中國電子科技集團有限公司17日對外公布,，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術，已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產品國產化,，包括中束流,、大束流,、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,，工藝段覆蓋至28nm,，為我國芯片制造產業(yè)鏈補上重要一環(huán)，為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案,。
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