基于單片機(jī)的AFM納米機(jī)械性能測(cè)試系統(tǒng)
所屬分類(lèi)：技術(shù)論文
上傳者：serena
標(biāo)簽： 單片機(jī) AFM系統(tǒng)
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文檔介紹：為解決采用原子力顯微鏡（ＡＦＭ）系統(tǒng)進(jìn)行納米機(jī)械性能測(cè)試中存在的不能夠直接獲得載荷?壓深曲線(xiàn)以及不能夠隨意改變加載,、保載、卸載時(shí)間等問(wèn)題,，對(duì)ＡＦＭ系統(tǒng)進(jìn)行了改造,，開(kāi)發(fā)了一套基于單片機(jī)的信號(hào)輸入輸出模塊。將該模塊與ＡＦＭ控制系統(tǒng)相聯(lián),，形成新的納米機(jī)械性能測(cè)試系統(tǒng),。該系統(tǒng)信號(hào)輸出精度為０．１５ｍＶ，信號(hào)采集精度為０．３ｍＶ,，工作臺(tái)的移動(dòng)靈敏度為１．５３ｎｍ,，可以動(dòng)態(tài)改變垂直載荷，并實(shí)時(shí)獲得載荷?壓深曲線(xiàn),。通過(guò)單片機(jī)設(shè)置模擬信號(hào)的輸出速率可以實(shí)現(xiàn)加載,、保載和卸載速率的改變；結(jié)合二維微動(dòng)精密工作臺(tái),，可以實(shí)現(xiàn)較大范圍內(nèi)高精度的點(diǎn)陣壓痕測(cè)試,。
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