－非常小的測量光斑,，是點光面積,，如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面積約1mm，它比面積型非接觸電容,、電渦流傳感器,，對被測體面積幾乎無要求，適合測量非常小面積尺寸厚度；
－較遠的測量范圍起始間距,。它比非接觸電容,、電渦流傳感器起始間距大很多，如真尚有公司ZLDS100激光位移傳感器測量量程100mm,，測量間距可以達到1000mm,。這樣傳感器可以遠離被測體，免受碰壞,，及被測體熱輻射影響,；
－有很大的測量范圍，如真尚有公司ZLDS101激光位移傳感器量程達2000mm,，這是其它傳感器很難做到的,；
－與被測體材料無關(guān)，即金屬非金屬體,，非透明有漫反射條件表面都能測,。
和其它傳感器測厚一樣，要實現(xiàn)精密測厚需要注意以下條件,，否則再好的傳感器也測不準：
1,、用單激光位移傳感器測厚
被測體放在測量平臺上，測量出傳感器到平臺表面距離,，然后再測出傳感器到被測體表面間距,，經(jīng)計算后測出厚度。要求被測體與測量平臺之間無氣隙,，被測體無翹起,。這些嚴格要求只有在離線情況實現(xiàn)。
2,、 雙激光傳感器測厚
在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,，被測體厚度D=C-（A+B）。其中,，C是兩個傳感器之間距離,，A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離，B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離,。圖中：SMR是指傳感器量程起始間距,，MR是指傳感器量程。
在線厚度測量用這種方法優(yōu)點是可消除被測體振動對測量結(jié)果的影響,。但同時對傳感器安裝和性能有要求,。
保證測量準確性的條件是：兩個傳感器發(fā)射光束必須同軸，以及兩個傳感器掃描必須同步（見本文附圖）,。同軸是靠安裝實現(xiàn),，而同步要靠選擇有同步端激光傳感器,。如真尚有ZLDS10X系列激光位移傳感器都有同步端。
同步工作示意圖：
不同步將代來很大誤差：如果被測體存在振動頻率20HZ,，振幅1mm,，如果信號不同步延遲1ms,，那么就會帶來125µm誤差,。
安裝兩個激光同軸示意圖：
安裝使兩個激光同軸，不但確保被測體同一位置上的厚度,，同時降低了被測體傾斜帶來的誤差,。以被測體運動方向不同軸為例，當(dāng)不同軸1mm,，被測體傾斜2°可帶來35µm誤差,。
