他改變了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)路徑,，讓老大哥英特爾（Intel）及設(shè)備商艾斯摩爾（ASML）,、尼康（Nikon）等業(yè)內(nèi)巨頭,，舍棄耗費(fèi)逾 10 億美元和數(shù)年的研究心力,，跟著他與臺(tái)積電一起轉(zhuǎn)彎,。 不但全球半導(dǎo)體制程得以往下推進(jìn) 6 到 7 個(gè)世代,，約 14 年時(shí)光,，臺(tái)積電也因此躋身一線大廠,、主導(dǎo)業(yè)界規(guī)格。
他是中研院院士林本堅(jiān),，臺(tái)積電前研發(fā)副總經(jīng)理,。 臺(tái)積電董事長(zhǎng)張忠謀曾稱，假如沒有林本堅(jiān)及其團(tuán)隊(duì),，「臺(tái)積電的微影（半導(dǎo)體關(guān)鍵制程之一）不會(huì)有今天這規(guī)模,。 」
退休后在清華大學(xué)擔(dān)任特聘研究講座教授的林本堅(jiān)，近日出版他第一本半自傳式著作,，并與我們一起重溫當(dāng)年他是如何扭轉(zhuǎn)乾坤,。
林本堅(jiān)在越南出生，至青春期才來臺(tái)灣求學(xué),，說話語(yǔ)調(diào)細(xì)軟,，過去部屬昵稱他「Burn（其英文名）爺爺」。 他待人和善,，但對(duì)所相信的事物和理念,，卻不輕言退讓。
他的提案,，同業(yè)主管批攪局
「雖千萬人,，吾往矣！ 」林本堅(jiān)如此形容他 2002 到 04 年那改寫歷史的一役,。
當(dāng)時(shí)狀況是這樣的：隨著半導(dǎo)體制程往下演進(jìn),，關(guān)鍵制程之一的微影，也得持續(xù)縮短光束波長(zhǎng)。 一直以來,，業(yè)界習(xí)慣以空氣為媒介,，是「干式」的微影,，但此技術(shù)卻已「撞墻」,，在 157 奈米波長(zhǎng)卡關(guān)。 而當(dāng)時(shí)任職臺(tái)積電的林本堅(jiān)卻跳脫框架,，退回 157 奈米波長(zhǎng)的上一世代,，改用水做為介質(zhì)，發(fā)展出「浸潤(rùn)式微影」技術(shù),，讓光束波長(zhǎng)一舉縮短至 134 奈米,，突破瓶頸。
這樣的破框思維,，起初卻是孤獨(dú),，甚至遭受敵意。
因其他業(yè)者已投入共計(jì)逾十億美元研發(fā)經(jīng)費(fèi)在干式顯影上,，接近當(dāng)時(shí)臺(tái)積電一整年的資本支出,。 林本堅(jiān)的理論若被采用，等于宣告其他人前功盡棄,。 臺(tái)積電前共同營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)蔣尚義為林本堅(jiān)寫序：「（當(dāng)年）確實(shí)有大公司的高層主管表達(dá)嚴(yán)重關(guān)切,，希望我能管管他（林本堅(jiān)），不要攪局,。 」
他做事前,，會(huì)推演到窮盡
對(duì)內(nèi)，林本堅(jiān)要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單,，對(duì)外,，則要說服業(yè)界拋棄原有投入。
他的秘訣,，是「徹底」2 字,，徹底的思考，并徹底執(zhí)行,。 「像下棋一樣,，要先想好后面好幾步，」林本堅(jiān)說,，做事前,，推演至窮盡，是他一直以來的習(xí)慣,，「把所有可能一直想下去,，（直到）想不到可能。 」
一位曾和林本堅(jiān)走過那一役的臺(tái)積電主管記得，起初反對(duì)方常在國(guó)際研討會(huì)上與臺(tái)積電針鋒相對(duì),，質(zhì)疑以水做為介質(zhì)易產(chǎn)生污染,，且水中的氣泡會(huì)影響曝光等等。 對(duì)外界疑慮有備而來的林本堅(jiān),，決定更徹底解決,，便帶著團(tuán)隊(duì)在半年內(nèi)完成三篇論文，投稿到國(guó)際期刊,，連還未被提出的質(zhì)疑也一并設(shè)想,、響應(yīng)。 「原本一個(gè)美國(guó)大廠的代表說他們絕不用這技術(shù),，結(jié)果一個(gè)（半導(dǎo)體制程）世代后,，他們也用了。 」
除了論理,，林本堅(jiān)的溝通也做得徹底,，當(dāng)時(shí)他跑遍美國(guó)、日本,、荷蘭與德國(guó)等地,，一一拜會(huì)業(yè)界，促使艾斯摩爾與尼康等廠商轉(zhuǎn)向,。 他說,，溝通，是他從張忠謀身上學(xué)到重要的一課,。
從他 2000 年加入臺(tái)積電以來,，張忠謀每一季便固定與三級(jí)主管們分兩梯次共進(jìn)午餐，與副總經(jīng)理們則每月聚會(huì),。 會(huì)中張忠謀與主管們可從公司發(fā)展聊到國(guó)際政經(jīng)情勢(shì),，包括臺(tái)積電最核心的「誠(chéng)信正直」、「承諾」等價(jià)值,，也在其中凝聚,，「董事長(zhǎng)會(huì)鼓勵(lì)大家問他問題，有時(shí)候大家問得好,，他就很高興的回答,，什么都不吃了。 」
「想得徹底,、做得徹底,，是他的習(xí)慣，」和林本堅(jiān)牽手 50 年的妻子黃修慧舉例,，他擔(dān)任教會(huì)詩(shī)班指揮,，許多成員不擅長(zhǎng)讀五線譜,，遇到重復(fù)段落的符號(hào)，常忘記回頭重唱,，一般指揮會(huì)不斷糾正提醒,，但林本堅(jiān)則徹底解決問題，重新謄打歌譜,， 把重復(fù)符號(hào)后的譜直接寫出來,，讓所有人能順利唱下去。
他徹底,，但遇問題更懂繞
不過,，林本堅(jiān)的「徹底」帶著巧勁,，他認(rèn)為遇到困難,，有時(shí)不妨先停下、休息,，甚至繞道,，再前進(jìn)，會(huì)比只是遵循前人道路,，一味的「愚公移山」好,。 當(dāng)初他提出浸潤(rùn)式微影，就是繞出業(yè)界的慣常道路,，迸出靈光,。
「他常說，想象可以無窮,，只是實(shí)際運(yùn)用時(shí),，要謹(jǐn)慎，他從來不抑制工程師的任何想法,，」前述臺(tái)積電主管表示,，林本堅(jiān)相當(dāng)鼓勵(lì)部屬想象，如此才可能創(chuàng)新,。
兩年前開始在大學(xué)任教后,，林本堅(jiān)也如此期許學(xué)生，不要成為填鴨教育「惡補(bǔ)的奴隸」,。 他鼓勵(lì)學(xué)生們合作,，規(guī)定有些作業(yè)必須組隊(duì)完成，就像他過去扭轉(zhuǎn)半導(dǎo)體規(guī)則,，雖由他一人提出想法,，后續(xù)卻需要張忠謀與蔣尚義等人的支持，并在外找到盟友,，才能實(shí)踐劃時(shí)代的技術(shù),。
「我希望能盡量把一些有價(jià)值的事傳承給下一代,，」和寫書的初衷一樣，今年 76 歲的林本堅(jiān),，要持續(xù)以學(xué)校做為平臺(tái),，傳授思考與實(shí)踐之道。