任何一項(xiàng)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，往往是起起伏伏,，有高潮和低谷,。技術(shù)都需要時(shí)間的印證，也需要產(chǎn)業(yè)的積累,，MEMS技術(shù)就是一個(gè)經(jīng)歷過(guò)跌宕起伏的技術(shù),。從上個(gè)世紀(jì)七十年代開(kāi)始，MEMS從傳感器技術(shù)演變而來(lái),，逐漸形成了一個(gè)擁有智能“大腦”的微機(jī)電系統(tǒng),，應(yīng)用也從軍事逐漸拓展到了民用，如今,，MEMS技術(shù)正在“無(wú)處不在”,，成為一種標(biāo)配級(jí)的半導(dǎo)體技術(shù)。

對(duì)于MEMS技術(shù)的普及和應(yīng)用,，ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝是非?？春盟那熬啊Ｒ?yàn)镸EMS具有很好的性?xún)r(jià)比,、高性能和低功耗,，而且體積也小，MEMS系統(tǒng)的尺寸可以在毫米甚至是微米,、納米級(jí)別,。這些特點(diǎn)和適用于醫(yī)學(xué)、工業(yè),、汽車(chē),、航空以及位置服務(wù)等應(yīng)用。在ADI中國(guó)25周年媒體技術(shù)日上,，ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝給大家闡述了ADI無(wú)處不在的MEMS技術(shù)以及MEMS傳感技術(shù)的應(yīng)用趨勢(shì)等,，ADI的MEMS產(chǎn)品已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,。

ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝，ADI供圖

MEMS技術(shù)“無(wú)處不在”

MEMS是一種集微傳感器,、信號(hào)處理,、集成器件、通信等一體的系統(tǒng),，MEMS加速度計(jì),、微振子、MEMS光學(xué)傳感器,、壓力傳感器,、陀螺儀等都融合了MEMS技術(shù)在里面。因?yàn)镸EMS是一項(xiàng)綜合性的技術(shù),，融合了電子,、光學(xué)、材料,、力學(xué),、化學(xué)和機(jī)械學(xué)等眾多學(xué)科，所以在推進(jìn)的過(guò)程中有很多難題,，ADI公司強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力和創(chuàng)新正是客戶(hù)這些難題的關(guān)鍵,。ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝表示，MEMS技術(shù)是無(wú)處不在的,，我們每天都會(huì)接觸到很多MEMS相關(guān)的產(chǎn)品,，如手機(jī)里有很多MEMS加速器，它的作用是進(jìn)行轉(zhuǎn)屏處理,，當(dāng)車(chē)開(kāi)進(jìn)隧道時(shí),，MEMS技術(shù)可以給車(chē)進(jìn)行導(dǎo)航，車(chē)載里的安全氣囊也是利用MEMS進(jìn)行車(chē)身平穩(wěn)控制等,，自動(dòng)駕駛、手機(jī)定位,、車(chē)輛監(jiān)管,、精準(zhǔn)農(nóng)業(yè)、城市停車(chē),、測(cè)量測(cè)繪,、機(jī)場(chǎng)站坪、橋梁監(jiān)測(cè),、港口裝卸,、邊坡監(jiān)測(cè)這些應(yīng)用場(chǎng)景都是MEMS技術(shù)最常用的。

MEMS系統(tǒng)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中有著很重要的應(yīng)用,，隨著智能產(chǎn)品的推進(jìn),，MEMS在智能化上也有自己的優(yōu)勢(shì),，ADI的MEMS技術(shù)的優(yōu)勢(shì)是什么，對(duì)此,，ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝表示,，隨著海量的定位需求增加，衛(wèi)導(dǎo)離不開(kāi)慣導(dǎo),，我國(guó)的北斗衛(wèi)星將在2020年完成基本全球的布局,，國(guó)內(nèi)可以利用北斗實(shí)現(xiàn)高精度位置服務(wù)。ADI的技術(shù)將得到更加廣泛的應(yīng)用,，將海量位置需求連到網(wǎng)絡(luò)就需要慣性導(dǎo)航,。如今北斗最小的導(dǎo)航精度是誤差2．5到5米，對(duì)很多應(yīng)用而言,，這樣的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠,，這時(shí)需要借助MEMS技術(shù)的輔助，來(lái)提高衛(wèi)星的導(dǎo)航精度,。衛(wèi)星導(dǎo)航非常實(shí)用,，但是有個(gè)天生的不足，就是信號(hào)穿過(guò)對(duì)流層有折射誤差,，這樣的定位精度是不夠準(zhǔn)的,，對(duì)車(chē)載應(yīng)用而言，不允許有這么大的誤差,。當(dāng)車(chē)開(kāi)進(jìn)隧道或停車(chē)場(chǎng),，衛(wèi)星信號(hào)中斷的時(shí)候，車(chē)只能利用慣導(dǎo)導(dǎo)航,，也就是MEMS技術(shù),。

無(wú)人駕駛是目前最火的一個(gè)應(yīng)用之一，而行車(chē)定位是無(wú)人駕駛必須配置的一項(xiàng)技術(shù),，在復(fù)雜的行車(chē)環(huán)境里面,，MEMS技術(shù)和衛(wèi)星導(dǎo)航是相輔相成的。MEMS慣性傳感器有低精度的慣性傳感器,，也有中級(jí)的慣性傳感器,，還有高精度的慣性傳感器，應(yīng)用場(chǎng)景不一,。無(wú)人車(chē)使用的一般是中低級(jí)的慣性傳感器,，特點(diǎn)是更新頻率高。慣性傳感器是檢測(cè)加速度與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的高頻傳感器,，對(duì)慣性傳感器數(shù)據(jù)進(jìn)行處理后可以實(shí)時(shí)得出車(chē)輛的位移與轉(zhuǎn)動(dòng)信息,，但慣性傳感器自身也有偏差與噪音等問(wèn)題影響結(jié)果。慣性傳感器有傳感器,、信號(hào)調(diào)理,、各種各樣的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)等,，ADI的MEMS技術(shù)融合了這些東西。2019年11月,，ADI剛剛發(fā)布了器件級(jí)大小的慣性傳感器,。“我們要做的是高精度定位,，同時(shí)做海量市場(chǎng),，大家可能對(duì)這種性?xún)r(jià)比有要求，希望性能好,，能夠給到長(zhǎng)時(shí)間定位和精度,，現(xiàn)在需要小體積、低成本,，ADI的S1650X系列慣性傳感器就是針對(duì)這個(gè)市場(chǎng),。”ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝對(duì)媒體編輯說(shuō)道,。

ADI有非常好的探測(cè)引力波,，各種各樣的ADC、處理器,，公司給客戶(hù)提供一個(gè)完整的解決方案,。ADI的慣性傳感器里用的是內(nèi)核傳感器，它的振動(dòng)抑制特性非常好,，如在車(chē)?yán)?，可以檢測(cè)車(chē)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度，車(chē)航向偏差,，農(nóng)業(yè)無(wú)人機(jī)上就有很多ADI的慣性傳感器,。ADI內(nèi)部采用的是差分結(jié)構(gòu)，做到了非常好的振動(dòng)抑制特性,，包括無(wú)人機(jī),、農(nóng)業(yè)拖拉機(jī)、自動(dòng)駕駛等應(yīng)用,，可以減少產(chǎn)品的顛簸,。

現(xiàn)在傳感器的趨勢(shì)是智能傳感器，很多傳感器有很多集成式的智能節(jié)點(diǎn),，這就需要更小,、低成本,、低功耗的MEMS傳感器,，在機(jī)器體檢、預(yù)測(cè),、信息處理上,，它都是必不可少的,。要提升傳感器的測(cè)量精度，那么傳感器要足夠敏感,，這時(shí)噪聲密度就非常低,。ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝提到，目前的ADXL100X系列恰好實(shí)現(xiàn)了這樣的技術(shù)突破,，頻率已經(jīng)可以做到45KHz,，有效帶寬做到30KHz，噪聲可以做到25dB,，在業(yè)內(nèi)遙遙領(lǐng)先,。

在橋梁應(yīng)用里面，MEMS傳感器有著非常低的頻率,，這對(duì)于監(jiān)測(cè)而言是很重要的,，壓電傳感器很難做到這么低。ADI有非常深厚的系統(tǒng)技術(shù)積累,，可以把MEMS傳感器集成到各種信號(hào)里調(diào)理,，提供一個(gè)完整振動(dòng)解決方案，滿(mǎn)足客戶(hù)需求,。MEMS傳感器還有一個(gè)應(yīng)用是地震預(yù)警,，過(guò)去的地震監(jiān)測(cè)設(shè)備都是低密度布置的，現(xiàn)在實(shí)現(xiàn)預(yù)警,，靠的是大數(shù)據(jù),。采用低密度專(zhuān)業(yè)地震設(shè)備和高密度輔助地震設(shè)備，通過(guò)MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)預(yù)警,。加速度計(jì)必須具備低噪聲和低功耗,。

地震有不同等級(jí)，等級(jí)越低,，振動(dòng)幅度越小,，這個(gè)很直觀振動(dòng)幅度小必須有足夠低的噪聲才能分辨足夠小的等級(jí)。還有大量鋪出去的點(diǎn)很多是電池供電的,，你也不知道地震什么時(shí)候發(fā)生,，只能讓它不斷工作，所以傳感器必須要有足夠的低功耗,，如果這兩個(gè)綜合考慮到一起,，ADXL355絕對(duì)是市場(chǎng)上的首選。在燃?xì)獗砝?，已?jīng)有客戶(hù)成功應(yīng)用,，檢測(cè)到五級(jí)強(qiáng)震，燃?xì)獗砜梢宰詣?dòng)切斷,，防止二次災(zāi)害的發(fā)生,。

最后,，ADI亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品線總監(jiān)趙延輝表示，ADI是業(yè)界最早把MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)商用的公司,，1987年就開(kāi)始做,，1991年實(shí)現(xiàn)了用MEMS替代傳統(tǒng)的氣泡里，2019年ADI又發(fā)明了CLHP慣性傳感器,。隨著北斗,、5G產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，大量的位置服務(wù)將讓ADI的MEMS技術(shù)大放異彩,。