自科創(chuàng)板推出以來,，一大批集成電路企業(yè)積極備戰(zhàn)科創(chuàng)板,，目前包括安集科技,、中微公司,、瀾起科技,、華興源創(chuàng),、睿創(chuàng)微納,、樂鑫科技,、晶晨股份,、以及上海晶豐明源在內的多家企業(yè)已經成功闖關,。不過在這些企業(yè)中，鮮少有涉及半導體設備的相關企業(yè),。

　　值得關注的是,，目前一家來自北京的光刻機生廠商也計劃登錄科創(chuàng)板。近日,，北京證監(jiān)局披露了關于北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）首次公開發(fā)行股票并在科創(chuàng)板上市輔導工作報告(第三期),。

　　根據官網顯示,，華卓精科注冊資金9600萬， 成立時間為2012年5月9日,，由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業(yè)技術研究院”和02專項的支持下創(chuàng)立,，主要面向國內外的IC制造、光學,、超精密制造等行業(yè),，致力于為行業(yè)提供整機裝備、核心子系統(tǒng),、關鍵零部件和定制服務,，主營產品包含高端整機、超精密運動系統(tǒng),、精密儀器設備和高端特種制造等方面?，F在已經成功推出了光刻機雙工件臺、精密隔振,、超精密運動系統(tǒng),、關鍵零部件等系列化產品。

　　華卓精科表示,，其核心戰(zhàn)略產品光刻機雙工件臺,，打破了ASML公司在工件臺上的技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司,。資料顯示,，華卓精科生產的光刻機雙工件臺主要應用于65nm及以下節(jié)點的ArF干式、浸沒式步進掃描光刻機,、KrF步進掃描光刻機,，單臺系列產品應用于i線、g線步進掃描光刻機及封裝光刻機等,。

　　2018年半年報顯示,，華卓精科上半年實現營收3193.03萬元，同比增長44.53%,；實現歸屬于掛牌公司股東的凈利潤683.67萬元,，同比下滑10.34%，凈利潤減少的主要原因是2018年公司加大研發(fā)投入,，自主研發(fā)支出比上年同期增長374萬元,，費用化后導致凈利潤減少。

　　事實上,，早在2015年,，華卓精科曾在新三板掛牌上市，但在2019年2月13日終止新三板掛牌。而在退市之前,，華卓精科分別在2018年10月和11月分別進行了8700萬元的戰(zhàn)略融資以及7587.5萬元的定向增發(fā),，其中增發(fā)募集的7587.50萬元資金，主要用于公司半導體裝備關鍵零部件研發(fā)制造項目,、補充流動資金,、償還銀行貸款、購買土地使用權,。