埃賽力達(dá)推出適用于340 nm-360 nm波長(zhǎng)范圍的LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣透鏡
2025-03-03
來(lái)源:Excelitas Technologies
埃賽力達(dá)科技有限公司(Excelitas Technologies?)是一家創(chuàng)新的致力于改變?nèi)藗兩畹南冗M(jìn)技術(shù)供應(yīng)商,為生命科學(xué)、先進(jìn)工業(yè),、下一代半導(dǎo)體,、航空航天和國(guó)防終端領(lǐng)域的全球知名品牌提供服務(wù)。該公司近期推出了適用于252 mm中等焦距范圍的LINOS? UV F-Theta Ronar低釋氣透鏡,。新款LINOS F-Theta鏡頭專為配合埃賽力達(dá) LINOS UV 擴(kuò)束鏡而設(shè)計(jì),,與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比具有更優(yōu)異的耐用性,可支持激光材料加工中所需的更高的UV脈沖能量和更短的激光脈沖,,可廣泛用于半導(dǎo)體,、晶圓加工、電子顯示器和太陽(yáng)能電池制造等領(lǐng)域,。
該透鏡通過(guò)顯著減少輔助材料和潔凈裝配工藝,,實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的耐用性。其獨(dú)特的UV設(shè)計(jì)采用了高品質(zhì)熔融石英透鏡和高端寬帶透鏡鍍膜,,不僅確保了出色的光學(xué)性能,,還有效減少了背向反射。其優(yōu)化的包裝和防塵材料進(jìn)一步提升了鏡頭的低釋氣性能,。此外,,埃賽力達(dá)還優(yōu)化了生產(chǎn)、鍍膜,、物流,、倉(cāng)儲(chǔ)和裝配流程,從源頭到成品全程降低污染風(fēng)險(xiǎn),,確保組件在整個(gè)工作流程中的高質(zhì)量,。
主要規(guī)格和特性:
減少釋氣:采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)工藝,實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的低釋氣性能
優(yōu)化設(shè)計(jì):適用于340 nm和 360 nm紫外波長(zhǎng),,采用高端寬帶鍍膜
精確的掃描性能: 掃描場(chǎng)內(nèi)的光斑尺寸變化較小,,在10 mm掃描光圈下的掃描場(chǎng)范圍為 142 mm2 x 142mm2米,15 mm掃描光圈下的光斑尺寸可小至 11 μm
改進(jìn)的處理能力:可應(yīng)對(duì)高功率和短脈沖應(yīng)用需求
長(zhǎng)期光學(xué)穩(wěn)定性:采用先進(jìn)技術(shù)制造,,確保鏡頭的耐用性和可靠性
優(yōu)化背向反射:有效減少掃描儀鏡面損傷,,并延長(zhǎng)使用壽命
M85x1機(jī)械接口:便于輕松集成到各種系統(tǒng)中
“憑借其創(chuàng)新的減少釋氣設(shè)計(jì)和掃描場(chǎng)內(nèi)光斑尺寸變化,LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣透鏡重新定義了激光材料加工的光學(xué)性能和可靠性,。我們很高興將這一解決方案納入LINOS F-Theta-Ronar產(chǎn)品系列中,。”埃賽力達(dá)產(chǎn)品經(jīng)理Matthias Koppitz表示
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