最近,，無人機又火了,！無論是無人機噴灑消毒水，或是無人機配送,，甚至是無人機“喊話”戴口罩,，都走進了更廣泛的現(xiàn)實生活,，讓大眾對其有了新的認識，而不再是傳統(tǒng)觀念里相對簡單的“玩具”,。究其原因,，其飛行能力顯著提高，使其更安全,、更穩(wěn)定,、更易于控制這一改進的關鍵因素之一便是使用了高性能微機電系統(tǒng)（MEMS）傳感器。

　　事實上,，近些年隨著AI在物聯(lián)網的滲透和邊緣計算能力的增強,，MEMS傳感器憑借體積小、重量輕,、功耗低,、可靠性高、靈敏度高等一系列優(yōu)點,，正逐漸成為微型傳感器的主力軍,，大有取代傳統(tǒng)機械傳感器的趨勢。

　　ADI亞太區(qū)微機電產品線總監(jiān)趙延輝在ADI中國25周年媒體技術日發(fā)表演講

　　“MEMS技術無處不在,，其應用已經覆蓋了機器人,、智慧城市、醫(yī)療設備,、狀態(tài)監(jiān)測、智慧農業(yè),、自動駕駛等生活的各個領域,。”ADI亞太區(qū)微機電產品線總監(jiān)趙延輝指出,，專業(yè)調研機構的數(shù)據也驗證了趙延輝的觀點,，據Yole Développement統(tǒng)計，2018年全球MEMS市場達到116億美元,，預計到2024年將以8.2%的年復合增長率(CAGR)持續(xù)增長,。其中消費類應用將占MEMS市場的60%，汽車應用則占20%,，其余的20%包括電信,、醫(yī)療,、工業(yè)和航空等應用。MEMS傳感器優(yōu)勢明顯,，趙延輝就用當下熱門的三大應用為例詳細介紹了MEMS傳感器在新興市場中的巨大應用前景,。

　　拒絕干擾，基于MEMS傳感器的IMU充當自動駕駛“最后一道屏障”

　　在物聯(lián)網時代,，大多數(shù)的應用或多或少都與位置服務相關聯(lián),，尤其是對于移動物體，定位需求更為明顯,。據趙延輝提及,，中國移動近日投資超3.36億元采購4400套高精度衛(wèi)星定位基準站，加緊部署物聯(lián)網,，說明了通信運營商進軍高精度位置服務已經進入了實施階段,。

　　作為高精度位置服務的典型應用場景，自動駕駛也在爭議中不斷發(fā)展,，其涉及的關鍵技術環(huán)節(jié)多,、產業(yè)鏈長，加速自動駕駛的商業(yè)化落地離不開所有相關產業(yè)和技術的并駕齊驅,。

　　因此,，自動駕駛領域的導航系統(tǒng)精度無法只通過高精度衛(wèi)星來保障，基于MEMS傳感器技術的慣性測量單元（IMU）才是保障自動駕駛的最后一道屏障,。因為無論是攝像頭,、毫米波雷達、激光雷達,，還是衛(wèi)星導航定位,，都會受到外部環(huán)境的影響，只有基于IMU的慣性導航能夠完全不受外界環(huán)境的影響地為自動駕駛系統(tǒng)提供連續(xù),、高精度,、高可靠的車輛位置、方向,、速度等多維度的信息,，保障車輛的安全行駛。

　　ADI是最早在此領域進行研究的技術提供商之一,，在乘用車自動駕駛技術走進大眾視線之前,，ADI IMU就已經廣泛用在農業(yè)自動化中，也就相當于低速的L4級自動駕駛,。

　　ADI的IMU應用與產品線也非常廣泛,，自2007年推出了首款IMU產品以來，經過十多年的創(chuàng)新發(fā)展，其IMU產品在性能持續(xù)提升的同時,，尺寸也越來越小,。據趙延輝透露，去年11月,，ADI推出了最新量產的IMU產品ADIS1650x系列,，更注重工業(yè)“運動物聯(lián)網”的需求及其對精準地理定位的需求，其性能能夠令系統(tǒng)精確地表征運動,，不受湍流,、振動、風,、溫度和其他環(huán)境干擾,，從而實現(xiàn)更精準的導航和引導?！半m然ADIS1650x體積減小很多,，但依然采用了差分結構，實現(xiàn)了非常好的振動抑制特性,?！壁w延輝強調道：“ADIS1650x系列IMU與其他同類高精度產品相比，擁有5倍寬的動態(tài)范圍,，用以適應極端情況,；2倍寬的帶寬，用以捕捉急速變化,；10倍以上的振動抑制特性改良與10倍以上的低噪聲加速度傳感器改良,。”

　　工控安全,，檢測先行,，基于條件檢測的ADI工業(yè)控制解決方案

　　新制造作為新一輪科技革命和產業(yè)變革的重要驅動力，正在中國大地掀起創(chuàng)新熱潮,。在智能化工業(yè)生產中,，MEMS傳感器正在讓冰冷的機器與我們“對話”，例如實現(xiàn)振動分析和診斷,、潤滑分析,、紅外熱成像、超聲波測試等,。趙延輝表示，現(xiàn)階段,，工業(yè)設備普遍實現(xiàn)了數(shù)字化和互聯(lián)互通,，且正在助力生產工具變革。使用IIoT（工業(yè)物聯(lián)網）監(jiān)測機器的健康狀態(tài)有助于實現(xiàn)預測性維護，讓行業(yè)人員能夠預測故障,，從而大幅節(jié)省運營成本,。在可測物理量中，振動頻譜測量能夠針對旋轉機器中的問題的根源提供最多信息,，已被可靠地應用于各種工業(yè)應用中的最關鍵設備,。

　　從2018年起，ADI接連收購OtoSense與Test Motors ,，計劃將 OtoSense 的軟件與 Test Motors 的監(jiān)控功能相結合來創(chuàng)建解決方案,，通過捕獲更廣泛的潛在故障為機器提供更先進、全面的健康狀況監(jiān)測,。事實上,，ADI的狀態(tài)監(jiān)控方案已經能夠為客戶提供具備完整的早期異常檢測功能的系統(tǒng)了，其中各類精準的MEMS傳感器也在其中發(fā)揮了舉足輕重的作用,。

　　支持結構健康監(jiān)測的高級特性對于狀態(tài)監(jiān)控和結構健康監(jiān)測,，測量范圍是一個重要參數(shù)。趙延輝舉例道：“ADXL100x系列MEMS加速度計可實現(xiàn)高分辨率振動測量,，適用于工業(yè)條件大多數(shù)故障（滑動軸承損壞,，不平衡，摩擦,，松動,，齒輪缺陷，軸承磨損和氣蝕）監(jiān)測應用,。這些加速度計的滿量程范圍為±100g（ADXL1001）,、±50g（ADXL1002）和±500g（ADXL1004），在較寬的頻率范圍內具有25μg/√Hz至125μg/√Hz的超低噪聲密度,。此外,，這些加速度計具有集成的全靜電自檢（ST）功能和超范圍（OR）指示特性，采用3.3V至5.25V單電源供電,，功耗低,，還有助于無線傳感產品的設計?！?/p>

　　同時為了簡化設計,，ADI越來越多提供從元器件到完整功能模塊產品，例如ADI提供的一套完整的解決方案采用ADcmXL3021型號實施三軸測量,。這款3.3 V電源電壓產品包括3個基于ADXL1002的測量鏈,、1個溫度傳感器、1個處理器和1個FIFO,。上述所有元器件封裝在一個鋁殼（23.7mm x 26.7mm x 12mm）模組內,，可以即時安裝在旋轉機器上,。該產品的全尺寸為±50g，具有僅25μg/√Hz的極低噪聲水平和10kHz帶寬,，這些特點使其能夠在大量應用中捕捉振動特征,。

　　需要指出的是，無論條件監(jiān)控的類型如何,，即使采用最智能的監(jiān)控概念,，都不能100％保證不會出現(xiàn)意外停機、故障或安全等風險,，但這些努力足以減少風險的出現(xiàn),。正因為如此，越來越多的基于狀態(tài)的監(jiān)測正在成為工業(yè)界的一個關鍵話題,，被視為未來生產設施可持續(xù)成功的明確先決條件,。

　　“網紅”應用——地震預警系統(tǒng)背后的關鍵指標

　　MEMS傳感器在工業(yè)和基礎設施市場創(chuàng)造的新機遇遠不止于此，例如還有最近開始逐漸走進普通人生活中的“網紅”應用——地震預警系統(tǒng),?！癕EMS加速度計和大數(shù)據技術的發(fā)展正是這一‘網紅’應用的主要推動力。低密度專業(yè)地震監(jiān)測設備配置高密度輔助地震監(jiān)測設備（MEMS加速度計）,，可以增加地震提前預測的時間,，實現(xiàn)更早的預警?！壁w延輝解釋說,。

　　地震波按傳播方式分為三種類型：縱波（P波）、橫波（S波）,、面波（L波）,，縱波傳播速度較快、破壞力較小,，S波傳播速度較慢,，與P波在地表相遇后激發(fā)產生的混合波破壞力巨大，地震系統(tǒng)就是利用縱波傳輸速度最快,，檢測到縱波以后,，利用通信網絡的高速傳輸發(fā)出預警。

　　因此,，地震預警系統(tǒng)里的MEMS加速度計最重要的兩個特性就是低噪聲和低功耗,。地震有不同的等級，等級越低,，振幅越小,，要求加速度計必須具備夠低的噪聲辨識。同時低功耗也很重要,，畢竟地震發(fā)生的時間不確定,，所以必須要MEMS加速度計自鋪設開始便一直保持正常工作狀態(tài),。“如果結合這兩個特性,，那么ADXL355絕對是市場第一?！壁w延輝補充道,，“當然，ADI提供的ADXL362比ADXL355功耗低很多,，但它的噪聲也很高,，就僅適用于5級以上的地震，因為噪聲主要分辨地震的強度,，而功耗則決定了產品的監(jiān)測時間,。”

　　此外,，地震監(jiān)測還有進一步的應用拓展,，在地震多發(fā)地區(qū)，需要監(jiān)測地震發(fā)生時的震級,，如果達到5級或5級以上地震,，就要對某些潛在危險進行及時處理，例如自動關斷家用燃氣以防其由于強震而造成泄露,，進而引起中毒或爆炸,，阻止二次災害的發(fā)生。ADI MEMS加速度計也在其中得到了一些應用,。

　　對于此類靈敏應用而言,，傳感器的長期穩(wěn)定性也是需要考慮的主要因素，這是因為傳感器會受熱應力和機械應力的影響,。想要改善這個問題,，就要注意系統(tǒng)設計和芯片選型，如果系統(tǒng)結構很難做到熱應力和機械應力隔絕的話,，最好優(yōu)先考慮陶瓷封裝的器件,。

　　見證MEMS產業(yè)最好的時代

　　物聯(lián)網的快速發(fā)展給MEMS傳感器帶來了許多新的機遇，例如智能家居,、可穿戴設備,、智慧工業(yè)、智慧醫(yī)療,、智慧交通等,。在趙延輝看來， MEMS產業(yè)漫漫發(fā)展歷程中,，ADI多次以創(chuàng)新的里程碑式產品彰顯了自身的技術實力：ADI從1987年開始投入MEMS傳感器的研發(fā),，也是業(yè)界最早從事MEMS研發(fā)的公司,；1991年，ADI發(fā)布了業(yè)界第一顆高g值MEMS加速度計,，聚焦汽車安全氣囊碰撞監(jiān)測應用,，引領了幾乎十年的MEMS傳感器研究方向；1996年,，發(fā)布了業(yè)界第一顆Low-g MEMS傳感器,，聚焦人體運動監(jiān)測應用……歷經30余載的經