如何讓MEMS傳感器智能化
所屬分類：技術論文
上傳者：serena
文檔大小：146 K
標簽： MEMS
所需積分：0分積分不夠怎么辦？
文檔介紹：MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器深受運動,、加速度、傾斜度和振動測量市場的歡迎,。MEMS傳感器是系統(tǒng)級封裝解決方案，具有高分辨率,、低功耗和尺寸緊湊等諸多優(yōu)點,。 MEMS完全不同于主要利用硅的電性質(zhì)的半導體芯片。MEMS的核心部件沒有柵-漏-源三極,，而是一個完全由硅制成的微型機械結構,。一個典型的MEMS結構包括質(zhì)量矩滑塊、彈簧和阻尼器，工作原理與質(zhì)量彈簧模型基本相同,。前幾年,，MEMS傳感器出現(xiàn)“消費電子化”趨勢。MEMS傳感器開始滲透到消費電子市場,，用于解決各種應用問題,。未來，MEMS傳感器如何發(fā)展,？
現(xiàn)在下載
VIP會員，AET專家下載不扣分,；重復下載不扣分,，本人上傳資源不扣分。