電橋是精密測(cè)量電阻或其他模擬量的一種有效的方法,。本文介紹了如何實(shí)現(xiàn)具有較大信號(hào)輸出的硅應(yīng)變計(jì)與模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)的接口，特別是Σ-Δ ADC,，當(dāng)使用硅應(yīng)變計(jì)時(shí),，它是一種實(shí)現(xiàn)壓力變送器的低成本方案

        硅應(yīng)變計(jì)

        硅應(yīng)變計(jì)的優(yōu)點(diǎn)在于高靈敏度，它通過感應(yīng)由應(yīng)力引發(fā)的硅材料體電阻變化來檢測(cè)壓力,。相比于金屬箔或粘貼絲式應(yīng)變計(jì),，其輸出通常要大一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種 硅應(yīng)變計(jì)的輸出信號(hào)較大,，可以與較廉價(jià)的電子器件配套使用,。但是,，這些小而脆器件的安裝和連線非常困難，因而增加了成本,，限制了它們?cè)谡迟N式應(yīng)變計(jì)應(yīng)用中 的使用,。

        不過，用MEMS工藝制作的硅壓力傳感器卻克服了這些弊病,。這種MEMS壓力傳感器采用了標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體工藝和特殊的蝕刻技術(shù),。這種特殊的蝕刻技術(shù)可 選擇性地從晶圓的背面除去一部分硅，從而生成由堅(jiān)固的硅邊框包圍的,、數(shù)以百計(jì)的方形薄膜,。而在晶圓的正面，每一個(gè)小薄膜的每個(gè)邊上都植入了一個(gè)壓敏電阻,， 用金屬線把小薄片周邊的四個(gè)電阻連接起來就形成一個(gè)惠斯登電橋,。最后，使用鉆石鋸從晶圓上鋸下各個(gè)傳感器,。這時(shí),，硅傳感器已經(jīng)初具形態(tài)，但還需要配備壓力 端口和連接引線方可使用,。這些小傳感器便宜而且相對(duì)可靠,，但受溫度變化影響較大，而且初始偏移和靈敏度的偏差很大,。

         壓力傳感器實(shí)例

        在此給出一個(gè)壓力傳感器的實(shí)例,其所涉及的原理適用于任何使用類似電橋的傳感器,。公式1給出了一個(gè)原始的壓力傳感器的輸出模型。其中,，VOUT在給定壓力P下具有很寬的變化范圍,，不同傳感器在同一溫度下，或者同一傳感器在不同溫度下,，其VOUT都 有所不同,。因此要提供一個(gè)一致的、有意義的輸出,，每個(gè)傳感器都必須進(jìn)行校正,，以補(bǔ)償器件之間的差異和溫度漂移。長(zhǎng)期以來,，校準(zhǔn)都是通過模擬電路進(jìn)行的,。然 而，現(xiàn)代電子學(xué)的進(jìn)展使得數(shù)字校準(zhǔn)比模擬校準(zhǔn)更具成本效益,，而且其準(zhǔn)確性也更好,。此外，利用一些模擬技術(shù)“竅門”,，可以在不犧牲精度的前提下簡(jiǎn)化數(shù)字校準(zhǔn),。

VOUT=VB(PS0(1+S1(T-T0))+U0+U1(T-T0)) （1）

        式中,，VOUT為電橋輸出，VB是電橋的激勵(lì)電壓,，P是外加壓力,，T0是參考溫度，S0是T0溫度下的靈敏度,，S1是靈敏度的溫度系數(shù)(TCS),，U0是在無壓力情況下電橋在溫度T0時(shí)的輸出偏移量(或失衡)，而U1則是偏移量的溫度系數(shù)(OTC),。公式(1)使用一次多項(xiàng)公式來對(duì)傳感器進(jìn)行建模,，而有些應(yīng)用場(chǎng)合可能會(huì)用到高次多項(xiàng)公式、分段線性技術(shù)或者分段二次逼近模型,，并為其中的系數(shù)建立一個(gè)查尋表,。無論使用哪種模型，數(shù)字校準(zhǔn)時(shí)都要對(duì)VOUT,、VB和T進(jìn)行數(shù)字化,，同時(shí)要采用某種方公式來確定全部系數(shù)并進(jìn)行必要的計(jì)算。公式(2)由公式(1)變化所得,，從中可清楚地看到,，通過數(shù)字計(jì)算(通常由微控制器(MCU)執(zhí)行)而輸出精確壓力值所需的信息。


P=(VOUT/VB-U0-U1(T-T0))/(S0(1+S1(T-T0)) (2)

        電壓驅(qū)動(dòng)

        在圖1所示的電路中,，一個(gè)高精度ADC先對(duì)VOUT (AIN1/AIN2)、溫度(AIN3/AIN4)和VB (AIN5/AIN6)進(jìn)行數(shù)字化,，這些測(cè)量值隨后被傳送到MCU,，在那里轉(zhuǎn)換成實(shí)際的壓力。電橋直接由電源驅(qū)動(dòng),，電源同時(shí)也為ADC,、電壓基準(zhǔn)源和 MCU供電。電阻公式溫度檢測(cè)器Rt用來測(cè)量溫度,，ADC內(nèi)的輸入復(fù)用器同時(shí)測(cè)量電橋,、RTD和電源電壓。為確定校準(zhǔn)系數(shù),，整個(gè)系統(tǒng)(或至少是RTD和電 橋)被放到恒溫箱里,，在多個(gè)不同溫度下進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)通過測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行處理,，以確定校準(zhǔn)系數(shù)，最終的系數(shù)被下載到MCU并存儲(chǔ)到非易失性存儲(chǔ)器中,。

        設(shè)計(jì)該電路時(shí)主要考慮的是動(dòng)態(tài)范圍和ADC的分辨率,，最低要求取決于具體應(yīng)用和所選的傳感器和RTD的參數(shù),。 在本例中，傳感器的具體參數(shù)如下,。

        系統(tǒng)規(guī)格

· 滿量程壓力：100psi
· 壓力分辨率：0.05psi
· 溫度范圍：-40～+85℃
· 電源電壓：4.75～5.25V

        壓力傳感器規(guī)格

· S0 (靈敏度): 150～300μV/V/psi
· S1(靈敏度的溫度系數(shù)): 最大為-2500×10-6/℃
· U0 (偏移): -3～+3mV/V
· U1 (偏移的溫度系數(shù)): -15～+15μV/V/℃
· RB (輸入電阻): 4.5kΩ
· TCR (電阻溫度系數(shù)): 1200×10-6/℃
· RTD: PT100
o α: 3850×10-6/℃
o -40℃時(shí)的阻值: 84.27Ω
o 0℃時(shí)阻值: 100Ω
o 85℃時(shí)阻值: 132.80Ω