán)寶石壓力傳感器原理與應(yīng)用

  利用應(yīng)變電阻式工作原理,,采用硅- 藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有無(wú)與倫比的計(jì)量特性,。

  藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,,不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象,;藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固,,硬度更高,不怕形變,;藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000?。希谩∫?xún)?nèi)),因此,,利用硅- 藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,,對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,,也有著很好的工作特性,;藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng);另外,,硅- 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,,無(wú)p-n 漂移,被焊接在鈦合金測(cè)量膜片上,。被測(cè)壓力傳送到接 收膜片上(接收膜片與測(cè)量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起),。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變,,該形變被硅- 藍(lán)寶石敏感元件感知后,,其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化,變化的幅度與被測(cè)壓力成正比,。

  傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,,并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出(0-5 ,,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中,,藍(lán)寶石薄片,,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,,將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,,從而達(dá)到壓力測(cè)量的目的。

  5 ,、壓電壓力傳感器原理與應(yīng)用

  壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英,、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,,但溫度超過(guò)這個(gè)范圍之后,,壓電性質(zhì)完全消失(這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”)。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),,但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用,。磷酸二氫胺能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,。

  現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,,比如現(xiàn)在的壓電陶瓷,包括鈦酸鋇壓電陶瓷,、PZT ,、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等,。壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量,,因?yàn)榻?jīng)過(guò)外力作用后的電荷,,只有在回路具有無(wú)限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存。所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力,。

  壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度,、壓力和力等的測(cè)量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì),。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、體積小、重量輕,、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn),。壓電式加速度傳感器在飛機(jī),、汽車(chē)、船舶,、橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,,特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。它既可以用來(lái)測(cè)量大的壓力,,也可以用來(lái)測(cè)量微小壓力,。

  壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測(cè)量中,比如說(shuō)心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的,,因?yàn)闇y(cè)量動(dòng)態(tài)壓力是如此普遍,,所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛。


 
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