《電子技術(shù)應(yīng)用》
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MIT研發(fā)新方法,,用特殊材料制作柔性電子

2018-10-16

今天絕大多數(shù)計算設(shè)備都是由硅制成的,,后者僅次于氧氣,,是地球上第二大含氧元素,以各種形式存在于巖石,、粘土,、沙子和土壤中。在地球上,,雖然硅不是最好的半導(dǎo)體材料,,但卻是最容易獲得的。因此,,在傳感器,、太陽能電池、計算機(jī),、智能手機(jī)等大多數(shù)電子設(shè)備中,,硅都是占主導(dǎo)地位的材料。

現(xiàn)在,,麻省理工學(xué)院的工程師已經(jīng)開發(fā)出一種由特殊材料制成的超薄半導(dǎo)體薄膜,。他們制造了由砷化鎵、氮化鎵和氟化鋰制成的柔性薄膜,,這些材料表現(xiàn)出比硅更好的性能,。但是,,到目前為止這些材料在功能器件的應(yīng)用中生產(chǎn)成本過高。

研究人員表示,,在制造由半導(dǎo)體元件組合制成的柔性電子元件上,這項新技術(shù)提供了一種更為經(jīng)濟(jì)有效的方法,,比目前的硅基器件的表現(xiàn)更好,。

“我們已開辟出一條新途徑,能用許多不同于硅的材料制造柔性電子設(shè)備,?!睓C(jī)械工程、材料科學(xué)與工程系副教授 Jeehwan Kim 表示,。他希望該技術(shù)可用于制造低成本,、高性能的設(shè)備,如柔性太陽能電池,、可穿戴計算機(jī)和傳感器,。

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10月8日,這項新技術(shù)的論文已刊登在《Nature Materials(自然材料)》期刊上,。除了Kim之外,,論文的合著者還包括麻省理工學(xué)院的Wei Kong、Huashan Li,、 Kuan Qiao,、Yunjo Kim、Kyusang Lee,、Doyoon Lee,、Tom Osadchy、Richard Molnar,、Yang Yu,、Sang-h(huán)oon Bae、Yang Shao-Horn和Jeffrey Grossman,,以及來自中山大學(xué),、弗吉尼亞大學(xué)、德克薩斯大學(xué)達(dá)拉斯分校,、美國海軍研究實驗室,、俄亥俄州立大學(xué)和佐治亞理工學(xué)院的研究人員,并得到了美國國防高級研究計劃局,、美國能源部,、美國空軍實驗室、LG電子,、愛茉莉太平洋集團(tuán),、泛林集團(tuán)和ADI公司的部分支持,。

2017年,Kim及其同事采用石墨烯設(shè)計出一種制造昂貴半導(dǎo)體材料“副本”的方案,。他們發(fā)現(xiàn),,將石墨烯堆疊在如砷化鎵等純凈、昂貴的半導(dǎo)體晶圓材料上,,當(dāng)鎵原子和砷原子流過石墨烯堆時,,這些原子似乎以某種方式與下面的原子層進(jìn)行交互,中間的石墨烯似乎是不可見或透明的,。結(jié)果,,這些原子集合到下方半導(dǎo)體晶圓精密的單晶圖案中,形成了一個精確的“副本”,,并可以輕易地從石墨烯層上剝落下來,。

他們將這種技術(shù)稱為“遠(yuǎn)程外延”,提供了一種僅使用一個昂貴下層晶圓,,就能制造多層砷化鎵薄膜的低成本方案,。

在第一批結(jié)果報告出來后不久,該團(tuán)隊就想知道這一技術(shù)是否可用于復(fù)制其他半導(dǎo)體材料,。他們試圖將“遠(yuǎn)程外延”應(yīng)用于硅和鍺這兩種廉價的半導(dǎo)體,,但是他們發(fā)現(xiàn),讓這些原子從石墨烯上流過時,,它們無法與各自的下層進(jìn)行交互,,以往“透明”的石墨烯再次變得“不透明”,阻止硅和鍺原子“看到”另一側(cè)的原子,。

實際上,,硅和鍺是存在于元素周期表的同一組內(nèi)的兩個元素。具體而言,,這兩個元素屬于第四組,,此類材料是離子中性的,沒有極性,。

“這給了我們一個提示,。”Kim說,。該團(tuán)隊推斷,,也許原子只有通過某種離子電荷,才能透過石墨烯相互作用,。例如,,在砷化鎵的案例中,在界面上,砷具有正電荷,,鎵具有負(fù)電荷,。這種電荷或極性的差異,可能有助于原子通過石墨烯相互作用,,就像它是透明的一樣,,并復(fù)制下面的原子圖案。

“我們發(fā)現(xiàn),,透過石墨烯的交互取決于原子的極性,。對于最強(qiáng)離子鍵材料,它們甚至可以通過三層石墨烯相互作用,。”Kim說,?!八c兩種磁鐵的吸引方式相似,即使是一張薄紙,?!?/p>

為了測試他們的假設(shè),研究人員們采用遠(yuǎn)程外延法復(fù)制具有不同極性的半導(dǎo)體材料,,從中性硅和鍺,,再到輕微極化的砷化鎵,最后是高度極化的氟化鋰(一種比硅更好,、更昂貴的半導(dǎo)體),。

他們發(fā)現(xiàn),極化程度越深,,原子相互作用越強(qiáng),,甚至在某些情況下能夠通過多片石墨烯。他們能生產(chǎn)的每種薄膜都是柔性的,,只有幾十到幾百納米厚,。

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研究小組發(fā)現(xiàn),原子相互作用的物質(zhì)也很重要,。除了石墨烯,,他們實驗了六方氮化硼(HBN)中間層,一種類似于石墨烯原子圖案的材料,,并具有類似特氟龍的品質(zhì),,在復(fù)制時,堆疊在其上方的材料可以被很容易地剝離,。

然而,,六方氮化硼是由電性相反的硼和氮原子組成,其在材料本身內(nèi)就產(chǎn)生了極性。在他們的實驗中,,研究人員發(fā)現(xiàn),,流過六方氮化硼的任何原子,即使它們本身具有高度極性,,也不能完全與它們下面的晶圓相互作用,。這也表明,原子和中間材料的極性,,都決定了原子是否將相互作用并形成原始半導(dǎo)體晶圓的副本,。

“現(xiàn)在,我們真正理解了原子通過石墨烯相互作用的規(guī)則,?!盞im說。

他表示,,通過這種新的規(guī)則,,研究人員現(xiàn)在可以簡單地查看周期表,并選擇兩個相反電荷的元素,。一旦他們通過相同的元素獲取或制造主晶圓,,他們就可以使用該團(tuán)隊的遠(yuǎn)程外延技術(shù)來制作原始晶圓的多層精確副本。

“人們大多使用硅片,,因為它們很便宜,。”Kim說,?!艾F(xiàn)在,我們的技術(shù)開辟了一種使用更高性能非硅材料的方法,。你可以購買一個昂貴的晶圓,,并一遍又一遍地復(fù)制它,不斷重復(fù)使用?,F(xiàn)在,,這項技術(shù)的材料庫已經(jīng)完全擴(kuò)展?!?/p>

Kim設(shè)想,,遠(yuǎn)程外延現(xiàn)在可以用以前那些被認(rèn)為特殊的半導(dǎo)體材料來制成超薄柔性膜,只要這些材料是由具有一定極性的原子制成的,。這種超薄薄膜可以一層一層的堆疊在一起,,以生產(chǎn)微小、靈活,、多功能的設(shè)備,,如可穿戴傳感器、柔性太陽能電池,甚至在遙遠(yuǎn)的未來,,“手機(jī)可以貼到你的皮膚上,。”

“在智能城市,,我們希望在任何地方放置小型計算機(jī),,這就需要由更好材料制成的低功耗、高靈敏的計算和傳感設(shè)備,?!盞im說?!斑@項研究為這些設(shè)備開辟了道路,。”


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